测量大功率激光光斑的结构制造技术

本发明专利技术涉及一种测量大功率激光光斑的结构，在激光输入光路上依次设置一半波片和一偏振片，通过旋转半波片改变激光的偏振方向使偏振片反射和透射激光，然后使反射光或透射光输入功率计，通过用刀口切割输入功率计的激光来测量激光的光斑大小；本发明专利技术提出的测量大功率激光光斑的结构，保证了在测量过程中激光不会损伤刀口，影响测量精度；并增加了电动平移台，可通过电动平移台的显示装置直接读出测量结果，减少了激光对人眼的辐射。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光
，尤其涉及一种测量大功率激光光斑的结构。
技术介绍
许多光学仪器的性能參数依赖于光斑的大小，例如，扫描显微镜的分辨率就受限于扫描聚焦激光的光斑尺寸。因此测量激光的光斑非常重要，測量光斑尺寸的方法有很多， 其ー是用不透明物体截断光束，使其横移过光轴并观察透过的激光的总能量变化，当不透明物体为刀ロ吋，这种方法被称作刀ロ法。刀ロ法是测量激光光斑中广泛采用的ー种简便、快捷、高效的方法。其工作原理及结构示意图如图1所示，刀片可沿与光束传播垂直方向切割光束，当刀片遮挡部分激光，透过刀ロ边缘激光功率占总功率百分比为P%，当刀ロ移动到与位置的对称位置吋，透过刀ロ边缘激光功率百分比为I-P%，目前采用的90% /10%刀ロ測量方法取P90%，测量透过刀ロ边缘激光功率占总功率百分比分別为90 %和10 %时的刀ロ位置坐标，以确定光斑的直径。首先将激光打入功率计，在刀ロ不遮挡光束时读取功率计示数P1，移动刀ロ开始遮挡光束，功率计示数开始下降，当功率下降到90% Pl的时候，记下此时刀ロ的位置示数dl ；继续移动刀ロ，功率计示数先下降后上升，当功率计下降到10% Pl的时候，记下此时刀ロ的位置d2，则激光光斑大小就可确定为d = d2-dl，或者继续移动刀ロ当功率计上升到 90% Pl的时候，记下此时刀ロ的位置d2，则激光光斑大小就可确定为d = d2-dl-D，D为刀 ロ宽度，如图2所示。上述结构在測量大功率激光光斑吋，刀ロ易被激光打镬，导致测量偏差，从而影响測量結果。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种测量时不会损伤刀ロ的测量激光光斑的结构。本专利技术提出了一种测量激光光斑的结构，包括功率计和刀ロ，通过刀ロ切割输入功率计的激光来测量激光的光斑大小，其特征在干，在激光输入光路上依次设置一半波片和一偏振片，通过旋转半波片改变激光的偏振方向使偏振片反射和透射激光，然后使反射光或透射光输入功率计。优先的，所述功率计位于偏振片的反射光路上。优先的，所述结构还包括位于所述偏振片透射光路上的剩余激光接受装置。优先的，所述功率计位于偏振片的透射光路上。优先的，所述结构还包括位于所述偏振片反射光路上的剩余激光接受装置。优先的，所述结构还包括电动平移台，刀ロ固定在所述电动平移台上，通过电动平移台的移动使刀ロ切割激光。优先的，所述电动平移台包括用于显示和记录刀ロ移动的位置的显示装置。本专利技术提出的測量大功率激光光斑的结构，在传统刀ロ法的基础上设置半波片和偏振片，通过旋转半波片改变激光的偏振方向使偏振片反射和透射激光，然后使反射光或透射光输入功率计，使输入激光的功率得到调节，保证了在测量激光光斑的过程中激光不会损伤刀ロ，影响测量精度；并增加了电动平移台，可通过电动平移台的显示装置直接读出測量結果，减少了激光对人眼的辐射。附图说明图1是现有技术中刀ロ法测量激光光斑的结构示意图。图2是现有技术中刀ロ法测量激光光斑的结构的方法示意图。图3是本专利技术实施例一测量激光光斑的结构示意图。图4是本专利技术实施例ニ测量激光光斑的结构示意图。为了使本专利技术的技术方案更加清楚、明了，下面将结合附图作进ー步详述。具体实施例方式应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。图3是本专利技术实施例一测量激光光斑的结构的示意图，在实施例一中，在激光输入光路上依次设置半波片3和偏振片4，半波片3位于偏振片4前，通过旋转半波片3改变激光的偏振方向使偏振片4反射和透射激光来调节输入激光的功率。其中功率计1位于偏振片4的反射光路上，偏振片4透射光路上设有剩余激光接受装置5。刀ロ 2固定在电动平移台6上，电动平移台6固定刀ロ 2，通过电动平移台6的移动使刀ロ 2切割激光。其中电动平移台6包括显示装置61 (图中未标示)，用于显示和记录刀ロ 2移动的位置坐标。具有偏振特性的大功率激光入射到半波片3上，通过旋转半波片3可改变激光的偏振特性，之后激光入射到偏振片31上，偏振片31对水平偏振光高透(全部透过)，对垂直偏振光高反(全部反射)。光束在偏振片31分束，大部分功率的激光(水平偏振)透过偏振片进入剩余激光接受装置5，小部分的激光(垂直偏振)被反射到功率计1上，从而完成激光光斑大小的測量。可通过半波片3来控制入射到功率计1的激光功率，以不损伤刀ロ 2为标准。通过电动平移台6移动刀ロ 2，在刀ロ 2不遮挡光束时读取功率计1示数P1，通过电动平移台 6移动刀ロ 2让刀ロ 2开始遮挡光束，功率计1示数开始下降，当功率下降到90% Pl的时候，记下此时移动电动平移台6中显示装置61 (图中未标示)的位置示数dl ；继续通过电动平移台6移动刀ロ 2，此时功率计1示数先下降后上升，当功率计1的示数上升到90% Pl 的时候，记下此时平移台的位置d3，则激光光斑大小就可确定为d = d3-dl-D，其中D为刀 ロ宽度，如图2所示。图4是本专利技术测量激光光斑的结构实施例ニ的结构示意图，在实施例ニ中，在激光输入光路上依次设置半波片3和偏振片4，半波片3位于偏振片4前，通过旋转半波片3 改变激光的偏振方向使偏振片4反射和透射激光来调节输入激光的功率。其中功率计1位于偏振片4的透射光路上，偏振片4反射光路上有剩余激光接受装置5。刀ロ 2固定在电动平移台6上，电动平移台6固定刀ロ 2，通过电动平移台6的移动使刀ロ 2切割激光。其中电动平移台6包括显示装置61 (图中未标示)，用于显示和记录刀ロ 2移动的位置坐标。具有偏振特性的大功率激光入射到半波片3上，通过旋转半波片3可改变激光的偏振特性，之后激光入射到偏振片31上，偏振片31对水平偏振光高透(全部透过)，对垂直偏振光高反(全部反射)。光束在偏振片31分束，大部分的激光(垂直偏振)被反射到剩余激光接受装置5上，大部分功率的激光(水平偏振)透过偏振片进入功率计1，从而完成激光光斑大小的測量。可通过半波片3来控制入射到功率计1的激光功率，以不损伤刀ロ 2为标准。通过电动平移台6移动刀ロ 2，在刀ロ 2不遮挡光束时读取功率计1示数P1，通过电动平移台 6移动刀ロ 2让刀ロ 2开始遮挡光束，功率计1示数开始下降，当功率下降到90% Pl的时候，记下此时移动电动平移台6中显示装置61 (图中未标示)的位置示数dl ；继续通过电动平移台6移动刀ロ 2，此时功率计1示数先下降后上升，当功率计1的示数上升到90% Pl 的时候，记下此时平移台的位置d3，则激光光斑大小就可确定为d = d3-dl-D，其中D为刀 ロ宽度，如图2所示。以上所述仅为本专利技术的优选实施例，并非因此限制本专利技术的专利范围，凡是利用本专利技术说明书及附图内容所作的等效结构或流程变换，或直接或间接运用在其它相关的
，均同理包括在本专利技术的专利保护范围内。权利要求1.一种测量大功率激光光斑的结构，包括功率计和刀ロ，通过刀ロ切割输入功率计的激光测量激光的光斑大小，其特征在干，在激光输入光路上依次设置一半波片和ー偏振片， 通过旋转半波片改变激光的偏振方向使偏振片反射和透射激光，然后使反射光或透射光输入功率计。2.根据权利要求1所述的结构，其特征在干，所述功率计位于偏振片的反射光路上。3.根据权利要求2所述的结构，其特征在干，所述结构还包括位于所述偏振片透射光路上的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：樊仲维，黄玉涛，牛岗，闫莹，麻云凤，王小发，连富强，黄科，
申请(专利权)人：北京国科世纪激光技术有限公司，
类型：发明
国别省市：