电子真空泵综合性能检测装置制造方法及图纸

技术编号：7633571 阅读：200 留言：0更新日期：2012-08-03 21:35

本发明专利技术公开了一种电子真空泵综合性能检测装置包括气室、可编程电源、电流计、气室温度调节装置、气室压力检测装置和数据采集/分析系统，所述可编程电源与电子真空泵的电源接入端口相连接，电流计与电子真空泵的电流检测端口相连接，气室与电子真空泵的抽气端口相连接；所述可编程电源、电流计、气室温度调节装置和气室压力检测装置的数据输出端口与数据采集/分析系统的数据输入端口相连接。本发明专利技术提供的电子真空泵综合性能检测装置，能够模拟出电子真空泵的各种使用环境，对电子真空泵在不同温度、电压条件下的各个性能参数进行检测，判断其性能是否达到设计要求。