本发明专利技术提供一种成型模，其即使在进行形状误差为1.0μm以下的精密成型的情况下，也可以可靠地将成型模的形状转印于成型物。该成型模的特征在于，具备玻璃基板、在玻璃基板上所形成的一个或多个树脂模、覆盖上述玻璃基板和上述树脂模的无机氧化物膜，上述树脂模为光固化性树脂制，对于波长365nm的光的光透过率为20％以上，且具有邵氏D为30～90的硬度，上述无机氧化物膜被脱模处理。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。
技术介绍
在将树脂成型来制造光学元件的情况下，重复由模具(金属制的成型模)将形状转印于树脂这样的操作时，则该模具因使用频度高而寿命变短，由模具制作光学元件不适合批量生产。因此，近年来，进行有一旦将模具作为主模(母模)制作树脂制的成型模、由该树脂制的成型模转印于树脂。根据这样的方法，由于成为母模的模具的使用频度变少，因此，可以显著延长模具的寿命。作为树脂制的成型模的一例，在专利文献1、2中公开有使用了环氧树脂、氨基甲酸酯树脂的成型模。进而，在专利文献3 5中公开有使用了特殊的有机硅树脂的树脂制的成型模，进行有通过这样的原材料的成型模而使向成型物的转印性提高的尝试。现有技术文献专利文献专利文献1 特开平5-301227号公报专利文献2 特开平7-M839号公报专利文献3 特开平7-1787M号公报专利文献4 特开平7-76303号公报专利文献5 特开平10-95920号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，判明如制作小径的阵列型透镜等时那样，在从成型模向成型物的转印中， 在伴随如形状误差为ι. ο μ m以下这样的精密成型的情况下，使用树脂制的成型模时，虽然未到达塑性变形，但成型模由于成型中的应力而引起变形，无法充分得到从成型模向成型物的转印精度(面精度)。假设即使应用专利文献1及2中所公开的树脂，在这样的树脂中，也不易将成型物从成型模中脱模，脱模性差。在专利文献1、2中，涉及适于使用频度高的树脂制的成型模的脱模处理、用于维持转印精度的脱模处理尚未公开。另外，现状是即使使用了专利文献 3 5中所公开的树脂，也难以认为可以以与精密成型对应的程度得到充分的转印精度。因此，本专利技术的主要的目的在于提供成型模及其制造方法和使用成型模而得到的光学元件，所述成型模即使在进行形状误差为1 μ m以下的精密成型的情况下，也可以可靠地将成型模的形状转印于成型物。用于解决课题的手段为了解决上述课题，根据本专利技术的一方式，提供一种成型模，其特征在于，具备玻璃基板、玻璃基板上形成的一个或多个树脂模、和覆盖上述玻璃基板和上述树脂模的无机氧化物膜，上述树脂模为光固化性树脂制，对于波长365nm的光的光透过率为20%以上，且具有邵氏D为30 90的硬度，上述无机氧化物膜被脱模处理。根据本专利技术的其它的方式，提供一种成型模的制造方法，其特征在于，具有在玻璃基板上将光固化性树脂成型，在上述玻璃基板上形成对于波长365nm的光的光透过率为20%以上、且具有邵氏D为30 90的硬度的1个或多个树脂模的工序；在上述玻璃基板和上述树脂模的表面上形成无机氧化物膜的工序；和对上述无机氧化物膜进行脱模处理的工序。专利技术的效果根据本专利技术，可以提供成型模的制造方法、成型模及具有其而得到的光学元件，上述成型模的制造方法通过树脂模具有一定的硬度、无机氧化物膜被脱模处理，即使在进行形状误差为1 μ m以下的精密成型的情况下，也可以容易地将成型物从成型模脱模，可以可靠地将成型模的形状转印于成型物。附图说明图1是表示本专利技术的优选的实施方式涉及的成型模的概略构成的一例的侧面图。图2是用于说明图1的成型模的制造方法的概略图(平面图)。图3是用于说明图1的成型模的制造方法的概略图(侧面图)。具体实施例方式以下，一边参照附图一边对本专利技术的优选的实施方式进行说明。如图1所示，本专利技术的优选的实施方式涉及的成型模1，具有平板状的玻璃基板10 和多个树脂模20。各树脂模20以互相隔开了微小的间隔的状态形成于玻璃基板10。在各树脂模20 的表面形成有呈现凸状的多个凸部22。树脂模20，对于波长365nm的光的透过率为20 %以上，且具有邵氏D为30 90 (优选70 90)的硬度。需要说明的是，对于波长365nm的光的透过率低于20%时，在透过树脂模20来进行光固化反应的情况下，需要非常长的时间，另外也引起由未照射短波长光造成的硬度不足。“邵氏D”表示根据依据JIS K6253规格的方法而测定的硬度。具有这样的特性的树脂模20，主要通过光固化性树脂构成，例如通过下述(1) (4)的树脂而构成。在该光固化性树脂中，可根据树脂(单体)的种类使用公知的引发剂，该光固化性树脂也可以根据其引发剂的种类具有自由基聚合性、阳离子聚合性、缩聚性中的任意一种特性。(1)丙烯酸类树脂聚合反应中所使用的(甲基)丙烯酸酯，没有特别限制，可以使用通过一般的制造方法制造的下述(甲基)丙烯酸酯。例如可以举出酯(甲基)丙烯酸酯、氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯、环氧(甲基)丙烯酸酯、醚(甲基)丙烯酸酯、烷基(甲基)丙烯酸酯、亚烷基(甲基)丙烯酸酯、具有芳香环的(甲基)丙烯酸酯、具有脂环式结构的(甲基)丙烯酸酯等。可以使用1种或2种以上的这些丙烯酸类树脂。特别优选具有脂环式结构的(甲基)丙烯酸酯，也可以为含氧原子、氮原子的脂环结构。例如可以举出(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸环戊酯、(甲基)丙烯酸环庚酯、(甲基)丙烯酸双环庚酯、(甲基)丙烯酸三环癸基酯、三环癸烷二甲醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、氢化双酚类的二(甲基)丙烯酸酯等。另外，特别优选具有金刚烷骨架的化合物。例如可以举出2-烷基-2-金刚烷基(甲基)丙烯酸酯(参照特开 2002-193883号公报)、金刚烷基二(甲基)丙烯酸酯(参照特开昭57-500785号公报)， 金刚烷基二羧酸二烯丙酯(参照特开昭60-100537号公报)、全氟金刚烷基丙烯酸酯(参照特开2004-123687号公报)、新中村化学制2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯、1，3-金刚烷二醇二丙烯酸酯、1，3，5_金刚烷三醇三丙烯酸酯、不饱和羧酸金刚烷基酯(参照特开 2000-119220号公报),3,3'-二烷氧基羰基_1，1，联金刚烷(参照特开2001-253835号公报)、1，1’ -联金刚烷化合物(参照美国专利第3，342，880号说明书)、四金刚烷(参照特开2006-169177号公报)、2_烷基-2-羟基金刚烷、2-亚烷基金刚烷、1，3-金刚烷二羧酸二叔丁酯等的不具有芳香环的具有金刚烷骨架的固化性树脂(参照特开2001-322950号公报)、双(羟基苯基)金刚烷类、双(缩水甘油氧基苯基)金刚烷(参照特开平11-35522号公报、特开平10-130371号公报)等。另外，除此之外也可以含有反应性单体。如果为(甲基)丙烯酸酯，例如可以举出丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸正丁酯、丙烯酸2-乙基己酯、甲基丙烯酸2-乙基己酯、丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸异丁酯、丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸环己酯等。作为多官能(甲基)丙烯酸酯，例如可以举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、 季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等。(2)烯丙基酯树脂所谓的烯丙基酯树脂本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：渡边大辅，小岛進，
申请(专利权)人：柯尼卡美能达精密光学株式会社，
类型：发明
国别省市：
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