太阳能硅片超声波清洗槽制造技术

技术编号:7487517 阅读:186 留言:0更新日期:2012-07-09 22:14
太阳能硅片超声波清洗槽,包括上端敞口的清洗槽体,所述清洗槽体的侧边设置有若干超声波振子,所述超声波振子均通过导线与控制电源连接。本实用新型专利技术可以有效的清理硅片表面的杂质,具有清洗效率高,清洗效果好的优点。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能硅片切割
,特别涉及一种用于清洗硅片表面杂质的太阳能硅片超声波清洗槽
技术介绍
太阳能电池作为可再生的环保能源已经越来越受到人们的关注,世界太阳能电池近几年的年销售增长率超过40%,与其相关的生产设备也得到迅猛的发展。硅片清洗在硅片生产中起至关重要的作用,清洗的好坏直接影响硅片质量,半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质,包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态,有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。现有清洗硅片一般采用人工清洗,清洗效率低,效果差。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种太阳能硅片超声波清洗槽,以解决现有技术中硅片清洗效率低,效果差的问题。为了实现上述目的,本技术的技术方案如下太阳能硅片超声波清洗槽,其特征在于,包括上端敞口的清洗槽体,所述清洗槽体的侧边设置有若干超声波振子,所述超声波振子均通过导线与控制电源连接。本技术的一个优选实施例中,所述超声波振子的轴线与清洗槽体的侧边垂直。本技术的一个优选实施例中,所述超声波振子位于同一水平线上。本技术可以有效的清理硅片表面的杂质,具有清洗效率高,清洗效果好的优点ο本技术的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。附图说明图1为本技术的结构示意图。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施例进一步阐述本技术。如图1所示,太阳能硅片超声波清洗槽,包括上端敞口的清洗槽体100,清洗槽体的侧边设置有若干超声波振子200,超声波振子位于同一水平线上,且超声波振子的轴线与清洗槽体的侧边垂直。超声波振子200均通过导线与控制电源连接。本技术可以有效的清理硅片表面的杂质,具有清洗效率高,清洗效果好的优点ο以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解,本技术不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本技术的原理,在不脱离本技术精神和范围的前提下本技术还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本技术的范围内。本技术要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。权利要求1.太阳能硅片超声波清洗槽,其特征在于,包括上端敞口的清洗槽体,所述清洗槽体的侧边设置有若干超声波振子,所述超声波振子均通过导线与控制电源连接。2.根据权利要求1所述的太阳能硅片超声波清洗槽,其特征在于,超声波振子的轴线与清洗槽体的侧边垂直。3.根据权利要求1所述的太阳能硅片超声波清洗槽,其特征在于,所述超声波振子位于同一水平线上。专利摘要太阳能硅片超声波清洗槽,包括上端敞口的清洗槽体,所述清洗槽体的侧边设置有若干超声波振子,所述超声波振子均通过导线与控制电源连接。本技术可以有效的清理硅片表面的杂质,具有清洗效率高,清洗效果好的优点。文档编号B08B3/12GK202290651SQ20112036208公开日2012年7月4日 申请日期2011年9月23日 优先权日2011年9月23日专利技术者王图强 申请人:上海信富电子科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王图强
申请(专利权)人:上海信富电子科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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