一种石墨材质基板表层氮化硅的清洗方法技术

技术编号：7434859 阅读：316 留言：0更新日期：2012-06-15 07:40

本发明专利技术实施例公开了一种石墨材质基板表层氮化硅的清洗方法，包括：在清洗槽内采用氢氟酸溶液对表层覆有氮化硅的石墨材质基板进行清洗，直至去除石墨材质基板表层的氮化硅。本发明专利技术所提供的方法采用化学方法去除氮化硅，即：利用氢氟酸与氮化硅的化学反应来清洗氮化硅，由于氢氟酸不与石墨发生反应，所以不会对石墨材质的基板造成影响，保持了基板原有的物理性质，不会降低基板的使用寿命。