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微型流体喷射装置制造方法及图纸

技术编号:760953 阅读:215 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术是一种适用于微电子机械系统及家庭装饰等领域的微型流体喷射装置。是在上、下端设有流体出口、进口的壳体中垂向设置一压电振子,压电振子与壳体内壁间构成与出口、进口相连通的容腔。整个装置具有结构紧凑、易于微型化、反应快、无电磁干扰、性能稳定、且控制简单等诸多优点,特别适合广泛应用于微机电系统、汽车工业、喷涂、清洗、冷却以及家庭装饰等领域,具有较高的开发研究价值和市场前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微量流体传输与控制装置,特别是一种适用于微电子机械系统及家庭装饰等领域的微型流体喷射装置
技术介绍
目前出现了多种流体喷射装置,传统流体喷射装置大多采用外界供给高压流体形成喷射效果。这种喷射装置由于需要额外的压力辅助设备,因而系统构成复杂,成本较高。但利用压电驱动技术构造的流体喷射装置还不多见,目前清华大学研究的喷雾器,其加工难度较大,制造成本高。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了满足微机电系统对流体传输与控制的需要,提供一种结构更为简单、紧凑,易于微型化、性能稳定、易于控制的微型流体喷射装置。本专利技术微型流体喷射装置,是在上、下端设有流体出口、进口的壳体中垂向设置一压电振子,压电振子与壳体内壁间构成与出口、进口相连通的容腔。所述的壳体是由左、右壳体组成,右壳体内壁上开有圆形内缺槽,上、下端设有与内缺槽相连通的所述的出口、进口;左壳体内壁上开有与右壳体内缺槽相对应的圆形内缺槽,上端设有与内缺槽相连通的导线槽。它采用直通管路作为进、出口通道,并由薄膜压电振子与壳体结合形成容腔,由压电振子的高频弯曲振动在容腔内形成一定压力,流体在进、出口管路间的阻力差作用下形成喷射效果。由于这种流体喷射装置不需要高压辅助装置,并且采用薄膜型压电振子作为驱动元件,因此整个装置具有结构紧凑、易于微型化、反应快、无电磁干扰、性能稳定、且控制简单等诸多优点,特别适合广泛应用于微机电系统、汽车工业、喷涂、清洗、冷却以及家庭装饰等领域,具有较高的开发研究价值和市场前景。附图说明图1是本专利技术结构示意图;图2是图1的左剖视图;图3是图1的右剖视图;图4是图1中所示压电振子3的结构示意图。具体实施例方式以下结合附图给出的实施例对本专利技术结构作进一步的详细描述。参照图1,本专利技术微型流体喷射装置,是在上、下端设有流体出口5、进口4的壳体中垂向设置一压电振子3,压电振子3与壳体内壁间构成与出口5、进口4相连通的容腔7。参照图2、3,所述的壳体是由左、右壳体2、1组成,右壳体1内壁上开有圆形内缺槽11,上、下端设有与内缺槽11相连通的所述的出口5、进口4;左壳体2内壁上开有与右壳体1内缺槽11相对应的圆形内缺槽12,上端设有与内缺槽12相连通的导线槽6。参照图4,压电振子3是由直径小于左壳体内缺槽12直径的压电陶瓷薄膜8和金属薄膜9粘贴复合而成;金属薄膜9的周边被粘贴压合在左、右壳体2、1内壁上;连接压电振子的导线10由左壳体上端导线槽6中穿出。其工作过程是将进口4始终保持位于液面以下,给压电振子3施加一定信号时,薄膜压电振子3处于弯曲振动状态。在薄膜压电振子3弯曲振动的一个周期内,容腔7内体积发生变化;当容腔7体积变大时,容腔内压强变小,流体从进口4进入容腔;当容腔7体积变小时,容腔内压强变大,此时流体通过进口4的阻力大于通过出口5,流体从出口5流出且呈现喷射状。权利要求1.一种微型流体喷射装置,其特征是在上、下端设有流体出口(5)、进口(4)的壳体中垂向设置一压电振子(3),压电振子(3)与壳体内壁间构成与出口(5)、进口(4)相连通的容腔(7)。2.根据权利要求1所述的微型流体喷射装置,其特征在于所述的壳体是由左、右壳体(2)、(1)组成,右壳体(1)内壁上开有圆形内缺槽(11),上、下端设有与内缺槽(11)相连通的所述的出口(5)、进口(4);左壳体(2)内壁上开有与右壳体(1)内缺槽(11)相对应的圆形内缺槽(12),上端设有与内缺槽(12)相连通的导线槽(6)。3.根据权利要求1或2所述的微型流体喷射装置,其特征在于所述的压电振子(3)是由直径小于所述的左壳体内缺槽(12)直径的压电陶瓷薄膜(8)和金属薄膜(9)粘贴复合而成;金属薄膜(9)的周边被粘贴压合在左、右壳体(2)、(1)内壁上;连接压电振子的导线(10)由左壳体上端导线槽(6)中穿出。全文摘要本专利技术是一种适用于微电子机械系统及家庭装饰等领域的微型流体喷射装置。是在上、下端设有流体出口、进口的壳体中垂向设置一压电振子,压电振子与壳体内壁间构成与出口、进口相连通的容腔。整个装置具有结构紧凑、易于微型化、反应快、无电磁干扰、性能稳定、且控制简单等诸多优点,特别适合广泛应用于微机电系统、汽车工业、喷涂、清洗、冷却以及家庭装饰等领域,具有较高的开发研究价值和市场前景。文档编号B05B9/03GK1555927SQ20041001061公开日2004年12月22日 申请日期2004年1月7日 优先权日2004年1月7日专利技术者吴博达, 彭太江, 杨志刚, 程光明, 阚君武 申请人:吉林大学本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型流体喷射装置,其特征是在上、下端设有流体出口(5)、进口(4)的壳体中垂向设置一压电振子(3),压电振子(3)与壳体内壁间构成与出口(5)、进口(4)相连通的容腔(7)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:吴博达彭太江杨志刚程光明阚君武
申请(专利权)人:吉林大学
类型:发明
国别省市:82[中国|长春]

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