碳化硅悬臂杆承载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体设备，具体是指一种碳化硅悬臂杆承载装置，包括相互配合卡紧的至少一组铝夹块，所述承载装置还包括圆杆，圆杆两侧分别设有悬臂杆，所述一组铝夹块卡紧在圆杆一端且圆杆另一端通过前夹紧机构与各悬臂杆相连，悬臂杆一端通过后夹紧机构连接到圆杆上，后夹紧机构可调节悬臂杆向上或向下倾斜，所述前夹紧机构和后夹紧机构通过控制对悬臂杆的夹紧度而调整两根悬臂杆之间所成夹角。所述本实用新型专利技术碳化硅杆承载装置，主要通过两根可以单独进行倾角调整的碳化硅杆取代传统的碳化硅桨，承载工件进出、上下运动于反应管内。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体设备，进一步是指晶体硅太阳能电池生产线上使用的卧式软着陆闭管高温扩散/氧化系统。
技术介绍
高温扩散/氧化系统，主要用于半导体器件、太阳能电池和集成电路等研制、生产中的扩散、氧化、退火及合金工艺，是一种高精度、高稳定性、高可靠性、长时间连续工作的自动控制设备。而卧式软着陆闭管高温扩散/氧化系统，以其反应腔气氛均匀、密封好、回温快，以及净化区废液产生少等优势，已经逐步取代了开管式高温扩散/氧化系统以及普通闭管高温扩散/氧化系统，成为国内外的晶体硅太阳能电池生产线的主流装备。软着陆闭管高温扩散/氧化系统采用软着陆送片机构取代了开管和普通闭管设备的送片机构，该机构可以将载满硅片的石英舟放置于反应管内后，退出反应室以利于反应管的密封和反应腔气氛均匀，整个过程不会产生任何粉尘。软着陆送片机构的送取舟的过程如下送片机构上升至上限位，然后将载满硅片的石英舟水平方向悬空送入反应管，到达前限位后送片机构使石英舟缓慢下降并与反应管实现软着陆接触，送片机构接着继续下降到下限位后退出反应管，直至到后限位从而完成了整个放片过程，取片过程与送片过程相反。整个过程中，承载工件进出、上下运动于反应管内的承载机构必须在承载近十几公斤以及1000°c左右的高温下,形变量少于几毫米,而且必须能频繁以轴向100 IOOOmm/min的速度进出反应管无缺损。除此之外，机构暴露于反应管内的部分必须耐高温下三氯氧磷、氧气、三氯乙烷的腐蚀，而且其本身必须采用高纯材料，高温下金属离子以及其他热分解物的产生量可以满足晶体硅电池扩散和氧化工艺的要求。国内外现有的卧式软着陆闭管高温扩散/氧化系统的送片机构，全部采用碳化硅桨承载机构承载工件进出反应管。而碳化硅桨承载机构中使用的碳化硅桨，由于其耐温、耐腐蚀以及承载变形量要求高，再加上其结构形状复杂，国内目前暂没有相关厂商能够提供，能够制造的厂商仅限于美国、日本、法国等少数发达国家。进口的碳化硅桨价格最高可达近万美金，而且供货周期是整个高温扩散/氧化系统中配件最长的，这给国内的设备制造商提出了很大的难题。目前正在广泛使用的碳化硅悬臂桨承载装置如图I-图3所示，该装置采用配合卡紧的A铝夹块I和B铝夹块2，采用图2中的方向顺序，在碳化硅桨22与A夹块I、B夹块2之间设置有A铝衬块21，通过A螺钉11、B螺钉12进行紧定。如图I所示，整个机构安装完成后，整体将通过运动机构上的四个定位销对整体进行固定，该机构相应的四个定位孔20分别两两位于A铝夹块I上。如图3所示，实际工作时，碳化硅悬臂桨承载装置的碳化硅桨22通过石英舟托23，将满载有硅片25的石英舟24，送进和取出反应管2
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，针对国产的卧式软着陆闭管高温扩散/氧化系统，其送片机构中的碳化硅桨承载机构所使用的碳化硅桨，完全依赖进口且价格高昂，并且供货难以得到保障的情况，结合我国碳化硅材料制品加工的情况、晶体硅电池工艺的要求，设计出一套能够替代碳化硅桨承载机构的承载装置，采用可以大量供货的国产碳化硅杆替代需要进口的碳化硅桨，能够在保证正常生产的情况下，完全兼容目前的碳化硅桨承载装置，解决碳化硅桨价格高、供货难的情况。本实用新 型的技术方案是，一种碳化硅悬臂杆承载装置，包括相互配合卡紧的至少一组铝夹块，所述承载装置还包括圆杆，圆杆两侧分别设有悬臂杆，所述一组铝夹块卡紧在圆杆一端且圆杆另一端通过前夹紧机构与各悬臂杆相连，悬臂杆一端通过后夹紧机构连接到圆杆上，后夹紧机构可调节悬臂杆向上或向下倾斜，所述前夹紧机构和后夹紧机构通过控制对悬臂杆的夹紧度而调整两根悬臂杆之间所成夹角。所述前夹紧机构包括套装在圆杆上的前夹块，铝前夹块两端分别设有悬臂孔，悬臂杆可穿过悬臂孔并通过螺钉紧固到前夹块。所述后夹紧机构包括套装在圆杆上的后夹块、夹紧块和调节块，后夹块两侧分别设有A螺纹孔且调节块设有与A螺纹孔对应的竖直腰孔，调节块通过螺钉紧固到后夹块上，所述调节块侧面设有B螺纹孔且夹紧块设有与B螺纹孔对应的水平腰孔，夹紧块通过螺钉紧固到调节块上，且夹紧块设有悬臂孔，悬臂杆可穿过悬臂孔并通过螺钉紧固到夹紧块。所述圆杆两侧分别设有键槽，键槽内有键，所述前夹紧机构通过键槽中的键与圆杆紧固，所述后夹紧机构通过键槽中的键与圆杆紧固。所述悬臂杆为碳化硅杆。图4-图6所述本技术碳化硅杆承载机构，该机构采用配合卡紧的两组铝夹块，在不锈钢圆杆4与铝夹块之间设置有铝衬块3，通过A螺钉11、B螺钉12进行紧定。铝前夹块6通过两个键10固定于圆杆4的键槽18上，再通过两个锁紧螺钉16进一步固定，如此就形成了两根碳化硅杆9的前面两个支撑夹紧点，可以通过两个D锁紧螺钉19调整对碳化硅杆9的夹紧程度。安装铝后夹块5同样通过两个键10固定于不锈钢圆杆4的键槽18上，通过两个B锁紧螺钉15进一步固定，铝后夹块5的两侧均有螺纹孔，通过C螺钉14对两侧安装不锈钢调节块7，该调节块对应的固定孔设计成腰孔，以便上下可调。每个调节块7的正面设置有两个螺纹孔，利用D螺钉17将铝夹紧块8固定在调节块7上，由于铝夹紧块8对应的固定孔设计成腰孔，以便左右可调。这样，由一个铝后夹块5以及两侧的两个不锈钢调节块7和两个铝夹紧块8形成了两根碳化硅杆9的后面两个支撑夹紧点，可以通过两个锁紧螺钉13调整对碳化硅杆9的夹紧程度，由于不锈钢调节块7和铝夹紧块8如上所述可以进行垂直和水平方向的调节，结合铝前夹块6形成两根碳化硅杆9的前面两个不可调支撑夹紧点，从而形成了可调的夹紧机构，该装置可以对每一根碳化硅杆9的上下、左右倾角进行调整以满足安装要求。安装完成的所述碳化硅杆承载机构如图4所示，整体将通过运动机构上的四个定位销对整体进行固定，该机构相应的四个定位孔20分别两两位于A铝夹块I上。如图6所示，实际工作时，碳化硅悬臂杆承载机构的两根碳化硅杆9通过石英舟托23，将满载有硅片25的石英舟24，送进和取出反应管。由以上可知，所述本技术碳化硅杆承载装置，主要通过两根可以单独进行倾角调整的碳化硅杆取代传统的碳化硅桨，承载工件进出、上下运动于反应管内。由于该碳化硅杆结构简单，可以方便国产化，所以价格便宜。除此之外，整个碳化硅杆承载装置可以与目前正在使用的碳化硅悬臂桨承载机构安装固定方式完全一样，可以很好的兼容。附图说明图I为现有碳化硅悬臂桨承载装置的结构图；图2为图I的分解图；图3为图I中所示碳化硅悬臂桨承载装置的工作示意图；图4为本技术所述碳化硅悬臂杆承载装置的结构图5为图4的分解图；图6为图4中所示碳化硅悬臂杆承载装置的工作示意图；在图中I-A铝夹块，2-B铝夹块，3-B铝衬块，4-圆杆，5-铝后夹块，6-铝前夹块，7-调节块，8-夹紧块，9-悬臂杆， 10-键， Il-A螺钉，12-B螺钉，13-A锁紧螺钉，14-C螺钉，15-B锁紧螺钉，16-C锁紧螺钉，17-D螺钉，18-键槽，19_D锁紧螺钉，20-定位孔，21-A铝衬块，22-碳化硅桨，23-石英舟托，24-石英舟，25-硅片，26-石英管。具体实施方式如图4、图5所示，一种碳化硅悬臂杆承载装置，包括相互配合卡紧的至少一组A铝夹块I和B铝夹块2，承载装置还包括不锈钢圆杆4，不锈钢圆杆4两侧分别设有碳化硅杆9，所述一组铝本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅悬臂杆承载装置，包括相互配合卡紧的至少一组铝夹块(1，2)，其特征是，所述承载装置还包括圆杆(4)，圆杆(4)两侧分别设有悬臂杆(9)，所述一组铝夹块(1，2)卡紧在圆杆(4) 一端且圆杆(4)另一端通过前夹紧机构与各悬臂杆(9)相连，悬臂杆(9)一端通过后夹紧机构连接到圆杆(4)上，后夹紧机构可调节悬臂杆(9)向上或向下倾斜，所述前夹紧机构和后夹紧机构通过控制对悬臂杆(9)的夹紧度而调整两根悬臂杆(9)之间所成夹角。2.根据权利要求I所述碳化硅悬臂杆承载装置，其特征是，所述前夹紧机构包括套装在圆杆(4)上的前夹块(6)，前夹块(6)两端分别设有悬臂孔，悬臂杆(9)穿过悬臂孔并通过D锁紧螺钉(19)紧固到前夹块(6)。3.根据权利要求I所述碳化硅悬臂杆承载装置，其特征是，所述后夹紧机构包括套装在圆杆上的后夹块(5)、夹紧块(8)和调节块(7)，后夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴得轶，谢建国，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：