一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵制造技术

本实用新型专利技术涉及真空泵技术领域，具体的说是一种罗茨和爪式转子组合的多级干式真空泵。该泵由变频电机、主从动轴、一级罗茨主从动转子、四级爪式主从动转子、五个泵腔、排气腔、轴承腔、油箱、齿轮箱、主从动齿轮构成，其中电机有水冷，泵腔外底部固定有水循环冷却管；共有5级腔体，每级腔体中通过一定的气体流道相通；本实用新型专利技术转速高，体积小重量轻，一级罗茨转子和四级爪式转子组合，罗茨转子为高真空吸气级，爪形转子为压缩排气级，可以在低入口压力下获得大的抽气速率，增大压缩比提高极限真空度，节约能源，在抽速相同的情况下减小了泵的体积和重量，同时降低了气流脉动冲击，减小噪音，并且实现直排大气，不需要接前级泵即可工作。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：雷震霖，王光玉，刘在行，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司，
类型：实用新型
国别省市：