一种封堵件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种封堵件，用于对PECVD生成炉的炉门观察窗的封堵，封堵件为不锈钢质封堵件，并且封堵件的外围形状与观察窗的形状相吻合。本实用新型专利技术提供的封堵件采用不锈钢制成，能够完全避免PECVD生成炉的炉门在开关时由于炉门震动而造成封堵件的破碎情况发生。并且，本实用新型专利技术提供的封堵件的外围形状与观察窗的形状相吻合，该结构设计能够使得封堵件安装于观察窗上时，与观察窗之间保持高度的密封性能。封堵件具有两个侧面，这两个侧面中至少有一面为抛光面，当将本实用新型专利技术安装于观察窗上时，抛光面朝向PECVD生成炉的炉腔，如此设计能够最大程度地避免封堵件对PECVD生成炉炉内气体的流动影响。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池硅片处理设备
，特别涉及一种对PECVD生成炉的炉门观察窗进行封堵的封堵件。
技术介绍
在太阳能电池硅片(下面简称硅片)的处理中，有一种是对硅片表面进行刻蚀处理的工艺。现有技术中，48所制PECVD生成炉是一种专门对硅片进行表面处理的设备。首先对PECVD做一下解释PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。由于PECVD生成炉中的工作介质为气体，这就要求PECVD生成炉具有较高地气密性。为了保证PECVD生成炉的气密性，一般情况下PECVD生成炉的炉门会制造的比较厚重。PECVD生成炉的炉门上还开设有观察窗，观察窗上安装有石英玻璃。作为一种普遍的现象，对于较厚重的炉门在关闭时，由于惯性的等因素容易产生较大的震动，石英玻璃质地较脆，因此造成PECVD生成炉在关闭炉门时，由于震动常发生适应玻璃的破碎。因此，如何提供一种封堵件，该封堵件能够代替石英玻璃用于对观察窗进行封堵，避免了由于震动而发生封堵件破碎的情况发生，成为了本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题为提供一种封堵件，该封堵件能够代替石英玻璃用于对观察窗进行封堵，避免了由于震动而发生封堵件破碎的情况发生。为解决上述技术问题，本技术提供了一种封堵件，用于对PECVD生成炉的炉门观察窗的封堵，所述封堵件为不锈钢质封堵件，所述封堵件的周向外围形状与所述观察窗的形状相吻合；所述封堵件的两个侧面中，至少一面为抛光面。优选地，所述封堵件的周向外围侧壁为光滑侧壁。优选地，所述封堵件的两个侧面均为抛光面。本技术提供的一种封堵件，用于对PECVD生成炉的炉门观察窗的封堵，封堵件为不锈钢质封堵件，并且封堵件的外围形状与观察窗的形状相吻合。本技术提供的封堵件采用不锈钢制成，能够完全避免PECVD生成炉的炉门在开关时由于炉门震动而造成封堵件的破碎情况发生。并且，本技术提供的封堵件的外围形状与观察窗的形状相吻合，该结构设计能够使得封堵件安装于观察窗上时，与观察窗之间保持高度的密封性能。封堵件具有两个侧面，这两个侧面中至少有一面为抛光面，当将本技术安装于观察窗上时，抛光面朝向PECVD生成炉的炉腔，如此设计能够最大程度地避免封堵件对PECVD生成炉炉内气体的流动影响。附图说明图I为本技术一种实施例中封堵件安装于PECVD生成炉的炉门上的安装结构示意图；图2为本技术一种实施例中封堵件的结构示意图；图I和图2中部件名称与附图标记的对应关系为炉门I ；封堵件2 ;侧面21 ;周向外围侧壁22。具体实施方式本技术的核心为提供一种封堵件，该封堵件能够代替石英玻璃用于对观察窗进行封堵，避免了由于震动而发生封堵件破碎的情况发生。为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步的详细说明。请参考图I和图2，其中，图I为本技术一种实施例中封堵件安装于PECVD生成炉的炉门上的安装结构示意图；图2为本技术一种实施例中封堵件的结构示意图。本技术提供的一种封堵件，用于对PECVD生成炉的炉门观察窗的封堵，封堵件为不锈钢质封堵件，并且封堵件的外围形状与观察窗的形状相吻合。本技术提供的封堵件采用不锈钢制成，能够完全避免PECVD生成炉的炉门在开关时由于炉门震动而造成封堵件的破碎情况发生。并且，本技术提供的封堵件的外围形状与观察窗的形状相吻合，该结构设计能够使得封堵件安装于观察窗上时，与观察窗之间保持高度的密封性能。封堵件具有两个侧面，这两个侧面中至少有一面为抛光面，当将本技术安装于观察窗上时，抛光面朝向PECVD生成炉的炉腔，如此设计能够最大程度地避免封堵件对PECVD生成炉炉内气体的流动影响。为了提高封堵件安装于路门上时与炉门之间的密封性，本技术在一个实施例中将封堵件的周向外围侧壁为光滑侧壁，采用光滑侧壁能够提高与炉门的贴合程度，从而提高与炉门的密封性。具体地，封堵件的两个侧面均为抛光面。以上对本技术所提供的一种封堵件进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想。应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以对本技术进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本技术权利要求的保护范围内。权利要求1. 所述封堵件(2)为不锈钢质封堵件，所述封堵件(2)的周向外围形状与所述观察窗的形状相吻合； 所述封堵件(2)的两个侧面(21)中，至少一面为抛光面。2.根据权利要求I所述封堵件，其特征在于，所述封堵件(2)的周向外围侧壁(22)为光滑侧壁。3.根据权利要求I或2所述封堵件，其特征在于，所述封堵件(2)的两个侧面(21)均为抛光面。专利摘要本技术公开了一种封堵件，用于对PECVD生成炉的炉门观察窗的封堵，封堵件为不锈钢质封堵件，并且封堵件的外围形状与观察窗的形状相吻合。本技术提供的封堵件采用不锈钢制成，能够完全避免PECVD生成炉的炉门在开关时由于炉门震动而造成封堵件的破碎情况发生。并且，本技术提供的封堵件的外围形状与观察窗的形状相吻合，该结构设计能够使得封堵件安装于观察窗上时，与观察窗之间保持高度的密封性能。封堵件具有两个侧面，这两个侧面中至少有一面为抛光面，当将本技术安装于观察窗上时，抛光面朝向PECVD生成炉的炉腔，如此设计能够最大程度地避免封堵件对PECVD生成炉炉内气体的流动影响。文档编号H01J37/32GK202373550SQ20112053502公开日2012年8月8日 申请日期2011年12月19日 优先权日2011年12月19日专利技术者徐颂磊 申请人:浚鑫科技股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐颂磊，
申请(专利权)人：浚鑫科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：