本实用新型专利技术涉及脉冲激光刻蚀双面ITO玻璃上导电膜层的装置，膜材的正面和背面各布置一套脉冲激光刻蚀装置，每套脉冲激光刻蚀装置包含高频率短脉冲激光器、半透半反镜、格兰棱镜和全反镜，高频率短脉冲激光器输出端依次布置光闸、扩束镜和半透半反镜，半透半反镜输出端布置第一1/2波片和全反镜，第一1/2波片输出端依次布置第一格兰棱镜和第一3D动态聚焦镜，第一3D动态聚焦镜输出端布置第一振镜，全反镜输出端布置第二1/2波片，第二1/2波片输出端依次布置第二格兰棱镜和第二3D动态聚焦镜，第二3D动态聚焦镜输出端布置第二振镜，第一振镜和第二振镜输出端均正对于膜材表面。用于对不同触摸屏产品中双面ITO玻璃进行蚀刻，实现高效率高精度线路制作。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及ー种脉冲激光刻蚀双面ITO玻璃上导电膜层的装置，属于激光微加工
技术介绍
传统的触摸屏上双面导电膜层上线路制作方法主要有化学湿法刻蚀和黄光刻蚀等两种エ艺方法。其中化学湿法刻蚀导电膜层的エ艺方法中，エ序设计到完成刻蚀时间长， 需投入治具和耗材成本较高，同时产线上投入较多人力，废水费酸等废液对环境污染较为严重，整个エ艺流程能源浪费较严重。而黄光刻蚀エ艺需要前期投入较大，成本高昂，对于材料的选择性较为狭隘，不适合市场上所有导电膜层的制作方法，再加上日常维护开销较大，耗材和人力成本带来整个生产成本的増加，应用领域限制较为严重。激光刻蚀触摸屏上双面导电膜层エ艺是利用脉冲激光通过光学聚焦系统将激光束聚焦为几百纳米到20微米的光斑，聚焦后光斑，达到材料的去除能量阈值，通过高速扫描振镜系统精密快速扫描，从而实现触摸屏上双面导电膜层的线路制作目的。传统的湿刻触摸屏上双面导电膜层线路实现宽度最细只能达到80um，且良品率较低，线性不均匀，更换不同批次产品较为繁琐，需要用化学药水清洗，污染环境；绷网张カ值较小，成品材料耐磨性、耐化学药品性较差，易老化发脆。这种印刷方式エ序复杂、生产中需要较多耗材，产线需要较多人力维护，局限性较大。而激光蚀刻可以避免这些问题的出现， 而且激光具有非接触、无污染环境、易控制等特性，使其成为触摸屏上双面导电膜层线路刻蚀控制的重要应用热点，并且逐渐会在エ业中得到广泛的应用。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种脉冲激光刻蚀双面ITO 玻璃上导电膜层的装置。本技术的目的通过以下技术方案来实现脉冲激光刻蚀双面ITO玻璃上导电膜层的装置，膜材由夹紧气缸夹紧固定，特点是所述膜材的正面和背面各布置一套相同的脉冲激光刻蚀装置，所述每套脉冲激光刻蚀装置均包含高频率短脉冲激光器、扩束镜、半透半反镜、格兰棱镜和全反镜，高频率短脉冲激光器的输出端布置有光闸，光闸的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端布置有半透半反镜，半透半反镜的输出端布置有第一 1/2波片和全反镜，第一 1/2波片的输出端布置有第一格兰棱镜，第一格兰棱镜的输出端布置有第一 3D动态聚焦镜,第一 3D动态聚焦镜的输出端布置有第一振镜，全反镜的输出端布置有第二 1/2波片，第二 1/2波片的输出端布置有第 ニ格兰棱镜，第二格兰棱镜的输出端布置有第二 3D动态聚焦镜，第二 3D动态聚焦镜的输出端布置有第二振镜，第一振镜和第二振镜的输出端均正对于膜材的表面，膜材的表面上布置有CCD对位观察系统，膜材的ー侧布置有吹气系统，另ー侧安装有集尘系统，高频率短脉冲激光器、第一振镜和第二振镜通过通讯系统连接エ控机。进ー步地，上述的的脉冲激光刻蚀双面ITO玻璃上导电膜层的装置，其中，所述高频率短脉冲激光器是波长为190nm llOOnm、脉宽在Ips 200ns、频率在IOKHz IOOMHz 的激光器。脉冲激光刻蚀双面ITO玻璃上导电膜层的方法，高频率短脉冲激光器发出的激光经过光闸控制开关光，光闸控制激光光束后经过扩束镜对光束进行同轴扩束，改善光束传播的发散角，使光路准直，扩束镜扩束准直后光束到达半透半反镜，使激光透过一半反射一半，透过的一半激光到达全反镜后光路垂直改向将激光全部反射到第二 1/2波片，第二 1/2 波片的光束经第二格兰棱镜和第二 3D动态聚焦镜到达第二振镜，第二振镜将光束聚焦于膜材的表面上，通过半透半反镜反射下来的激光到达第一 1/2波片，第一 1/2波片的光束经第一格兰棱镜和第一 3D动态聚焦镜到达第一振镜,第一振镜将光束聚焦于膜材的表面上, 扫描图形转化为数字信号，图形转化在膜材的表面上进行刻蚀，膜材由夹紧气缸夹紧固定， CCD对位观察系统将导入的定位标拍摄并抓取靶标，蚀刻产生的粉尘由吹气系统产生气流, 由集尘系统收集粉尘。本技术技术方案突出的实质性特点和显著的进步主要体现在本技术通过运用高频率的短脉冲激光器作为激光源，对不同触摸屏产品中双面ITO玻璃进行激光蚀刻，使双面ITO玻璃的上下导电膜层材料在高频率的短脉冲固体激光器的作用下气化而达到蚀除的目的，通过高精度平台的移动拼接和小幅面振镜蚀刻来完成这些导电薄膜材料的蚀刻，产生的粉尘经过吹气系统和大流量积尘系统集尘，加工出无污染、线性稳定、功能完好的触摸屏电子产品。克服传统微加工中存在的系统复杂、加工效率低、易产生耗材和选择性不强等缺点，实现高效率高精度的触摸屏上线路制作。以下结合附图对本技术技术方案作进ー步说明图I :本技术的光路系统示意图。具体实施方式如图I所示，脉冲激光刻蚀双面ITO玻璃上导电膜层的装置，膜材12由夹紧气缸 13夹紧固定，膜材12的正面和背面各布置一套相同的脉冲激光刻蚀装置，所述每套脉冲激光刻蚀装置均包含高频率短脉冲激光器I、扩束镜3、半透半反镜4、格兰棱镜6和全反镜 16，高频率短脉冲激光器I是波长为190nm llOOnm、脉宽在Ips 200ns、频率在IOKHz IOOMHz的激光器,高频率短脉冲激光器I的输出端布置有光闸2,光闸2的输出端设置有扩束镜3，扩束镜3的输出端布置有半透半反镜4，半透半反镜4的输出端布置有第一 1/2波片 5和全反镜16,第一 1/2波片5的输出端布置有第一格兰棱镜6,第一格兰棱镜6的输出端布置有第一 3D动态聚焦镜7,第一 3D动态聚焦镜7的输出端布置有第一振镜8,全反镜16 的输出端布置有第二 1/2波片17，第二 1/2波片17的输出端布置有第二格兰棱镜18，第二格兰棱镜18的输出端布置有第二 3D动态聚焦镜19，第二 3D动态聚焦镜19的输出端布置有第二振镜20,第一振镜8和第二振镜20的输出端均正对于膜材12的表面,膜材12的表面上布置有CCD对位观察系统9，膜材12的ー侧布置有吹气系统11，另ー侧安装有集尘系统10，高频率短脉冲激光器I、第一振镜8和第二振镜20通过通讯系统15连接ェ控机14。本技术运用高频率的短脉冲激光刻蚀双面ITO玻璃上导电膜层，加工的材料为以GLASS为基底双面镀ITO导电材料，激光聚焦在ITO薄膜材料上，从而达到蚀刻效果。上述装置用于刻蚀双面ITO玻璃上导电膜层时，加工前激光焦点聚焦位于膜材12 的上表面，高频率短脉冲激光器I发出的激光经过光闸2控制开关光，具体可以由软件控制感应信号来控制光闸2的开启和关闭，从而实现激光器I的外部控制激光开关；光闸2控制激光光束后经过扩束镜3对光束进行同轴扩束，一方面改善光束传播的发散角，达到光路准直的目的；另外一方面，对激光光束同轴扩束，使得聚焦后光斑更小，从而实现激光稳定刻蚀的目的；扩束镜3扩束准直后光束到达半透半反镜4，使激光透过一半反射一半，透过的一半激光到达全反镜16后光路垂直改向将激光全部反射到第二 1/2波片17，第二 1/2 波片17的光束经第二格兰棱镜18和第二 3D动态聚焦镜19到达第二振镜20，第二振镜20 将光束聚焦于膜材12的表面上，通过半透半反镜4反射下来的激光到达第一 1/2波片5， 第一 1/2波片5的光束经第一格兰棱镜6和第一 3D动态聚焦镜7到达第一振镜8,第一振镜8将光束聚焦于膜材12的表面上，扫描图形转化为数字信号，图形转化在膜材12的表面上进行刻本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，狄建科，张伟，
申请(专利权)人：苏州德龙激光有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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