波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置。标准具包括第一基板；与第一基板相对的第二基板；在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的固定反射镜；设置于第二基板上并介由反射镜间间隙与固定反射镜相对的可动反射镜；以及在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的第一电极；并且具有第一电极的一部分与固定反射镜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。

【技术实现步骤摘要】
波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置
本专利技术涉及波长可变干涉滤波器、具备该波长可变干涉滤波器的光模块以及具备该光模块的光分析装置。
技术介绍
现有技术中已知在一对基板的彼此相对的表面上以既定间隙分别相向配置有反射膜的可变干涉装置(波长可变干涉滤波器)(例如参照专利文献1)。在专利文献1记载的波长可变干涉滤波器中，为了调整间隙，在一对反射膜的彼此相对的表面上相向地配置电极，可以通过向各电极施加驱动电压，利用静电引力调整间隙。由此，波长可变干涉滤波器能仅透射对应于该间隙的特定波长的光。即，波长可变干涉滤波器对入射光在一对反射膜间使光发生多重干涉，从而仅透射因多重干涉而彼此增强的特定波长的光。专利文献1：特开平1-94312号公报
技术实现思路
然而，在这样的波长可变干涉滤波器的制造工序中，在将基板彼此接合的工序中，反射膜之间可能彼此粘附。另外，可能在调整间隙时反射膜之间出现彼此粘附、或因施加外力时的冲击而在反射膜之间出现彼此粘附。由于一旦发生上述的反射膜之间的粘附，则会损坏反射膜的表面，因而反射膜的光学特性(透射率、反射率)下降。因此，为了防止反射膜之间的粘附，可以考虑在反射膜的附近设置突起部。然而，在设置这样的突起部的情况下，在波长可变干涉滤波器的制造工序中，存在需要另行设置突起部的工序并且使结构复杂化的问题。本专利技术的目的在于，以简洁的结构提供能够防止反射膜之间的粘附的波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置。本专利技术的波长可变干涉滤波器的特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板彼此相对；第一反射膜，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的表面上；第二反射膜，设置于所述第二基板上，并隔着既定间隙与所述第一反射膜相对；以及第一电极，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的表面上；并且具有所述第一电极的一部分与所述第一反射膜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。依据本专利技术，具有第一电极的一部分与第一反射膜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。由此，第一层叠阻止部与第二反射膜之间的尺寸比反射膜之间的间隙的尺寸小。因此，在反射膜间的间隙尺寸变小的情况下，第一层叠阻止部和第二反射膜接触，从而能够防止反射膜之间的粘附。另外，依据本专利技术，第一层叠阻止部由第一电极与第一反射膜层叠形成，因而不需要在反射膜另行设置上述的突起部，能够通过实施形成第一反射膜及第一电极的工序来设置，因此能够简化制造工序，而且能简化结构。在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，优选具备设置于所述第二基板的与所述第一基板相对的表面的第二电极，具有所述第二电极的一部分与所述第二反射膜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第二层叠阻止部。依据本专利技术，在第二基板形成有第二层叠阻止部。在这样的结构中，在第二基板侧也设置有防止反射膜彼此接触的第二层叠阻塞，因而能够更可靠地防止反射膜之间的接触。这里，在从基板厚度方向看第一基板及第二基板的俯视图中，在第二层叠阻止部形成于与第一层叠阻止部重叠的位置的情况下，通过第一层叠阻止部和第二层叠阻止部抵接，能够防止第一及第二反射膜的接触。在此情况下，在第一基板和第二基板之间产生第一层叠阻止部的厚度尺寸和第二层叠阻止部的厚度尺寸的合计量的间隙。因而，例如与仅通过第一层叠阻止部防止反射膜彼此接触的情况相比，能够增大反射膜间的间隙尺寸，从而能够更可靠地防止反射膜彼此的接触、粘附。另一方面，所述俯视图中，也可以是第一层叠阻止部和第二层叠阻止部设置于完全不重叠的位置的结构。在此情况下，与仅通过第一层叠阻止部防止反射膜之间的接触、粘附的情况相比，能够使防止反射膜彼此接触、粘附的阻止部的面积增大设置的第二层叠阻止部的面积，从而能够对抗更强的应力。在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，优选在所述第二基板设置与所述第一电极相对的第二电极，所述第一电极及所述第二电极是通过被施加电压而改变所述间隙的尺寸的驱动电极。依据本专利技术，第一电极及第二电极是驱动电极，因而能够兼作改变间隙的尺寸的间隙改变部。即，在波长可变干涉滤波器的制造工序中，不需要另行设置上述的突起部的工序，通过形成第一反射膜的工序和形成驱动电极的工序，很容易形成第一层叠阻止部、简化制造工序并且简化结构。在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，优选在所述第二基板设置与所述第一电极相对的第二电极，所述第一电极及所述第二电极是测定在所述第一电极及所述第二电极之间保持的静电电容的静电电容测定用电极。依据本专利技术，第一电极及第二电极作为静电电容测定用电极而起作用。在设有这样的静电电容测定用电极的波长可变干涉滤波器中，通过测定第一电极及第二电极所保持的电荷量，能够算出第一反射膜及第二反射膜间的间隙。因而，能够准确地求出通过波长可变干涉滤波器获得的光的波长，通过基于该静电电容设定第一反射膜及第二反射膜间的间隙，能够将反射膜间间隙准确地设定为期望的间隙。而且，在波长可变干涉滤波器的制造工序中，通过形成第一反射膜的工序和形成静电电容测定用电极的工序，很容易形成第一层叠阻止部。在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，优选所述第一电极是去除所述第一反射膜的电荷的电荷去除用电极。依据本专利技术，第一电极作为去除第一反射膜的电荷的电荷去除用电极而起作用。另外，反射膜间的间隙的尺寸变小，第一层叠阻止部和第二反射膜接触时，保持在第二反射膜的电荷也能够从第一层叠阻止部的电荷去除用电极逃逸。因此，不会因分别保持于第一反射膜及第二反射膜的电荷而产生静电引力，从而能够将反射膜间的间隙准确地设定为期望的间隙尺寸。在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，优选所述第一层叠阻止部从所述第一基板侧依次层叠所述第一反射膜及所述第一电极。一般地，在基板上成膜的反射膜存在外围端部比较容易剥离、易劣化的问题。然而，依据本专利技术，第一层叠阻止部是在第一反射膜上层叠第一电极的结构，因而第一电极能够可靠地保护第一反射膜的端部，防止第一反射膜的劣化。在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，优选所述第一层叠阻止部从所述第一基板侧依次层叠所述第一电极及所述第一反射膜。依据本专利技术，第一层叠阻止部从第一基板侧依次层叠第一电极及第一反射膜。由此，在第一基板上成膜第一电极后，成膜第一反射膜，因而能够使第一反射膜的形成工序成为更靠后的工序，并进一步防止在制造工序中使第一反射膜受到损伤。另外，第一反射膜是例如层叠有SiO2、TiO2等绝缘层的电介质多层膜，在将与第一电极相对的第二电极设置于第二基板上的情况下，通过在第一电极之中将与第二电极相对的区域整体用第一反射膜覆盖而构成第一层叠阻止部，能够将第一反射膜用作绝缘层。在此情况下，通过第一层叠阻止部能够防止反射膜之间的接触、粘附，同时能够防止第一电极及第二电极间的放电、漏电(leak)等不良状况。在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，优选所述第一电极用非透光性的材料形成，在沿所述第一基板及第二基板的基板厚度方向看的俯视图中，所述第一层叠阻止部被设定为规定透射所述第一反射膜及第二反射膜的入射光的光透射区域的环状。这里，本专利技术所述的非透光性的材料是指在波长可变干涉滤波器中不透射成为测定对象的波长范围的光的材料。因而，在成为测定对象的波长范围是可见光的情况下，作为第一电极，可以使用能透射红外光的、诸如Si的不透射可见光的金属材料。依据本发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.01.24 JP 2011-0121991.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板彼此相对；第一反射膜，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的表面上；第二反射膜，设置在所述第二基板上、与所述第一反射膜隔开既定间隙而相对；以及第一电极，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的表面上，并且具有所述第一电极的一部分与所述第一反射膜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部，所述第一层叠阻止部被配置为环绕所述第一反射膜的外周边缘。2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第二电极，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的表面上，并且具有所述第二电极的一部分与所述第二反射膜的外周边缘的至少一部分层叠而成的第二层叠阻止部。3.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，在所述第二基板上设置有与所述第一电极相对的第二电极，所述第一电极和所述第二电极是通过被施加电压而改变所述间隙的尺寸的驱动电极。4.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，在所述第二基板上设置有与所述第一电极相对的第二电极，所述第一电极和所述第二电极是测定保持在所述第一电极和所述第二电极之间的静电电容的静电电容测定用电极。5.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第一电极是去除所述第一反射膜的电荷的电荷去除用电极。6.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第一层叠阻止部中所述第一反射膜和所述第一电极从所述第一基板侧依次层叠。7.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第一层叠阻止部中所述第一电极和所述第一反射膜从所述第一基板侧依次层叠。8.根据权利要求2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第一电极用非透光性材料形成，在从所述第一基板和第二基板的基板厚度方向看的俯视图中，所述第一层叠阻止部被设置为限定从...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐野朗，松野靖史，北原浩司，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：