校准模具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种校准模具，用于校准晶圆盒的盒盖上的外凸的固定件，所述固定件具有外凸的头部，所述校准模具包括一长方形块，所述长方形块的纵向侧壁排列设置多个大小和形状与所述固定件的头部相匹配的卡槽，所述卡槽和所述固定件一一对应。使用时，将长方形块放置在晶圆盒的盒盖上，将整排卡槽对准盒盖上的整排外凸的固定件，均匀施力推动所述长方形块，如果所有的固定件能够嵌入对应的卡槽中，则表明固定件没有发生变形和移位。如果有部分固定件不能嵌入对应的卡槽中，则该部分固定件需要调整。如此可以实现对晶圆盒的盒盖上的固定件精确检测和校准，使用方便、省时省力。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种半导体制造领域，尤其涉及一种校准模具。
技术介绍
目前，在半导体生产工艺车间内，一般采用晶圆盒传送晶圆。通常，现有的晶圆盒包括一面开口的盒体和盒盖，所述盒盖与盒体的开口处相配合，用于封闭所述盒体，所述盒体的内壁设有用于放置晶圆的若干槽，如图I所示，盒盖Iio上设有两排相对的固定件120即两排相对的外凸的卡条，所述两排固定件120和盒体内部的槽共同支撑并固定晶圆。晶圆盒在使用过程中，需要定期对盒盖110上的固定件120进行检修。现有的检测方法是维护人员用肉眼来判断固定件120是否发生变形或移位。如果固定件120发生变 形或移位，首先对其进行调整，若调整后能够复位的就继续使用，若调整后不能复位，就必须将盒盖上的整排固定件120更换。由于采用肉眼来判断固定件120，很大程度上依赖于维护人员的个人经验，容易出现误检。如果出现误检，在固定件120发生变形或移位情况下，晶圆不能被固定件120有效的固定，因此，在晶圆盒搬运过程中容易发生晶圆碰擦其他部件的现象，以致出现大量因碰擦产生的颗粒物质，这些颗粒物质会污染晶圆，导致晶圆良率下降。因此，如何提供一种能够精确校准晶圆盒的盒盖上的固定件的校准模具是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种校准模具，可以精确校准晶圆盒的盒盖上的固定件，且使用方便。为了达到上述的目的，本技术采用如下技术方案—种校准模具，用于校准晶圆盒的盒盖上的外凸的固定件，所述固定件具有外凸的头部，所述校准模具包括一长方形块，所述长方形块的纵向侧壁排列设置多个大小和形状与所述固定件的头部相匹配的卡槽，所述卡槽和所述固定件一一对应。优选的，在上述的校准模具中，所述长方形块的两个纵向侧壁分别排列设置所述卡槽。优选的，在上述的校准模具中，所述长方形块包括依次叠置在一起的第一层板、第二层板与第三层板，所述第二层板的纵向两侧分别排列设置所述卡槽。优选的，在上述的校准模具中，所述第一层板、所述第二层板与所述第三层板通过螺钉连接。优选的，在上述的校准模具中，所述螺钉有多个，所述螺钉沿所述长方形块的纵向均勻分布于所述长方形块上。优选的，在上述的校准模具中，所述螺钉的数量是四个。优选的，在上述的校准模具中，所述第一层板是透明的。优选的，在上述的校准模具中，其特征在于，所述第二层板与所述第三层板采用特氟龙材料或铝制材料制成。优选的，在上述的校准模具中，所述第二层板与所述第三层板一体成型。本技术提供的校准模具，采用纵向侧壁排列设置多个卡槽的长方形块，使用时，将长方形块放置在晶圆盒的盒盖上，将整排卡槽对准盒盖上的整排外凸的固定件，均匀施力推动所述长方形块，使得固定件嵌入对应的卡槽中，如果所有的固定件能够嵌入对应的卡槽中，则表明固定件没有发生变形和移位或者说固定件发生的变形和移位是可接受的。如果有部分固定件不能嵌入对应的卡槽中，则该部分固定件需要调整；进行调整后，如果所有固定件可以嵌入对应的卡槽中则该排固定件可以继续使用，不用更换；如果调整后，有部分固定件不能嵌入对应的卡槽中，则整排固定件需要更换。由上可见，采用本技术提供的校准模具，可以精确地检测和校准晶圆盒的盒盖上的固定件的位置，使用方便、省时省力。附图说明本技术的校准模具由以下的实施例及附图给出。图I是晶圆盒的门板及固定件的结构示意图；图2是本技术一实施例的校准模具的结构示意图；图3是本技术一实施例的校准模具的准备状态示意图； 图4是图3的A-A剖视图；图5是本技术一实施例的校准模具的校准状态示意图。具体实施方式以下将对本技术的校准模具作进一步的详细描述。下面将参照附图对本技术进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本技术的目的、特征更明显易懂，以下结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参阅图2、图3和图4，其中，图2所示是本技术一实施例的校准模具的结构示意图，图3所示是本技术一实施例的校准模具的准备状态示意图，图4是图3的A-A首1J视图。这种校准模具，用于校准晶圆盒的盒盖210上排列设置的多个外凸的固定件220，所述固定件具有外凸的头部221，所述校准模具包括一长方形块230，所述长方形块230的纵向侧壁排列设置多个大小和形状与所述固定件的头部221相匹配的卡槽240，所述卡槽240和所述固定件220——对应。所述长方形块230的一个或者两个纵向侧壁分别排列设置卡槽240，本实施例中，所述长方形块230的两个纵向侧壁分别排列设置所述卡槽240。如此，在校准两排固定件220时不用转动校准模具的方向，使用更加方便。重点参考图4，在本实施例的校准模具中，所述长方形块230包括从上至下依次叠置在一起的第一层板231、第二层板232与第三层板233，所述第二层板232的纵向两侧分别排列设置所述卡槽240，所述第一层板231、第二层板232与第三层板233通过螺钉250连接。所述螺钉250有多个，本实施例中，所述螺钉250的数量是四个。所述螺钉250沿所述长方形块230的纵向均匀分布于所述长方形块230上。较佳地，在本实施例的校准模具中，所述第一层板231是透明的，透过透明的第一层板231，可以清楚地看到卡槽240内固定件220的嵌入情况，从而可以便于维护人员判断固定件220的移位和变形情况。较佳地，在本实施例的校准模具中，相邻卡槽240之间的间距和相邻固定件220的间距是对应的。本实施例中，所述固定件220的头部221的宽度是7毫米、厚度是3. 8毫米，由于固定件200在设计时有0. 5mm的误差，所以，相应地，所述卡槽240的宽度是7. I毫米，厚度是4. 8毫米。较佳地，所述第二层板232和第三层板233可以采用不易变形且容易加工的材料，例如是特氟龙材料、铝制材料等等。本实施例中，所述第二层板232和第三层板233采用铝制材料。由于所述第二层板232与所述第三层板233采用相同的材料，因此两者可以一体成型，以简化加工工艺。请参阅图3，在使用本实施例的校准模具时，首先，将长方形块230放置在晶圆盒的盒盖210上，然后，将整排卡槽240对准盒盖210上的整排外凸的固定件220，如图3所示，接着，均匀施力推动所述长方形块230，使得固定件220嵌入对应的卡槽240中，如图5所示。如果所有的固定件220能够嵌入对应的卡槽240中，则表明固定件220没有发生变形和移位或者说固定件220发生的变形和移位是可接受本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：沈祥江，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：