一种微动重载升降推车制造技术

本实用新型专利技术提出一种微动重载升降推车，包括车架，电动升降平台和水平微动定位机构，车架包括车轮、把手和底盘焊接组件，电动升降平台连接于底盘焊接组件和水平微动定位机构，水平微动定位机构包括：弹簧复位机构、限位块、支撑架焊接组件、气垫模块和微动调整机构，负载设置于支撑架焊接组件上，气垫模块设置于支撑架焊接组件下方，支撑架焊接组件呈长方形，微动调整机构设置于支撑架焊接组件相邻两侧，弹簧复位机构设置于支撑架焊接组件另外相邻两侧，限位块设置于支撑架焊接组件的四个顶角处。本实用新型专利技术利用气垫实现重载在升降平台上的水平向微动，对承载零部件的外形尺寸限制放宽，适应性大大提高。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及升降推车领域，且特别涉及ー种微动重载升降推车。
技术介绍
目前，工程中常用的可移动升降台主要存在以下几个个问题承载较小，一般常见的不会超过It ;用滚珠或车轮实现位置移动，水平面内位置移动的分辨率低，很难实现精确定位，即便设计了平台与对接零部件的定位接ロ，也只能实现对少数零部件的有限个数位置的精确定位，应用范围有限，适应性不足。现有技术公布的一种气动剪式升降台，其包括底架、台面板和举升撑臂，台面板由举升撑臂撑于底架上，利用底架上气动千斤顶的活塞杆与举升撑臂连接，来实现对台面板上负载的提升，其应用范围如摩托车修理等，只要求将目标提升，对被提升目标的位置精确度要求并不高；再如现有技术公布的ー种精密提升装置，其包括承载板、提升机构、上面板、 下面板和驱动装置、固定/滚动装置、高度限位机构等，可实现灵活地移动和转动，且对提升高度进行了限位，但其仍无法实现对大负载水平向内位移的微量调整和精确定位。在光刻机的整机集成以及维修维护过程中，很多零部件的安装、检测都要利用到可移动式、升降高度可调的移动平台。由于光刻机零部件的特殊性，其众多零部件自重都很大(如某型号掩模台分系统自重I. 2t)，而水平向内的安装位置精确度又要求很高，现有的升降平台产品不能满足需求。
技术实现思路
现大多数大吨位的升降台都为固定式的，无法移动，更无法进行高分辨率的水平移动和精确定位，针对这些不足以及现实需求，本技术提出了一种微动重载升降推车。为了实现上述目的，本技术提出一种微动重载升降推车，包括车架，电动升降平台和水平微动定位机构，所述车架包括车轮、把手和底盘焊接组件，所述电动升降平台连接于所述底盘焊接组件和所述水平微动定位机构，所述水平微动定位机构包括弹簧复位机构、限位块、支撑架焊接组件、气垫模块和微动调整机构，负载设置于所述支撑架焊接组件上，所述气垫模块设置于所述支撑架焊接组件下方，所述支撑架焊接组件呈长方形，所述微动调整机构设置于所述支撑架焊接组件相邻两侧，所述弹簧复位机构设置于所述支撑架焊接组件另外相邻两侧，所述限位块设置于所述支撑架焊接组件的四个顶角处。进ー步的，所述微动调整机构包括千分尺旋钮和微动调整机构底座，所述千分尺旋钮安装在所述微动调整机构底座上，所述千分尺旋钮的球头顶在所述支撑架焊接组件的焊接方管表面上。进ー步的，所述弹簧复位机构具有弹簧柱塞，所述弹簧柱塞的球头顶在所述支撑架焊接组件的焊接方管表面上。进ー步的，所述限位块具有定位和锁紧机构，用于定位和锁紧所述支撑架焊接组件。进ー步的，所述车轮包括安装在所述底盘焊接组件四角的2个固定脚轮和2个平底刹车万向轮。进ー步的，所述车架设置有脚轮调整组件，所述脚轮调整组件通过内六角螺钉固定在所述车架上。进ー步的，所述脚轮调整组件包括依次连接的固定座，连接臂和脚轮调整块。进ー步的，所述固定座和连接臂通过转轴和深沟球轴承装配，并由上盖板和下盖板压紧固定。进ー步的，所述连接臂和脚轮调整块通过螺栓套接，所述脚轮调整块设置有橡胶垫。本技术提出的微动重载升降推车，利用气垫的有利条件，轻松实现重载在升降平台上的水平向微动，对承载零部件的外形尺寸限制放宽，适应性大大提高。而气垫模块限位机构的设置，可使得在气垫完成位置微调后，利用限位块将承载板位置锁定，释放气垫，操作便捷。附图说明图I所示为本技术较佳实施例的微动重载升降推车的结构示意图。图2所示为本技术较佳实施例的微动重载升降推车的使用状态图。图3所示为本技术较佳实施例的微动重载升降推车的俯视图。图4所示为本技术较佳实施例的脚轮调整组件结构示意图。具体实施方式为了更了解本技术的
技术实现思路
，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。请參考图1，图I所示为本技术较佳实施例的微动重载升降推车的结构示意图。本技术提出一种微动重载升降推车，包括车架，电动升降平台和水平微动定位机构，所述车架包括车轮、把手和底盘焊接组件，所述电动升降平台连接于所述底盘焊接组件和所述水平微动定位机构，所述水平微动定位机构包括弹簧复位机构、限位块、支撑架焊接组件、气垫模块和微动调整机构，负载设置于所述支撑架焊接组件上，所述气垫模块设置于所述支撑架焊接组件下方，所述支撑架焊接组件呈长方形，所述微动调整机构设置于所述支撑架焊接组件相邻两侧，所述弹簧复位机构设置于所述支撑架焊接组件另外相邻两侧，所述限位块设置于所述支撑架焊接组件的四个顶角处。根据本技术较佳实施例，所述微动重载升降推车其包括2个固定脚轮I、底盘焊接组件2、4个脚轮调整组件3、2个平底刹车万向轮4、把手5、4个弹簧复位机构6、4个限位块7、支撑架焊接组件8、3个气垫模块9、4个微动调整机构10、电动升降平台11等组成。 固定脚轮I、平底刹车万向轮4、底板焊接组件2和把手5的装配实现了承载重载大范围快速移动的功能；电动升降平台11实现了重载Z向升降的功能；支撑架焊接组件8、气垫模块9、限位块7、微动调整机构10和弹簧复位机构6实现了重载水平向内的微动和定位。掩模台是光刻机中的重要分系统之一，其自重达I. 2t。如图2所示，在本实施例中，掩模台100置于微动重载升降推车300的支撑架焊接组件8上，操作人员推动推车进行水平向的大范围移动，靠近光刻机整机框架200，当进入了精调范围之内后，便将万向轮4 制动，手推车原地固定。此后，启动重载电动升降平移台11至装配高度，锁紧，垂向高度确定。再启动气垫模块9，当气垫模块9稳定工作后，掩模台100则由很薄的气膜支撑，此时气垫模块9与电动升降平台11的承载面间的摩擦极小，操作人员可轻松利用微动调整机构 10调节掩模台100在水平面内的位移，当负载移至安装精度允许范围之内，再利用限位块7 进行锁紧定位。一般重载小型升降台(大于I吨)大多为固定式，为实现水平向内大范围的移动， 本实施例设计一重载升降推车。在推车的前后两支点处分别安装重载固定脚轮I和平底刹车万向轮4，并设计底盘焊接组件2作为推车的承载面，其余部件即可装配在推车上进行快速移动和固定。本实施例中，重载电动升降平台11安装在底盘焊接组件2上，可随重载推车同时移动，亦可承载负载进行Z向的提升或下降，实现重载垂向的升降功能。根据需求不同，还可采用千斤顶等其他形式的手动或电动机构来实现垂向升降的功能。传统的重载升降平台通常是固定式的，且重载置于升降平台上后，仅凭人力很难将其移动，当遇到精密装配的情况时，就难以完成任务。本实施例引入了气垫模块9，将ー组气垫模块9置于升降台11上，无紧固连接。气垫进入稳定工作状态后，与升降台工作面之间将形成一层极薄的空气膜，二者不再接触，因此摩擦极小，需要的推动カ也很小。再请參考图3，图3所示为本技术较佳实施例的微动重载升降推车的俯视图。 本实施例中设计了微动调整机构10，延X、Y向布置在支撑架焊接组件8的两边上，每向2 组，将微动调整机构10中的千分尺旋钮1001读数归零，安装在微动调整机构底座1002上， 保证千分尺旋钮1001的球头顶在支撑架焊接组件8的焊接方管表面上。在支撑架焊接组件8的另外两边，分别布置2组弹簧复位机构6，保证设置在弹簧复位机构底座602上的弹簧柱塞601的球头顶在支撑架焊接组件8的焊接方管表面上，且弹簧柱塞需一定的预本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：边旭，陈慧，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：