一种单晶炉中用的循环冷却水管道装置制造方法及图纸

技术编号:7554475 阅读:190 留言:0更新日期:2012-07-14 02:59
一种单晶炉中用的循环冷却水管道装置,结构中包括设置在单晶炉内的冷却水主管道,主管道末端分别与供水管路、回流管路连接,关键在于:在主管道上增设卡槽、及带有配套预制卡槽的可拆卸式三通接头,三通接头的第一接头借助卡箍连接管件与主管道密封固定,第二接头、第三接头分别与供水管路、回流管路密封连接。本实用新型专利技术的有益效果是:1、不受炉内内工作空间小的制约:松开卡箍后,可以将水管与主管路完全分离,这样,就可以在炉外进行操作;利用卡箍进行锁紧后,对于拆卸安装都十分方便。2.工作效率提高,清除水锈等杂质更加彻底:因为工作空间增加,便于操作。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于单晶硅
,涉及一种单晶硅中用的循环冷却水管道装置, 可以解决单晶炉加热柜内空间小,清除水锈不方便的技术难题。
技术介绍
目前,单晶硅棒制造行业的90型单晶炉的加热系统主要采用可控硅整流的方式进行,对于炉内加热温度的控制,采用50°C的温度触头开关,利用PCC统一控制。在实际生产中,温度过高会导致水温触头的常开接点闭合,严重影响单晶炉的正常运作,因此需要向单晶炉内通水,以进行冷却,保证单晶炉的正常工作。这样,久而久之,单晶炉内的冷却水主管道内会沉积大量的水垢,导致主管道内水路不通,进而影响炉内的设定温度。在清除水垢时,因为炉内空间小,不利于工作,另外,现有技术采用的冷却水主管道是带有倒刺接头的, 主管道分别借助倒刺接头与供水管路、及回流管路连通,在清除水垢时,将供水管路及回流管路从倒刺接头上拆卸下来,利用硬铁丝伸进主管道中进行水垢清除工作,这样给工作人员会造成很大的技术难度,而且水垢清除不够彻底,而且炉内大量的电子元件会给工作人员的清除工作带来很大的安全隐患,再者拆卸供水管路及回流管路会损坏供水管路及回流管路的二次使用,造成资源的浪费。
技术实现思路
本技术为了解决单晶炉内工作空间小,清除水垢不方便的问题,设计了一种单晶炉中用的循环冷却水管道装置,可以提高清除的洁净度,提高工作效率,保障设备的正常运行,保证人身安全。本技术采用的技术方案是一种单晶炉中用的循环冷却水管道装置,结构中包括设置在单晶炉内的冷却水主管道,主管道末端分别与供水管路、回流管路连接,关键在于在主管道上增设卡槽、及带有配套预制卡槽的可拆卸式三通接头,三通接头的第一接头借助卡箍连接管件与主管道密封固定,第二接头、第三接头分别与供水管路、回流管路密封连接。本技术的有益效果是1、不受炉内内工作空间小的制约松开卡箍后,可以将水管与主管路完全分离,这样,就可以在炉外进行操作;利用卡箍进行锁紧后,对于拆卸安装都十分方便。2.工作效率提高,清除水锈等杂质更加彻底因为工作空间增加,便于操作,可以将接头处的水锈更加彻底的清除;在拆下本设计的装置后,主管路中附着的水垢及水锈杂质也可以清除。3.防止管路中的水淋湿设备因为松开卡箍,拆下三通接头后,整个清理过程均在炉外进行操作,可以有效的防止设备被水淋湿。以下结合附图对本技术进行详细说明。附图说明图1是本技术的结构示意图。附图中,1是主管道,2是供水管路,3是回流管路,4是喉箍,5是三通接头,5-1是第一接头,5-2是第二接头,5-3是第三接头,6是卡箍连接管件,6-1是卡槽,6-2是预制卡槽。具体实施方式一种单晶炉中用的循环冷却水管道装置,结构中包括设置在单晶炉内的冷却水主管道1,主管道1末端分别与供水管路2、回流管路3连接,重要的是在主管道上增设卡槽 6-1、及带有配套预制卡槽6-2的可拆卸式三通接头5,三通接头的第一接头5-1借助卡箍连接管件6与主管道1密封固定,第二接头5-2、第三接头5-3分别与供水管路2、回流管路3 密封连接。所述的第二接头5-2是倒刺接头。所述的第三接头5-3是倒刺接头。第二接头5-2、第三接头5-3分别借助喉箍4与供水管路2、回流管路3密封连接。第一接头5-1上设置有密封胶圈。在具体实施时,三通接头5嵌进主管道1内,在相接面采用密封胶圈进行密封,并在主管道外部、两者的相接处,采用卡箍连接管件6进行锁紧,这样,可以将二者固定同时又便于拆卸与安装。三通接头5的另外两个接头采用倒刺接头,且分别与供水管路2、回流管路3连接,并借助喉箍4进行锁紧。在进行水垢清除工作时,松开卡箍,将带有供水管路、 及回流管路的三通接头置于单晶炉外进行操作,这样,使得清除更加彻底,且有效地防止水淋湿单晶炉内的电子元件。权利要求1.一种单晶炉中用的循环冷却水管道装置,结构中包括设置在单晶炉内的冷却水主管道(1),主管道(1)末端分别与供水管路O)、回流管路C3)连接,其特征在于在主管道上增设卡槽(6-1)、及带有配套预制卡槽(6-2)的可拆卸式三通接头(5),三通接头的第一接头(5-1)借助卡箍连接管件(6)与主管道(1)密封固定,第二接头(5-2)、第三接头(5-3) 分别与供水管路O)、回流管路C3)密封连接。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉中用的循环冷却水管道装置,其特征在于所述的第二接头(5- 是倒刺接头。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉中用的循环冷却水管道装置,其特征在于所述的第三接头(5- 是倒刺接头。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉中用的循环冷却水管道装置,其特征在于第二接头(5-2)、第三接头(5- 分别借助喉箍(4)与供水管路O)、回流管路C3)密封连接。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉中用的循环冷却水管道装置,其特征在于第一接头(5-1)上设置有密封胶圈。专利摘要一种单晶炉中用的循环冷却水管道装置,结构中包括设置在单晶炉内的冷却水主管道,主管道末端分别与供水管路、回流管路连接,关键在于在主管道上增设卡槽、及带有配套预制卡槽的可拆卸式三通接头,三通接头的第一接头借助卡箍连接管件与主管道密封固定,第二接头、第三接头分别与供水管路、回流管路密封连接。本技术的有益效果是1、不受炉内内工作空间小的制约松开卡箍后,可以将水管与主管路完全分离,这样,就可以在炉外进行操作;利用卡箍进行锁紧后,对于拆卸安装都十分方便。2.工作效率提高,清除水锈等杂质更加彻底因为工作空间增加,便于操作。文档编号C30B35/00GK202323122SQ201120442648公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月10日 优先权日2011年11月10日专利技术者丁海, 刘鑫, 李建栋, 田晓智, 赵奇, 魏梵修 申请人:东旭集团有限公司, 成都泰轶斯太阳能科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:赵奇魏梵修刘鑫李建栋丁海田晓智
申请(专利权)人:东旭集团有限公司成都泰轶斯太阳能科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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