【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于振动测量
，特别涉及。
技术介绍
微机电器件的检测是微机电器件生产中的重要环节，对微机电器件可动结构的振 动测量又是其中的重要组成。对于微机电结构的平面内振动，目前的测量方法仍十分有限，有外差干涉法、频闪图像法、差分多普勒法等。外差干涉法是使微机电结构反射光束与参考光束发生干涉，测量干涉条纹的变化来测量微机电结构的振动的；差分多普勒法是将两束不同入射角的光照射到微机电器件的振动结构上，测出两束反射光的多普勒效应，差分后测量出振动参数。上述两种方法都是使用光束聚集形成的微米尺寸的光学探针，因此其光学结构复杂较为复杂，进而导致此测量方法在进行之前需要进行复杂的调节，无法用于大规律的生产线测试。频闪图像法是频闪光源照射到被测结构表面上，当频闪光源的频率与振动频率一致时，通过图像采集设备可以看到静止的图像，即可测出振动的频率，再调频闪的相位，就能测到振动的具体参数。本方法的缺点是需要精准的同步技术，设备成本较高。使用光学探针的测量方法基于其原理必须使用相对复杂的光学系统来实现光学聚焦，而频闪法也是基于其原理必须使用较精准的同步技术。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供，其特征在于，首先建立光学测量装置，该装置的结构是在光源的前面依次放置偏振片和分光棱镜，分光棱镜的上方固定傅里叶透镜，傅里叶透镜的右上方固定光电探测器；分光棱镜放置在被测微机械器件平面的正上方，或左上方或右上方，由相干平行光的放置位置而定；并在被测微机械器件上面放置光阑，移动光阑可以调节被测微机械器件平面的大小和位置。其次使用建立光学测量装置对微机械结构平面内振动进行测量，具体测量...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微机械结构平面内振动的光学测量方法，其特征在于，首先建立光学测量装置，该装置的结构是在光源的前面依次放置偏振片和分光棱镜，分光棱镜的上方固定傅里叶透镜，傅里叶透镜的右上方固定光电探测器；分光棱镜放置在被测微机械器件的平面的正上方，或左上方或右上方，由相干平行光的放置位置而定；并在被测微机械器件上面放置光阑，移动光阑可以调节被测微机械器件平面的大小和位置； 其次使用建立光学测量装置对微机械结构平面内振动进行测量，具体测量过程是采用中小功率的气体激光器或中小功率的半导体激光器作为光源，通过偏振片得到相干平行光，相干平行光经过分光棱镜照射到被测微机械器件的平面上，微机械器件平面上的反射光线被分光棱镜透射，透射的反射光线经过具有光学傅里叶特性的傅里叶透镜后，透射的反...
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