金属刀模板电解蚀刻机制造技术

技术编号:7661524 阅读:243 留言:0更新日期:2012-08-09 05:30
本发明专利技术公开了一种金属刀模板电解蚀刻机,包括机架、上电极、下电极和电解液收集槽,机架上还移动配合有平移架,上电极装连在平移架上,平移架上且位于上电极旁具有至少两个与供液装置连通的出液器,出液器的出液口均朝向上电极的底部及底面下方的空间,下电极的上表面上设有绝缘的工件支撑件,工件支撑件上具有液体过道,或者所述下电极的上表面上设有若干个绝缘的工件支撑条,相邻的工件支撑条之间的间隙构成液体过道,下电极内部或侧面具有通往下电极上表面的液流通道,液流通道与液体过道连通。本发明专利技术不产生烧蚀,能够满足大蚀刻深度、高均匀度、高精度金属刀模板蚀刻要求。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:周丁政
申请(专利权)人:常州正成机电科技有限公司
类型:发明
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