FFU化学过滤器的制造方法技术

本发明专利技术涉及一种FFU化学过滤器的制造方法，首先通过调制胶粘剂、基材浸胶、粘附活性炭、滤网成型等步骤制作单层化学过滤网，然后按照所需规格对其裁剪和叠加，放置于FFU过滤腔与FFU净化单元结合，进而完成风机模块的组装，即可制成FFU化学过滤器。其中，还可以增加“活性炭改性”或“滤网改性”步骤。本发明专利技术制得的FFU化学过滤器，质量轻、阻力低、吸附速度快、过滤效率高，在不增加较多能耗的情况，能将洁净室内大气中的化学污染浓度降到更低，在保证0.36-0.45m/s面风速的情形下，可以高效处理分子级气态污染物。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及空气过滤设备，尤其涉及ー种用于半导体、液晶、精密电子部件制造厂的洁净室内，能够处理分子级气态污染物的FFU化学过滤器的制造方法，属于空气净化

技术介绍
在计算机和信息技术的推动下，微电子エ业的发展已成为世界技术进步的主要支柱。微电子的技术发展非常迅速，超大规模集成电路制造的硅晶片尺寸越做越大，硅晶片上要求集成更多的芯片，线宽尺寸也越来越窄，生产技术成熟的最窄的线宽已经达到^nm。除了传统的微尘颗粒，分子级的气态污染物对芯片次品率的影响也越来越明显。美国半导体设备与材料协会(SEMI)将气载分子污染物(AMC)分为四类酸类、碱类、可凝聚化合物类、掺杂物类。为了控制洁净室内的分子级气态污染物，传统的做法是在通风管道中的亚高效过滤器前安装大型的化学过滤器，例如圆筒式化学过滤器、塑框化学过滤器等。随着集成电路芯片的线宽越来越窄以及FFU系统的普及，传统的这些方法已经越来越不能满足生产发展需要。FFU (Fan Filter Unit)是风机和过滤器的組合，也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为エ业洁净室的流行系统形式之一，在微电子行业广泛使用。FFU通常安装在洁净室的送风末端， 一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块，下面部分为过滤器。根据洁净度的要求，过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器，为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定的运行风速。随着用户对洁净度要求的提高，过滤效果与运行风速之间的矛盾已经成为影响整个FFU系统稳定运行的主要矛盾，因此，必须对FFU系统一一特别是其中的化学过滤网进行改进。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术存在的上述问题，提供ー种FFU化学过滤器的制造方法，通过对FFU化学过滤网的改进，在保证FFU面风速的前提下，高效处理分子级气态污染物，为芯片生产エ厂等用户提供合理的洁净环境。本专利技术的技术解决方案是，FFU化学过滤器的制造方法，首先按照以下步骤生产化学过滤网，①取定量的水溶性胶粘剂，按比例加入增稠剂，使胶粘剂达到所需要的粘度；②裁取所需规格的泡棉基材，将其浸入上述调制后的胶粘剂中，使得泡棉基材的网骨上形成ー层胶粘剂膜；③将上述泡棉取出，平铺在架子上，将活性炭充分均勻地粘附在泡棉的骨架上；④将上述粘有活性炭的泡棉悬空放置，晾干成型，形成单层化学过滤网； 然后，将制得的单层化学过滤网按照所需规格进行裁剪和叠加，放置于FFU的过滤腔中与FFU浄化单元结合，进而完成风机模块的组装，即可制成FFU化学过滤器。进ー步地，上述的FFU化学过滤器的制造方法，其中所述步骤③之前进ー步包含活性炭改性步骤，即，将活性炭放入改性溶液中浸渍，然后将活性炭取出，晾置风干或用烘箱在一定温度下烘干；或者是所述步骤④之后进ー步包含滤网改性步骤，即，将晾干成型的单层化学过滤网放入改性溶液中浸渍，对滤网进行改性，然后将其取出，悬挂风干。无论是对活性炭进行改性，还是对滤网进行改性，浸渍所用的改性溶液，其酸碱性与制成的FFU化学过滤器在使用环境下欲去除的气态分子的酸碱性相反。更进一歩地，上述的FFU化学过滤器的制造方法，其中所述水溶性胶粘剂为聚氨酯胶、丙烯酸胶、聚乙烯醇、丙烯乳液、醋酸乙烯乳液、丁苯橡胶或丁腈橡胶；所述泡棉基材为聚氨酯泡棉；所述活性炭是微球状活性炭，其直径范围为0. 3mm 1. 0mm。再进ー步地，上述的FFU化学过滤器的制造方法，其中步骤④处理之后形成的单层化学过滤网，按重量百分数计，活性炭60-65%，胶粘剂20-25%，泡棉基材10_15%。根据本专利技术技术方案加工制成的FFU化学过滤器，质量轻、阻力低、吸附速度快、 过滤效率高，在不增加较多能耗的情況，能将洁净室内大气中的化学污染浓度降到更低，更直接地实时控制分子级气态污染，在0. 36-0. 45m/s面风速的情形下，高效处理分子级气态污染物，为芯片生产エ厂等用户提供合理的洁净环境，满足了用户的需求，促进微电子行业的发展。具体实施例方式本专利技术提供ー种FFU化学过滤器的制造方法，其技术关键是对化学过滤网的加工过程进行改进，成型后的化学过滤网，能够去除空气中的气态分子污染物，包括有机挥发物，例如甲醛、四氯化碳；碱类气体，例如氨气、有机胺；酸类气体，例如ニ氧化硫、硫化氢、 氮氧化物等。根据本专利技术技术方案，这种化学过滤网的加工主要包括调制胶粘剂、基材浸胶、 粘附活性炭、滤网成型、滤网改性等过程，滤网制成之后与FFU浄化单元结合，即可制成FFU 化学过滤器。具体步骤如下1、调制胶粘剂根据实际生产需要，取一定量的水溶性胶粘剂，按相应比例加入增稠剂，使胶粘剂达到所需要的粘度。2、基材浸胶裁取所需规格的泡棉基材，将其浸入上述调制后的胶粘剂中，使得泡棉基材的网骨上形成ー层胶粘剂膜。3、粘附活性炭将上述泡棉取出，平铺在架子上，将活性炭充分均勻地粘附在泡棉的骨架上。4、滤网成型将上述粘有活性炭的泡棉悬空放置，晾干成型，制得能够去除一般挥发性有机物(例如甲醛、四氯化碳)的过滤网。5、根据具体使用场合的要求，将上述风干后的滤网进一歩裁剪组合成不同的规格，放置于FFU的过滤腔中与FFU浄化单元结合，并且完成即可制成FFU化学过滤器。4上述加工过程中，所用胶粘剂为水溶性胶粘剂，例如聚氨酯胶、丙烯酸胶、聚乙烯醇、丙烯乳液、醋酸乙烯乳液、丁苯橡胶(乳液)或丁腈橡胶，优选水性聚氨酯胶粘剂。调整胶粘剂粘度所使用的增稠剂并无特殊要求，常见的市售品即可。所述泡棉基材可以为PU、PE、EVA或PVC，优选聚氨酯泡棉。聚氨酯泡棉浸胶之后粘附的活性炭是微球状活性炭，其直径范围优选0. 3mm 1. Omm0粘附之后晾干成型形成的滤网，主要包含三种成分，即聚氨酯泡棉(骨架)、胶粘剂和活性炭，三者的重量百分数约为 球状活性炭60-65%，胶粘剂20-25%，泡棉基材10_15%。此外，所述步骤3之前可以进一歩包含“活性炭改性”步骤，即，将活性炭放入改性溶液中浸渍，然后将活性炭取出，晾置风干。为了提高应用效果，也可以在一定的温度下，用烘箱将活性炭烘干。或者，所述步骤4之后进ー步包含“滤网改性”步骤，即，将晾干成型的单层化学过滤网放入改性溶液中浸渍，对滤网进行改性，然后将其取出，悬挂风干。“活性炭改性”或“滤网改性”步骤是可选步骤，根据用户需求，改性之后能够对多种气体进行有效去除，包括去除碱类气体(例如氨气、有机胺)，酸类气体(例如ニ氧化硫、硫化氢、氮氧化物)。浸渍所用的改性溶液，其成分和浓度与FFU化学过滤器在使用环境下欲去除的气态分子的种类和浓度有关，去除碱类气体使用酸性溶液浸渍，去除酸性气体则使用碱性改性溶液浸渍，具体操作时应作相应分析和调配。此外，上述加工过程中，单层化学过滤网的厚度可以选择调节，还可以根据实际应用环境的具体情況，通过叠加的方法调整化学过滤网的层数以达到所需要的效果。根据本专利技术制成的FFU化学过滤器，质量轻、阻力低、吸附速度快、过滤效率高。由于大量的微球活性炭直接固定基体材料上，一方面难以脱落，另ー方面与大气的接触面积大，压カ损失小，因而能够本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨兴根，徐小浩，耿文韬，李梦琦，包镇，
申请(专利权)人：苏州华泰空气过滤器有限公司，
类型：发明
国别省市：