本发明专利技术提供一种喷墨头以及喷墨头的制造方法。在喷墨头中，即使使用具有导电性的液体作为油墨，也能够兼顾印刷品质和耐久性。在使用容易被基底的凹凸影响而形成气孔的无机材料的电极保护膜的情况下，通过在电极保护膜的基底通过电镀法形成电极作为平滑电极，或者通过利用例如SIRAGUSITAL(商品名：新技术创造研究所株式会社)等无机涂布材料进行成膜以作为平滑化层(膜)，从而形成无气孔且可靠性高的无机材料的电极保护膜。电极保护膜的膜厚为1.0μm以上，电机保护层的基底的平均表面粗糙度为0.6μm以下。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种在电极上具有保护膜的喷墨头以及喷墨头的制造方法。
技术介绍
提出有一种在喷墨记录装置中利用压电部件的剪切模式变形来使油墨滴从喷嘴吐出的所谓剪切模式型喷墨头(专利文献1)。图10示出了喷墨头的截面图。在图10中，喷墨头50通过未示出的保护膜来保护形成在油墨室51的内壁面的电极52。在喷墨头50中设有作为被粘合体的基座基板54，该基座基板54形成多个槽53以作为油墨室51，并且上述基座基板54的端面粘合有具有与基座基板54的各槽部53相面对的喷嘴孔55的喷嘴板56。在基座基板54的上面固定有形成了共用油墨室60和油墨供给口 61的盖部件62，并且经由导线58将连接于电极52的平坦部电极57连接于驱动用IC。在该喷墨头50中，保护电极52的保护膜的成膜方法包括在成膜腔内使遮蔽部件在上述基座(base)基板54的端面上有间隔地对峙的遮蔽部件对峙工序；以及在基座基板 54上将聚氯对二甲苯膜和聚对二甲苯膜以该顺序层叠而形成未示出的保护油墨的有机保护膜的工序。因此，作为容易被基底的凹凸影响而形成气孔的聚对二甲苯(polyparaxylylene) 膜的平滑基底膜，进行聚氯对二甲苯膜的成膜，因此能够形成无气孔且可靠性高的聚对二甲苯膜。并且，在聚对二甲苯膜成膜时，由于使遮蔽部件至少在基座基板54的端面上有间隔地对峙而成膜，因此至少在遮蔽部件覆盖的面上没有产生聚对二甲苯的突起(由于附着聚合物粒子而异常成膜)，能够实现形成平滑的保护膜，在应用于喷墨头等的情况下，之后在精度良好地粘合平滑部件(例如喷嘴板)的工序中能够提高生产成品率。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开2007-253582号公报在专利文献1中，在制造即使使用导电性油墨也能够可靠地确保充分的绝缘性以及抗化学药品性的喷墨头的工序中，将形成有喷嘴55的喷嘴板56接合于基座基板54，并且平滑基底膜和有机保护膜使用有机材料。然而，在这种现有的喷墨头的喷嘴55的形成方法中存在几个问题，利用图11、图 12进行说明。第一个问题发生在将喷嘴板126和基座基板118接合时。图11是将已经形成有喷嘴127的喷嘴板126接合到基座基板118而制得的喷墨头的截面图。使用粘合剂151将喷嘴板126接合到基座基板118。当将喷嘴板126和基座基板118接合时，粘合剂151从基座基板118和喷嘴板126的间隙溢出，堵塞槽部117侧的喷嘴127的开口部的一部分。一旦喷嘴127的一部分被堵塞，在吐出油墨时，喷嘴127内的油墨的流动混乱，油墨的吐出速度和吐出方向产生偏差，印刷品质劣化。第二个问题产生在为解决上述问题而将喷嘴板1 接合到基座基板118之后对喷嘴127进行加工时。图12是在将未形成有喷嘴127的喷嘴板1 接合到基座基板118之后通过激元激光器形成了喷嘴127的喷墨头的截面图。未形成有喷嘴127的喷嘴板1 与基座基板118接合时漏出的粘合剂151在利用激元激光器加工截头圆锥台形状的喷嘴127 时被去除。因此，能够防止由于槽部117侧的喷嘴127堵塞部分而引起的印刷品质降低。但是，当通过激元激光器形成截头圆锥台形状的喷嘴127时，图12中箭头示出的激光刚贯通喷嘴板126后，激光照射到平滑基底膜121和成膜于其表面的有机保护膜120。 因此，在照射了激光的部位152，平滑基底膜121和有机保护膜120受到损坏。虽然平滑基底膜121和有机保护膜120由有机绝缘膜构成，但是由于激光加工中使用的激元激光器的波长比可见光的波长低，因此，当平滑基底膜121和有机保护膜120照射到激光时，支链被切断，电特性、机械特性劣化，绝缘性以及抗化学药品性不充分。因此，在使用具有导电性的油墨时，不能防止照射了激光的部位152的电极119溶解等，具有不能维持喷墨头的耐久性的危险。并且，一旦基地基板118损坏，接合体150的压电特性劣化，且喷墨头的印刷品质降低。如上所述，在将预先形成有喷嘴127的喷嘴板1 接合于基地基板118且保护膜 120使用有机材料喷墨头中，存在由于喷嘴127的一部分被粘合剂堵塞造成的印刷品质劣化的问题，在接合喷嘴板1 后形成喷嘴127的情况下，有激光使电极119和PZT劣化而不能维持喷墨头的印刷品质和耐久性的问题。本专利技术的目的在于解决该问题，并提供一种即使使用具有导电性的液体作为油墨也能够兼顾印刷品质和耐久性的技术。
技术实现思路
根据本专利技术的一个实施方式，提供一种喷墨头的制造方法，包括电极部形成工序，在形成于喷墨头的基板上的槽部的内面形成在表面层形成有无机材料的电极保护膜的电极部；喷嘴板粘合工序，在所述电极部形成工序之后，利用粘合剂将喷嘴板粘合到所述槽部中的压力室的开口端面；以及喷嘴加工工序，在所述喷嘴板粘合工序之后，通过激光加工在所述喷嘴板上形成与所述压力室连通的喷嘴，其中，在所述电极部形成工序中，在所述槽部的内面形成平均表面粗糙度为0.6μπι以下的平滑电极，在所述平滑电极的表面形成膜厚为Ι.Ομπι以上的所述电极保护膜。在本专利技术的实施方式的喷墨头中，在使用容易被基底的凹凸影响而形成气孔的无机材料的电极保护膜的情况下，通过在电极保护膜的基底通过电镀法形成电极作为平滑电极，或者通过利用例如SIRAGUSITAL(商品名新技术创造研究所株式会社)等无机涂布材料进行成膜以作为平滑化层(膜)，从而形成无气孔且可靠性高的无机材料的电极保护膜。 电极保护膜的膜厚为1. 0 μ m以上，电机保护层的基底的平均表面粗糙度为0. 6 μ m以下。附图说明图1是与示出第一实施方式的喷墨头的喷嘴列方向垂直的方向的纵向截面图。图2是沿示出第一实施方式的喷墨头的喷嘴列方向的纵向截面图。图3是示出第一实施方式的制造方法的工序的纵向截面图。图4(a)是无平滑电极的电极横向截面图，(b)是第一实施方式中的平滑电极的横截面图。图5是第一实施方式中入射到电极保护膜的激光的横截面图。图6是第一实施方式的入射到电极保护膜的激光的纵截面图。图7是与示出第二实施方式的喷墨头的喷嘴列方向垂直的方向的纵截面图。图8是沿示出第二实施方式的喷墨头的喷嘴列方向的纵截面图。图9是示出第二实施方式的制造方法的工序的纵截面图。图10是现有技术的喷墨头的纵截面图。图11是示出现有技术的喷墨头的问题的截面图。图12是示出现有技术的喷墨头的其他问题的截面图。具体实施例方式图1以及图2示出了第一实施方式。图1示出了喷墨头1中与形成有多个喷嘴的喷嘴列方向垂直的短边方向的纵截面图，图2是沿喷嘴列方向的长边方向的纵截面图。在本实施方式的喷墨头中，对使用了将电极保护膜的基底平滑化后的电极(以下，称为平滑电极)的情况下的喷墨头的构造和动作进行说明。喷墨头1由基板12、顶板框13、顶板盖17、喷嘴板16构成，在喷嘴板16上，沿图1 的纸面的内外方向形成多个喷嘴2，将该喷嘴2形成为一列的方向称为喷嘴列方向。在基板 12上，沿喷嘴列方向平行形成多个长槽部11。在各个长槽部11的内面上，平滑电极4电独立形成，经过基板12的上面连接到柔性电缆7。柔性电缆7连接于产生用于驱动喷墨头1 的驱动脉冲的驱动电路20。由无机材料制成的电极保护膜成膜于平滑电极4的表面。各个长槽部11被顶板框13密封，长槽部11和顶板部13围成的部分形成压力室 3。邻接本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：关雅志，下里正志，
申请(专利权)人：东芝泰格有限公司，
类型：发明
国别省市：
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