一种基于背照CCD的极紫外成像电路制造技术

一种基于背照CCD的极紫外成像电路，涉及极紫外成像领域，为克服现有基于微通道板的极紫外成像系统体积大、重量大、分辨率低、控制复杂，而且容易出现故障的缺点，本发明专利技术提供了一种基于背照CCD的极紫外成像电路，该电路包括RS-422通讯电路、FPGA、驱动模块、背照CCD、预放电路、视频处理电路、Cameralink数据传输电路和电源电路；本发明专利技术实现了极紫外光信号的光电转换，信号处理和输出；具有体积小、重量轻、分辨率高等优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曲洪丰，王晓东，张鑫，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：