【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种硅棒切割加工过程中加热硅棒,加快胶水的硬化时间的硅棒加热器。
技术介绍
硅棒、玻璃基板和晶托冶具粘结好后需要对胶水进行加热,加快胶水的硬化时间, 去除胶的应力层。常规的加热方法是将粘结好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具搬运至加热箱内,这样容易造成硅棒表面的损伤。如果将粘结平台整体进行加热,加热器的尺寸和功率需要很大,成本较高。
技术实现思路
本专利技术目的在于针对现有技术的缺陷提供一种节省空间,成本较低的硅棒加热器。本专利技术为实现上述目的,采用如下技术方案硅棒加热器,包括加热箱,其特征在于所述加热箱加热部件位于箱体周边,底部悬空, 底部两侧设置有轨道,所述轨道内设置有可以自由推动的粘棒推车,所述粘棒推车用于放置粘结好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具;所述粘棒推车和所述加热箱配合形成一个密闭的腔体。本专利技术结构简单,与粘棒推车相配合,体积小,成本较低。附图说明图I为本专利技术示意图。具体实施例方式如图I所示一种硅棒加热器,包括加热箱I,所述加热箱I加热部件位于箱体周边, 底部悬空,底部两侧设置有轨道3,所述轨道3内设置有可以自由推动的粘棒推车2,所述粘棒推车2用于放置粘结好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具;所述粘棒推车2和所述加热箱I配合形成一个密闭的腔体。使用时将放置粘结好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具的粘棒推车推入加热箱的轨道,粘棒小车和加热箱相配合形成一个较小的仅可容纳结好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具的密闭加热空间,对粘结好的各个部件进行加热。加热完毕后推出,这样减少了硅棒的搬运过程。方便更换推车。权利要求1.硅棒加热器,包括加热箱,其特征在于所述加热箱加 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘爱军,胥大鹏,陈新军,何江涛,李晓建,陆建虎,
申请(专利权)人:无锡隆基硅材料有限公司,西安隆基硅材料股份有限公司,宁夏隆基硅材料有限公司,银川隆基硅材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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