金属刀模板电解蚀刻机制造技术

技术编号：7661524 阅读：246 留言：0更新日期：2012-08-09 05:30

本发明专利技术公开了一种金属刀模板电解蚀刻机，包括机架、上电极、下电极和电解液收集槽，机架上还移动配合有平移架，上电极装连在平移架上，平移架上且位于上电极旁具有至少两个与供液装置连通的出液器，出液器的出液口均朝向上电极的底部及底面下方的空间，下电极的上表面上设有绝缘的工件支撑件，工件支撑件上具有液体过道，或者所述下电极的上表面上设有若干个绝缘的工件支撑条，相邻的工件支撑条之间的间隙构成液体过道，下电极内部或侧面具有通往下电极上表面的液流通道，液流通道与液体过道连通。本发明专利技术不产生烧蚀，能够满足大蚀刻深度、高均匀度、高精度金属刀模板蚀刻要求。