光罩盒存放柜制造技术

本实用新型专利技术的光罩盒存放柜包括：柜体，设置于所述柜体内的进气夹层，和排气管；其中，所述进气夹层设有进气端和通孔，所述进气端与一气体供应设备连接；所述排气管设有排气端，所述排气端伸出所述柜体，所述排气管的管壁上设有多个通孔。本实用新型专利技术的光罩盒存放柜其柜内环境达到光罩存放要求，使置于该光罩盒存放柜内的光罩盒内外环境均符合光罩存放要求，能有效防止光罩出现阴霾。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

光罩盒存放柜
本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种光罩盒存放柜。技术背景半导体光刻技术中，要复制到晶圆上的电路结构以图形形式制作在光罩 (reticle)上，光罩的质量对半导体器件制作的成败起着至关重要的作用。光罩的存放对存放环境有比较严格的要求，例如，存放环境的湿度要控制在5%以内，存放环境中^O42-的浓度要小于lppb，NH3的浓度要小于1. 8ppbv,CL2的浓度要小于lng/L，F2的浓度要小于Ing/ L，2的浓度要小于2ng/L等，若存放环境达不到要求，光罩容易出现阴霾(haze)，导致光罩不能使用。光罩通常存放于光罩盒中，所述光罩盒设有进气口和出气口，所述进气口用于向所述光罩盒内充氮气(N2)，所述出气口用于将盒内的气体排出盒外，所述进气口和出气口均设有密封膜，所述密封膜可密封住所述进气口和出气口，使所述光罩盒内的环境处于密封状态。为保证所述光罩盒内的环境达到存放要求，利用超洁净干燥空气(XCDA)系统对所述光罩盒进行充气、排气，使所述光罩盒内的光罩处于氮气环境中，达到存放要求。当所述光罩盒内的环境达到存放要求后，超洁净干燥空气系统停止对所述光罩盒进行充气、排气， 密封膜密封住所述进气口和出气口，然后将光罩盒置于工作间环境中。但是，只依靠密封膜是无法完全隔开盒内环境与盒外环境的，而工作间的环境不符合光罩存放要求，一段时间后，一些盒外气体进入盒内，使盒内环境不再符合存放要求。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种光罩盒存放柜，柜内环境达到光罩存放要求，使置于该光罩盒存放柜内的光罩盒内外环境均符合光罩存放要求，能有效防止光罩出现阴So为了达到上述的目的，本技术提供一种光罩盒存放柜，包括柜体，设置于所述柜体内的进气夹层，和排气管；其中，所述进气夹层设有进气端和通孔，所述进气端与一气体供应设备连接；所述排气管设有排气端，所述排气端伸出所述柜体，所述排气管的管壁上设有多个通孔。上述光罩盒存放柜，其中，所述光罩盒存放柜还包括设置于所述柜体外的第一流量控制阀和第二流量控制阀，所述进气端通过所述第一流量控制阀与所述气体供应设备连接，所述排气端与所述第二流量控制阀连接。上述光罩盒存放柜，其中，所述通孔为螺丝通孔，所述螺丝通孔的孔径大小可调。上述光罩盒存放柜，其中，所述柜体被分隔成多个相互独立的存放单元，所述进气夹层与每个所述存放单元均连接，且所述排气管与每个所述存放单元均连接。上述光罩盒存放柜，其中，每个所述存放单元均呈长方体状，所述存放单元包括门、第一侧面板、后面板、第二侧面板、上面板和下面板，所述上面板与下面板平行，所述第一侧面板、后面板和第二侧面板固定设置在所述上面板与下面板之间，且均垂直于所述上面板和下面板，所述后面板与所述第一侧面板相连，所述第二侧面板与所述后面板相连，且所述第一侧面板与所述第二侧面板平行，所述门的一侧边与所述第一侧面板铰链接，当所述门关闭时，所述门的另一侧边与所述第二侧面板吸合，且所述门平行于所述后面板。上述光罩盒存放柜，其中，所述第一侧面板和第二侧面板的内壁上设有第一 L型导轨。上述光罩盒存放柜，其中，所述存放单元内设有第一支撑杆和第二支撑杆，所述第一支撑杆和第二支撑杆均垂直设置在所述上面板与所述下面板之间，所述第一支撑杆和第二支撑杆的一端与所述上面板连接，所述第一支撑杆和第二支撑杆的另一端与所述下面板连接，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆之间设有第二 L型导轨。上述光罩盒存放柜，其中，所述第一支撑杆到所述第一侧面板的距离等于所述第一支撑杆到所述第二侧面板的距离。上述光罩盒存放柜，其中，所述第一 L型导轨和第二 L型导轨上均设有挡板。上述光罩盒存放柜，其中，所述进气夹层包括第一夹层板和第二夹层板，所述第一夹层板和第二夹层板均平行于所述后面板，所述第一夹层板到所述后面板的距离小于所述第二夹层板到所述后面板的距离，在沿垂直于所述第一侧面板的方向上，所述第一夹层板的长度比所述第二夹层板的长度长，在所述第一夹层板和第二夹层板的两侧各形成一斜缝隙。上述光罩盒存放柜，其中，所述门上设有透视窗口和把手。上述光罩盒存放柜，其中，所述光罩盒存放柜还包括设置于所述柜体外的第三流量控制阀，所述排气管还设有出口端，所述出口端与所述第三流量控制阀连接。本技术的光罩盒存放柜通过进气夹层往柜体内输送惰性气体，通过排气管将柜体内的酸根离子排出柜体外，使柜体内的环境达到光罩存放要求，置于所述光罩盒存放柜内的光罩盒由于盒内外环境都符合光罩存放要求，无论放置多久，都能有效防止光罩出现阴霾。附图说明本技术的光罩盒存放柜由以下的实施例及附图给出。图1是本技术一实施例中光罩盒存放柜的主视图。图2是图1中的A-A剖视图。图3是本技术一实施例中存放单元内部结构(未示进气夹层和排气管)的立体图。图4是本技术一实施例中存放单元内部结构(未示排气管)的主视图。图5是本技术一实施例中存放单元内部结构(未示排气管)的侧视图。具体实施方式以下将结合图1 图5对本技术的光罩盒存放柜作进一步的详细描述。本技术的光罩盒存放柜包括一柜体，设置于所述柜体内的进气夹层，以及排气管；所述进气夹层用于向所述柜体内输送惰性气体，所述进气夹层设有进气端和通孔，所述进气端通过流量控制阀与气体供应设备连接，由所述进气夹层传输的惰性气体通过所述通孔进入所述柜体内；所述排气管用于将所述柜体内的气体排出柜体外，所述排气管设有排气端，所述排气端与一流量控制阀连接，所述排气管的管壁上设有多个通孔，所述通孔的孔径大小可调，所述柜体内的气体通过所述多个通孔进入所述排气管内，再通过所述排气端排出所述柜体外。本技术的光罩盒存放柜通过进气夹层往柜体内输送惰性气体，通过排气管将柜体内的酸根离子(如、nh3、CL2、F2、2等)排出柜体外，使柜体内的环境达到光罩存放要求，置于所述光罩盒存放柜内的光罩盒由于盒内外环境都符合光罩存放要求，无论放置多久，都能有效防止光罩出现阴霾。现以具体实施例更详细的说明本技术的光罩盒存放柜。参见图1，本实施例的光罩盒存放柜包括一长方体状的柜体1，在本实施例中该柜体1共具有4个水平层，同一水平层上有两个存放单元10，即，所述柜体1被分隔成8个相互独立的存放单元10 ；参见图2，所述柜体1内设有进气夹层30，所述进气夹层30与每个存放单元10均连接，即每个所述存放单元10内均有部分所述进气夹层30，所述进气夹层30设有进气端 31，所述进气端31通过一流量控制阀(图2中未示)与气体供应设备连接，位于各个所述存放单元10内的进气夹层30上均设有通孔32，气体供应设备提供的惰性气体通过所述进气端31进入所述进气夹层30内，再由所述通孔32进入各个存放单元10内，采用进气夹层 30输送气体可保证每个所述存放单元10内的气压均衡；继续参见图2，所述柜体1内设有排气管20，所述排气管20位于同一水平层的两个存放单元10之间，且与每个存放单元10均连接，即每个存放单元10内均有部分排气管 20的管壁，位于各个存放单元10内的排气管20的管壁上均设有多个通孔21，所述多个通孔21用于排气，所述通孔21例如为螺丝通孔，其孔径大小是可调的，改变所述通孔21的孔径可改变所述存放单元10的排气量本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡鹏飞，木建秀，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：