【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种能有效节省车间空间的石墨舟冷却卸片推车，尤其是能将冷却与卸片同时完成。
技术介绍
目前，公知的PE卸片推车只是起到一个简单的运输流转车的作用，它的作用是将从PECVD炉管中镀膜后的硅片放于卸片台，推到独立冷却系统中进行冷却。冷却之后再将推车送至卸片台处进行卸片工作，从冷却到卸片，需要两个装置，即硅片冷却系统和卸片台，这两种装置在车间占用了很大的空间，而且从卸片台到冷却装置涉及到搬运及流转的动作及时间上的浪费。
技术实现思路
为了克服现有的卸片台存在的空间动作及时间浪费的不足，本专利技术推车提供一种石墨舟冷却卸片推车，该石墨舟冷却卸片推车不仅能有效的完成卸片的任务，而且能同时达到冷却的目的。本专利技术解决其技术问题提供石墨舟冷却卸片推车，本石墨舟冷却卸片推车的卸片台有一个总体钢质支架，通过一个固定支架将石墨舟支撑板连接为一个整体，在石墨舟支撑板下固定冷却装置，在推车的最顶端安装有花篮支架用于卸片花篮的摆放，并且可以左右移动，以保证插片工作的方便。当PECVD程序运行完成后，将石墨舟从炉内取出，直接放于石墨舟支撑板上，打开风冷装置对石墨舟和硅片进行冷却，同时插片工可对石墨舟进行取片。本专利技术的优点是结构简单，操作方便，可以在卸片的同时，对硅片进行冷却，减少流转时间，并能有效的节省空间。附图说明当结合附图考虑时，通过参照下面的详细描述，能够更完整更好地理解本专利技术以及容易得知其中许多伴随的优点，但此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解， 构成本专利技术的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孙良欣，胡盛华，李卫平，
申请(专利权)人：霞浦吉阳新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：
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