洗涤喷嘴制造技术

本发明专利技术要提供一种洗涤喷嘴，能让喷射出的洗涤液所含有的气体微粒的尺寸较小，并使微粒均匀且密度较高。该洗涤喷嘴，是具备有：至少具有洗涤液供给口与液体排出口的搅拌室、以及通过上述液体排出口与该搅拌室连通，且具有气体供给口与洗涤液喷出口的混合室；上述搅拌室，会将从上述洗涤液供给口所供给的洗涤液加以搅拌，通过使其冲撞搅拌室内壁来生成气体微粒而将含有气体微粒的液体从上述液体排出口排出；上述混合室，会将从上述液体排出口所供给的含有气体微粒的液体与从气体供给口所供给的气体加以混合，来将洗涤液从上述洗涤液喷出口喷出。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是涉及适合用来清洗平板显示器、半导体相关零件、及光相关零件等的精密零件的洗涤喷嘴。
技术介绍
在平板显示器、半导体相关零件、及光相关零件等的精密零件的清洗方面，需要彻底地去除细微的灰尘、及微粒等。例如，在平板显示器、半导体相关零件等方面，近年来，由于高集成化、高密度化的进步，所以这些精密零件的洗涤，会将亚微米程度的微粒作为去除对象。而对于这种精密零件的洗涤，也要求要不会损伤到具有细微的图案等的精密零件的表面。因此，通过使用高压洗涤喷嘴将洗涤液与气体混合，让洗涤液成为细微的粒子，通过将已微粒化的洗涤液喷射到被洗涤物来将其洗涤，或通过使用刷子刷洗表面来将其洗涤。图5是表示用于这种洗涤过程的洗涤喷嘴的一个例子的说明图。在该洗涤喷嘴50，在其内部是设置有用来混合洗涤液与气体的混合室2。在混合室2设置有洗涤液供给口3、气体供给口5、及洗涤液喷出口6。在清洗时，会从洗涤液供给口3供给溶剂、清洗剂、纯水等的洗涤液，从气体供给口5供给压缩空气等的气体。通过气体的供给压力让洗涤液与气体在混合室2的内部混合且微粒化。而且，通过将微粒化的洗涤液从洗涤液喷出口6喷射到洗涤对象，来清洗洗涤对象物。可是，这种洗涤喷嘴对于近年来高集成化的精密零件的清洗有一些缺点。也就是说，这种洗涤喷嘴，用来将洗涤液微粒化然后将其喷射出去的大部分的动力是依赖液体或气体的供给压力。因此，为了将洗涤液微粒化成非常细微的尺寸，以需要的喷出压力喷出，而需要非常高的液体或气体的供给压力。因此，需要80kg以上的高压泵，而可能会导致清洗作业的高成本化。在如上述的洗涤喷嘴，会有所喷射的洗涤液的微粒的尺寸太大，微粒的密度不够，且喷射的洗涤液的微粒不均匀这样的缺点。因此，在要清洗近年来高集成化的精密零件的时候，就无法完全去除附着在细微的图案上的亚微米程度尺寸的灰尘或微粒，而无法得到所需要的洗涤效果。而在为了要得到足够的洗涤效果，而将气体的供给压力更增大的情况，有可能会对精密零件的细微的图案(パタ一ソ)造成损伤。而提高气体的供给压力的话，会额外的浪费清洗液，而让洗涤成本过高。而除了喷嘴以外，使用刷子来洗涤表面也会有缺点，刷子中的微粒的残渣会伤到表面。但是，虽然低频的超声波可除去微米以上的脏东西，而高频的可除去亚微米的脏东西，可是会有损伤到洗涤物，且使超声波振荡器、振子造成损伤，且成本变高的缺点。
技术实现思路
本专利技术的目的，就是要改善上述传统的洗涤喷嘴所具有的缺点，能让喷射出的洗涤液所含有的气体微粒的尺寸较小，让微粒的量很大且很均匀。用以解决上述问题的本专利技术，是洗涤喷嘴，其特征为是具备有至少具有洗涤液供给口与液体排出口的搅拌室、以及通过上述液体排出口与该搅拌室连通，且具有气体供给口与洗涤液喷出口的混合室；上述搅拌室，会将从上述洗涤液供给口所供给的洗涤液加以搅拌，通过使其冲撞搅拌室内壁来生成气体微粒，而将含有气体微粒的液体从上述液体排出口排出；上述混合室，会将从上述液体排出口所供给的含有气体微粒的液体，与从气体供给口所供给的气体加以混合，来从上述洗涤液喷出口将洗涤液喷出。通过具备有能搅拌洗涤液来生成气体微粒的搅拌室，即使气体的供给压力低于以往的洗涤喷嘴，还是可将洗涤液中的气体微粒化至非常细微的尺寸，能以所需要的喷射压力供给到被洗涤物。而由于最初是将洗涤液中的气体在搅拌室中微粒化，所以所生成的洗涤液的气体的微粒，与以往的相比其尺寸大小是更细微且密度高且很均匀，也提高了洗涤效果。于是，就可非常均匀且高精度地洗涤具有细微的精密图案的零件、组件等。并且由于洗涤液中的气体微粒是较以往更细微的尺寸大小，所以不会损伤到精密零件的表面，也不会额外的浪费洗涤液。在这种情况，上述搅拌室是最好是通过具有开口部的隔板而被分割成多段。通过将搅拌室分割成多段，则可更加提高将洗涤液中的气体予以微粒化的效率，且可以在喷出口将含有微小尺寸的气体微粒的洗涤液喷射向被洗涤物。上述洗涤液喷出口及液体排出口和开口部最好是细缝状。上述洗涤液喷出口及液体排出口和开口部若为细缝状，洗涤液就会从洗涤液喷出口均匀地喷出，同时可均匀地清洗较大的范围。因此，特别适合于平板状显示器等板状的被洗涤物的清洗。在这种情况，上述洗涤液喷出口及液体排出口和开口部，依照从上述搅拌室的上流段至混合室的洗涤液喷出口的顺序，其开口面积最好是越来越小这样一来，通过把微粒化的洗涤液所通过的开口部随着从上流侧到下流侧，也就是从搅拌室的上流段到混合室的洗涤液喷出口是作成让面积越来越小，就能有效率地生成微小的气体微粒，即能以足够的排出压力将洗涤液供给到被洗涤物。上述混合室是具有多个气体供给口，是将从该气体供给口所供给的多种气体、与从上述气体放出口所供给的含有气体微粒的液体加以混合，而将洗涤液从上述洗涤液喷出口喷出。通过在混合室设置多个的气体供给口，则可以使多种气体与含有气体微粒的液体混合，而应洗涤目的，来将所需要的混合气体用于洗涤过程。在这种情况，上述混合室是具有单数或多数的固体供给口，是可将从该固体供给口所供给的一种或多种的固体、与从上述液体放出口所供给的含有气体微粒的液体加以混合，再将洗涤液从上述洗涤液喷出口喷出。通过在混合室设置固体供给口，则可为达到目的而将所需要的固体混合在洗涤液。因此，例如将合成树脂制的微小粒状物、粉状物等混合在洗涤液中，就可根据需要将洗涤力强化。而固体供给口也可以用气体及液体来进行固体供给。上述洗涤液供给口、气体供给口、与固体供给口，可以供给施加了波动的洗涤液、气体及固体。通过供给施加了波动的洗涤液、气体及固体，则可以利用这些波动的相互作用来提高洗涤效果。附图的简单说明附图说明图1是显示本专利技术的洗涤喷嘴的一例的说明图。图2是显示本专利技术的洗涤喷嘴的另外一例的说明图。图3是显示本专利技术的洗涤喷嘴的另外一例的说明图。图4是显示本专利技术的洗涤喷嘴的另外一例的说明图。图5是显示以往的洗涤喷嘴的一例的说明图。具体的实施方式接下来参照图面来说明本专利技术的实施例，可是本专利技术并不限定于此。图1是显示本专利技术的洗涤喷嘴的其中一个例子的说明图。在本专利技术的洗涤喷嘴10的内部，是设置有搅拌室1与混合室2的两个空间。搅拌室1，具有洗涤液供给口3与细缝状的液体排出口4。混合室2，具有气体供给口5与细缝状的洗涤液喷出口6，是通过液体排出口4而与搅拌室1连通在一起。在细缝状的液体排出口4与洗涤液喷出口6中，洗涤液喷出口6与液体排出口4相比，面积较小。可是有时候洗涤液喷出口6的面积也会比液体排出口4的面积要更大。本专利技术的洗涤喷嘴10的特征，是除了在图5所示的以往的洗涤喷嘴50所设置的混合室2之外，还另外设置有能搅拌洗涤液来将其气体微粒化的搅拌室1。以往的洗涤喷嘴，如图5所示，是在混合室2将直接供给的洗涤液与气体混合，所以在混合室2内所生成的洗涤液中的气体微粒的尺寸，是根据从气体供给口5所供给的气体的供给压力，其尺寸比较大，会生成不均匀的气体微粒。因此，为了要得到满足需求的更小尺寸的气体微粒，需要非常大的气体供给压力。另一方面，在本专利技术的洗涤喷嘴中，如图1所示，首先在搅拌室1，是通过将从洗涤液供给口3所供给的洗涤液加以搅拌，而使其冲撞搅拌室1的内壁来生成气体微粒。例如以200L/min程度的流量从洗涤液供给口3所供给的洗涤液，会在搅拌室1内被搅拌，会冲本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种洗涤喷嘴，是洗涤喷嘴，其特征为： 是具备有：至少具有洗涤液供给口与液体排出口的搅拌室、以及通过上述液体排出口而与该搅拌室相连通，且具有气体供给口与洗涤液喷出口的混合室； 上述搅拌室，会对从上述洗涤液供给口所供给的洗涤液加以搅拌，通过使其冲撞搅拌室内壁来生成气体微粒，并将含有气体微粒的液体从上述液体排出口排出；上述混合室，是将从上述液体排出口所供给的含有气体微粒的液体，与从气体供给口所供给的气体加以混合，再从上述洗涤液喷出口喷出洗涤液的。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：末广修一，岚晴生，
申请(专利权)人：稣喜欧株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]