一种弧高台阶仪制造技术

一种弧高台阶仪，它涉及光机电一体化领域，它包含数码相机、聚焦马达、显微镜筒、彩虹轨道、双轴平移台、底座、聚焦升降部和脚垫，数码相机与显微镜筒通过标准C接口进行螺纹连接，显微镜筒通过中间件与聚焦升降部相连，双轴平移台设置在显微镜筒下端，聚焦马达通过联轴器与聚焦升降部相连，聚焦升降部通过滑块连接在彩虹轨道上，双轴平移台通过中间件连接在底座上，脚垫安装在底座底部。它用聚焦马达配合数字成像系统实现自动聚集的能力，提高了检测性能，同时配备了环形光和同轴光两种照明方式，可以照亮金丝及器件的全部反光面，保障检测效果。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光机电一体化领域，具体涉及一种弧高台阶仪。技术背景在现代微电子工业当中，在芯片的封装阶段有一个非常重要的工艺环节一金丝键合工艺，该工艺的作用是将芯片上的导电触点与基片相连，金丝的直径一般为30微米左右，在这个工艺环节中，有一个至关重要的工艺参数——金线弧高，如果弧高异常，会导致金丝和封装外壳之间短路，从而造成器件的报废，弧高台阶仪的核心功能就是检测金线弧高，弧高的范围一般为200微米至800微米之间，属于极微观的测量。现有的测试装置大都采用手动聚焦的方法，在金线的顶端和底脚分别聚焦，计算其高度差，从而得到弧高的数值，并且测量中存在以下缺点1、用手动聚焦的方法，由于操作员在操作熟练度和视觉感知方面的差异，其重复性精度极低，顶多能达到50微米的精度，不足以满足弧高测量的工艺精度要求；2、镜头采用垂直配置，只能在纵向进行观察，无法从侧面观察金线和底面基板之间的间隙；3、单一的光源配置，入射角的范围有限，无法照亮金丝的全部反光面，影响观察效^ ο
技术实现思路
本技术的目的是提供一种弧高台阶仪，它用聚焦马达配合数字成像系统实现自动聚集的能力，代替传统手动聚焦的方法，排除了操作员操作习惯和视觉感知上的差异对测量结果产生的影响，使测量重复性精度提升至5微米，大大提高了检测性能，可完全满足弧高测量方面的工艺精度要求；采用特有的“彩虹轨道”设计，镜头除了可垂直配置外，亦可在跟纵向夹角30度至150度范围内对金丝进行偏角测量，观察金丝与基板之间的间隙； 同时配备了环形光和同轴光两种照明方式，可以照亮金丝及器件的全部反光面，保障检测效果。为了解决
技术介绍
所存在的问题，本技术采取以下技术方案它包含数码相机1、聚焦马达2、显微镜筒3、彩虹轨道4、双轴平移台5、底座6、聚焦升降部7和脚垫8，数码相机1与显微镜筒3通过标准C接口进行螺纹连接，显微镜筒3通过中间件与聚焦升降部7相连，双轴平移台5设置在显微镜筒3下端，聚焦马达2通过联轴器与聚焦升降部7相连，聚焦升降部7通过滑块连接在彩虹轨道4上，双轴平移台5通过中间件连接在底座6上， 脚垫8安装在底座6底部。本技术具有以下有益效果它用聚焦马达配合数字成像系统实现自动聚集的能力，代替传统手动聚焦的方法，排除了操作员操作习惯和视觉感知上的差异对测量结果产生的影响，使测量重复性精度提升至5微米，大大提高了检测性能，可完全满足弧高测量方面的工艺精度要求；采用特有的“彩虹轨道”设计，镜头除了可垂直配置外，亦可在跟纵向夹角30度至150度范围内对金丝进行偏角测量，观察金丝与基板之间的间隙；同时配备了环形光和同轴光两种照明方式，可以照亮金丝及器件的全部反光面，保障检测效果。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为图1的左视图；图3为本技术的立体结构示意图。具体实施方式参照图1-3，本具体实施方式采取以下技术方案它包含数码相机1、聚焦马达2、 显微镜筒3、彩虹轨道4、双轴平移台5、底座6、聚焦升降部7和脚垫8，数码相机1与显微镜筒3通过标准C接口进行螺纹连接，显微镜筒3通过中间件与聚焦升降部7相连，双轴平移台5设置在显微镜筒3下端，聚焦马达2通过联轴器与聚焦升降部7相连，聚焦升降部7通过滑块连接在彩虹轨道4上，双轴平移台5通过中间件连接在底座6上，脚垫8安装在底座 6底部。本具体实施方式用聚焦马达配合数字成像系统实现自动聚集的能力，代替传统手动聚焦的方法，排除了操作员操作习惯和视觉感知上的差异对测量结果产生的影响，使测量重复性精度提升至5微米，大大提高了检测性能，可完全满足弧高测量方面的工艺精度要求；采用特有的“彩虹轨道”设计，镜头除了可垂直配置外，亦可在跟纵向夹角30度至150 度范围内对金丝进行偏角测量，观察金丝与基板之间的间隙；同时配备了环形光和同轴光两种照明方式，可以照亮金丝及器件的全部反光面，保障检测效果。权利要求1. 一种弧高台阶仪，其特征在于它包含数码相机(1)、聚焦马达O)、显微镜筒(3)、彩虹轨道(4)、双轴平移台(5)、底座(6)、聚焦升降部(7)和脚垫(8)，数码相机(1)与显微镜筒(3)通过标准C接口进行螺纹连接，显微镜筒C3)通过中间件与聚焦升降部(7)相连，双轴平移台( 设置在显微镜筒C3)下端，聚焦马达( 通过联轴器与聚焦升降部(7)相连， 聚焦升降部(7)通过滑块连接在彩虹轨道(4)上，双轴平移台( 通过中间件连接在底座 (6)上，脚垫(8)安装在底座(6)底部。专利摘要一种弧高台阶仪，它涉及光机电一体化领域，它包含数码相机、聚焦马达、显微镜筒、彩虹轨道、双轴平移台、底座、聚焦升降部和脚垫，数码相机与显微镜筒通过标准C接口进行螺纹连接，显微镜筒通过中间件与聚焦升降部相连，双轴平移台设置在显微镜筒下端，聚焦马达通过联轴器与聚焦升降部相连，聚焦升降部通过滑块连接在彩虹轨道上，双轴平移台通过中间件连接在底座上，脚垫安装在底座底部。它用聚焦马达配合数字成像系统实现自动聚集的能力，提高了检测性能，同时配备了环形光和同轴光两种照明方式，可以照亮金丝及器件的全部反光面，保障检测效果。文档编号G01B11/02GK202274860SQ201120280620公开日2012年6月13日 申请日期2011年8月4日 优先权日2011年8月4日专利技术者谢历铭 申请人:苏州爱特盟光电有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谢历铭，
申请(专利权)人：苏州爱特盟光电有限公司，
类型：实用新型
国别省市：