恒温液槽制造技术

恒温液槽１Ａ通过热供给装置９进行槽内的液体的温度调节，热供给装置９具有通过珀耳帖效应调节温度的热电微型组件３１，其中，恒温液槽具有：贮留上述液体的外槽３；内槽５，该内槽５隔开间隙１７，设置在外槽的内部，在侧壁１９上具有使液体从外槽流入的通孔２１，同时在底部２３的中央具有开孔２５；搅拌机７，该搅拌机通过配置在外槽和内槽间的底部中央的旋转翼１１，将从内槽的底部的开孔流入的液体通过内外槽的侧壁之间，导入到其上方。将上述热电微型组件３１安装在外槽的侧壁１５外面，将在内外槽之间流动的液体控制在设定的温度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在通过珀耳帖效应进行温度调节的热电微型组件中，进行槽内的液体的加热·冷却的恒温液槽，更详细地说，是涉及适用于浸渍收纳药液的容器(瓶)，并将其调节到一定的温度的恒温液槽。
技术介绍
以往，用于使对象物保持一定温度的小型的恒温液槽被广泛利用，近年，也使用在这些恒温液槽中，具有通过珀耳帖效应进行温度调节的热电微型组件的热供给装置(例如，参照专利文献1以及2)。因为在使用该热电微型组件的热供给装置中，仅通过改变电流的供给方向，即可进行加热和冷却，所以温度的控制简易，小型，极适用于小型的恒温槽。在恒温液槽中，无论使用任何热供给装置，通常都要考虑控制温度的液体的特性，在恒温液槽的下方，进行与热供给装置的热交换，同时在底部设置搅拌用的叶轮，或者通过搅拌器马达，使底部的磁铁转子旋转，搅拌液体，谋求液体温度的恒温化。但是，存在着下述问题，即，在上述搅拌中，以圆周方向的搅拌为主体，上下方向的搅拌并不积极，在将用于保持一定温度的对象物收纳在容器(瓶)中，并浸渍在恒温液槽内的情况下，由于该对象物明显地阻碍了液体的上下流动，在槽的上部的搅拌效果脱离了预测的范围，使槽内的温度分布极端恶化，在槽的上部和下部产生了温度差。具体地说，在没有浸渍上述容器时，温度分布包括在0.1℃的范围，若浸渍了容器，则为0.5℃左右。因此，希望在使用热电微型组件的恒温液槽中，即使在恒温液槽中存在浸渍物，热电微型组件的导热面也总是产生同样的液流，并且，该液流在整个槽内流动，整体地搅拌槽内的液体。特开平7-308592号公报特开2000-75935号公报本专利技术就是为了解决在以往的恒温液槽中的这样的问题而成，其技术课题在于提供一种恒温液槽，该恒温液槽是在使用热电微型组件的恒温液槽中，即使在槽内存在希望温度控制的浸渍物，也可以效率良好地进行热源与液体的热交换以及液温的恒温化，可容易且迅速地进行温度调整。
技术实现思路
为了解决上述课题的本专利技术的恒温液槽，是通过热供给装置，进行槽内的液体的温度调节的恒温液槽，该热供给装置具有通过珀耳帖效应调节温度的热电微型组件，其特征在于，具有贮留上述液体的外槽；内槽，该内槽隔开间隙，设置在上述外槽的内部，在侧壁上具有使液体从外槽流入的流路，同时在底部的中央具有开孔；搅拌机，该搅拌机通过配置在上述外槽和内槽间的底部中央的旋转翼，将从内槽的底部的开孔流入的液体通过内外槽的侧壁之间，导入到其上方，将在上述热供给装置中的热电微型组件安装在上述外槽的侧壁外面，根据检测液温的温度传感器的输出，将在内外槽之间流动的液体控制在设定的温度。在本专利技术的恒温液槽的较好的实施方式中，上述内槽的侧壁的流路是通过遍及全周开口的多个通孔形成的，在该情况下，该通孔可以在内槽的侧壁的高度方向有多层。另外，在本专利技术的恒温液槽的其他的较好的实施方式中，上述内槽的侧壁的流路形成在内槽顶部的溢流口缘上，该溢流口形成为比上述外槽的侧壁低。再有，上述内槽的侧壁的流路被形成在与上述热电微型组件相对的部分或偏靠其上部，可以提高液体流过热电微型组件的部分的机会。上述外槽和内槽可以为圆筒形，被设置成同心圆状，或者外槽为多角形状，内槽为圆筒形，外内槽设置在外槽的中心，但并非仅限于此。在具有上述构成的恒温液槽中，若是在外槽内填充液体的状态下，使搅拌机的旋转翼旋转，则内槽内的液体从设置在内槽的底部的开孔被吸入，通过旋转翼，相对于该液体进行通过圆周方向的流动产生的搅拌，同时，通过外槽和内槽的侧壁之间的间隙，产生上升的流动，因为该流动比较快，所以液体在进行该上升的期间，与热电微型组件之间进行有效的热交换，然后，在通过内槽的侧壁上部的流路，流入内槽内的基础上，在内槽内流下。因此，总是进行内槽内液体的上下方向的搅拌，液温的恒温化可效率良好地进行。而且，由于被旋转翼搅拌的液体中的大部分快速通过热电微型组件的附件，所以可以在与液体之间进行有效的热交换。专利技术的效果根据上述本专利技术的恒温液槽，可以效率良好地进行热源与液体的热交换以及液温的恒温化，容易且迅速地进行所需的液体的恒温化。附图说明图1是表示本专利技术的第1实施例的主要部位的剖视图。图2是表示本专利技术的第1实施例的主要部位的俯视图。图3是表示本专利技术的第2实施例的主要部位的俯视图。图4是表示本专利技术的第3实施例的主要部位的剖视图。具体实施例方式下面，根据附图所示的实施例，详细说明本专利技术的恒温液槽。该实施例适用于将MO-CVD(有机金属化学汽相淀积法)装置的药液收纳到容器(瓶)中，对其进行温度调节等，使阻碍液体流动的对象物浸渍在槽内的情况，如图1以及图2所示，用符号1A表示其整体的恒温液槽在壳体2内具有贮留液体的外槽3、和设置在外槽3的内部的内槽5，再有，还具有搅拌机7以及热供给装置9，该搅拌机7具有配置在外槽3和内槽5之间的底部中央的旋转翼11；该热供给装置9在外槽3的外侧面上安装热电微型组件31，将在内外槽3、5之间流动的液体控制在设定的温度上。从图2可以看出，上述外槽3以及内槽5为同心圆状的有底圆筒体，在其外槽3以及内槽5的底部8、23之间，形成收纳上述搅拌机7的旋转翼11的旋转翼室12，外旋转翼11穿过外槽3的底部的贯通孔，与马达13连接。另外，在内槽5的底部23的中央，设置开孔25，该开孔25使内槽内的液体流入上述旋转翼室12。据此，从该开孔25流入旋转翼室12的液体，通过旋转翼11的作用，在沿圆周方向被搅拌的同时，通过外槽3的侧壁15和内槽5的侧壁19之间的间隙17被导入到其上方，该旋转翼室12处于设置有旋转翼11的内外槽的底部8、23之间。上述旋转翼11具有使液体向离心方向流出的离心叶片，如图1箭头所示，通过其旋转，使液体向间隙17的方向流动。上述内槽5的侧壁19，在与上述外槽3的侧壁15的内面之间，隔着大致一定的间隙17地相对，在该侧壁19上，在其高度方向的多个层(图中为2层)上，遍及全周形成多个通孔21，从间隙17上升而来的液体通过这些通孔21，形成从外槽3流入到内槽5的流路。上述内槽5的侧壁19的通孔21也可以均等地设置在该侧壁19的周围，也可以形成在与上述热电微型组件31相对的部分，或者偏靠在其上部，据此，可以提高液体流过热电微型组件31的部分的机会，可以提高温度调节效果。另外，如上所述，在内槽5的底部23上形成开孔25，该开孔25使液体通过上述旋转翼室12，流入到外槽3。热供给装置9是由通过珀耳帖效应调节温度的热电微型组件31、和通过外槽3的侧壁15，供给热的吸热板33、及设置在该吸热板33侧的相反侧的放热部35叠层而构成，另外，在内槽5上设置检测槽内液温的温度传感器36，热电微型组件31以及该温度传感器36与控制装置连接，该控制装置根据该温度传感器36的输出，将槽内的液温控制在规定的设定温度。如图1所示，也可以在外槽3上设置温度传感器37，来代替设置在内槽5上的上述温度传感器36。在该第1实施例中，在上述热供给装置9中的热电微型组件31以90度的间隔，在外槽3的侧壁15的外面安装4个，另外，遍及该侧壁的上下方向的大致全体安装，该安装状态也可以根据温度调节条件，恰当地设定。具有上述构成的恒温液槽1A在MO-CVD装置中使用的情况下，作为恒温化的药液，通常使用氟类液体，其液体填充在外槽3。若一面使热供给装置9动作，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种恒温液槽，是通过热供给装置，进行槽内的液体的温度调节的恒温液槽，该热供给装置具有通过珀耳帖效应调节温度的热电微型组件，其特征在于，具有：贮留上述液体的外槽；内槽，该内槽隔开间隙，设置在上述外槽的内部，在侧壁上具有使液体从 外槽流入的流路，同时在底部的中央具有开孔；搅拌机，该搅拌机通过配置在上述外槽和内槽间的底部中央的旋转翼，将从内槽的底部的开孔流入的液体通过内外槽的侧壁之间，导入到其上方；将在上述热供给装置中的热电微型组件安装在上述外槽的侧壁 外面，根据检测液温的温度传感器的输出，将在内外槽之间流动的液体控制在设定的温度。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：蓑浦笃志，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]