真空管道式束流调节器制造技术

本发明专利技术主要涉及电真空领域，尤其涉及一种束流调节装置。一种真空管道式束流调节器，包括正高压电极，负高压电极，高压馈线，所述的正高压电极，负高压电极通过密封固定装置平行设置在真空管道内；在真空管道上设有圆盘绝缘装置，所述的正高压电极和负高压电极通过高压馈线与圆盘绝缘装置相连接；所述的圆盘绝缘装置还与正、负高压输出线相连接。本发明专利技术提供的装置形成的电场水平可以达到10KV以上，真空度高于2×10-5Pa。具有输送电压大、高真空、结构紧凑、使用可靠。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术主要涉及电真空领域，尤其涉及一种束流调节装置。
技术介绍
目前，在电真空领域中，因调节带电粒子束流需要在真空状态下产生高压电场的情形很多，传统做法是将局部真空腔加大，布置产生高压电场的高压电极、高压馈入装置、 绝缘支撑装置等，使得外形尺寸较大，在一些空间受限制区域实现困难，甚至无法实现。因此研制一种满足使用要求、结构紧凑的装置显得十分有意义，解决受空间尺寸限制而实现在真空管道内产生束流调节所需高压电场的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于避免现有技术的不足提供一种结构紧凑，合理的真空管道式束流调节器。为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为一种真空管道式束流调节器，包括正高压电极，负高压电极，高压馈线，其特征在于，所述的正高压电极，负高压电极通过密封固定装置平行设置在真空管道内；在真空管道上设有圆盘绝缘装置，所述的正高压电极和负高压电极通过高压馈线与圆盘绝缘装置相连接；所述的圆盘绝缘装置还与正、负高压输出线相连接。进一步，所述的圆盘绝缘装置包括绝缘圆盘，绝缘圆盘设置在所述真空管道上设有的绝缘圆盘支撑座上，并通过压板固定。进一步，在所述的绝缘圆盘支撑座与绝缘圆盘之间设有橡胶密封圈；在绝缘圆盘与压板之间设有橡胶保护圈。进一步，所述的圆盘绝缘装置还包括有高压蔽罩，所述的高压蔽罩设置在所述的压板上，所述的正、负高压输出线穿过高压蔽罩。进一步，所述的绝缘圆盘为金属陶瓷封接件，可同时满足高压电导入、绝缘、真空密封要求。进一步，所述的密封固定装置包括高压夹板，所述的正、负高压电极通过高压夹板固定在绝缘棒的一端，绝缘棒的另一端通过接地夹板固定在半月板上，半月板焊接在所述的真空管道上，半月板外端设有真空盲板，真空盲板也固定在真空管道上。进一步，固定在绝缘棒两端的高压夹板和接地夹板为交叉90度角安装，所述的绝缘棒两端分别插设在高压夹板和接地夹板的开口内。进一步，所述的真空盲板与真空管道之间设有金属密封圈。进一步，所述的高压馈线包括前段高压馈线和后段高压馈线，后段高压馈线的一端与所述的绝缘圆盘相连接，后段高压馈线的另一端通过与前段高压馈线的一端球绞连接，前段高压馈线的另一端与所述的正、负高压电极相连接。本专利技术还提供一种真空管道式束流调节方法，将正高压和负高压联通正、负高压输出线，正、负高压输出线将正、负高压依次通过绝缘圆盘、真空高压馈线输送至正、负高压电极，使正、负高压电极之间形成调节带电粒子束流所需要的高压电场。本专利技术的有益效果是其形成的电场水平可以达到IOKV以上，真空度高于 2X10_5!^。具有输送电压大、高真空、结构紧凑、使用可靠。附图说明图1为本专利技术的轴向剖面示意图； 图2为本专利技术的横向剖面示意图3为本专利技术的轴向剖面结构示意图； 图4为本专利技术真空高压馈线的局部放大结构示意图。具体实施例方式以下结合附图对本专利技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本专利技术，并非用于限定本专利技术的范围。实施例1 如图1所示，一种真空管道式束流调节器，包括正高压电极2，负高压电极3，真空高压馈线9，所述的正高压电极2和负高压电极3通过密封固定装置平行设置在真空管道1内；在真空管道1上设有圆盘绝缘装置，所述的正高压电极2和负高压电极3通过真空高压馈线9与圆盘绝缘装置相连接；所述的圆盘绝缘装置还与正高压输出线17、负高压输出线12相连接。所述的圆盘绝缘装置包括绝缘圆盘10，绝缘圆盘10设置在所述真空管道1上设有的绝缘圆盘支撑座上，并通过压板14固定。在所述的绝缘圆盘支撑座与绝缘圆盘10之间设有橡胶密封圈11、在绝缘圆盘10与压板14之间设有橡胶保护圈13。所述的圆盘绝缘装置还包括有高压蔽罩15，所述的高压蔽罩15设置在所述的压板14上，所述的正高压输出线17、负高压输出线12穿过高压蔽罩15。所述的绝缘圆盘10为金属陶瓷封接件，可同时满足高压电导入、绝缘、真空密封要求。所述的密封固定装置包括高压夹板4，所述的正高压电极2、负高压电极3通过高压夹板4固定在绝缘棒5的一端，绝缘棒5的另一端通过接地夹板6固定在半月板16上， 半月板16焊接在所述的真空管道1上，半月板16外端设有真空盲板8，真空盲板8也固定在真空管道1上。固定在绝缘棒5两端的高压夹板4和接地夹板6为交叉90度角安装，所述的绝缘棒5两端分别插设在高压夹板4和接地夹板6的开口内。所述的真空盲板8与真空管道1之间设有金属密封圈7。所述的真空高压馈线9包括前段高压馈线9-1和后段高压馈线9-2，后段高压馈线 9-2的一端与所述的绝缘圆盘10相连接，后段高压馈线9-2的另一端通过与前段高压馈线 9-1的一端球绞连接，前段高压馈线9-1的另一端与所述的正高压电极2、负高压电极3相连接。所述的真空管道式束流调节器装置，已实际应用在相关项目中。整个装置安装在长500毫米、内径63毫米的真空管道内，高压电极长480毫米，两高压电极之间间隙为 1(Γ12毫米，电极宽度20毫米，在真空度为1 X 10^2 X 10_5 Pa条件下，所正高压电极与负高压电极之间可通入5飞KV的正、负高压电，电压差达1(T12KV。经过一段时间的运行，达到了设计要求，满足了对带电粒子束流的调节需求。实施例2 本专利技术还提供一种真空管道式束流调节方法，将正高压和负高压联通正高压输出线17、负高压输出线12，正高压输出线17、负高压输出线12将正、负高压依次通过绝缘圆盘10、真空高压馈线9输送至正高压电极2和负高压电极3，使正高压电极2、负高压电极3之间形成调节带电粒子束流所需要的高压电场。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例，并不用以限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。权利要求1.一种真空管道式束流调节器，包括正高压电极，负高压电极，高压馈线，其特征在于， 所述的正高压电极，负高压电极通过密封固定装置平行设置在真空管道内；在真空管道上设有圆盘绝缘装置，所述的正高压电极和负高压电极通过高压馈线与圆盘绝缘装置相连接；所述的圆盘绝缘装置还与正、负高压输出线相连接。2.如权利要求1所述的真空管道式束流调节器，其特征在于，所述的圆盘绝缘装置包括绝缘圆盘，绝缘圆盘设置在所述真空管道上设有的绝缘圆盘支撑座上，并通过压板固定。3.如权利要求2所述的真空管道式束流调节器，其特征在于，在所述的绝缘圆盘支撑座与绝缘圆盘之间设有橡胶密封圈；在绝缘圆盘与压板之间设有橡胶保护圈。4.如权利要求2或3所述的真空管道式束流调节器，其特征在于，所述的圆盘绝缘装置还包括有高压蔽罩，所述的高压蔽罩设置在所述的压板上，所述的正、负高压输出线穿过高压蔽罩。5.如权利要求2或3所述的真空管道式束流调节器，其特征在于，所述的绝缘圆盘为金属陶瓷封接件。6.如权利要求1所述的真空管道式束流调节器，其特征在于，所述的密封固定装置包括高压夹板，所述的正、负高压电极通过高压夹板固定在绝缘棒的一端，绝缘棒的另一端通过接地夹板固定在半月板上，半月板焊接在所述的真空管道上，半月板外端设有真空盲板， 真空盲板也固定在真空管道上。7.如权利要求6所述的真空管道式束流调节器，其特征在于，固定在绝缘棒两端的高压夹板和接地夹板为交叉90度角安装，所述的绝缘棒两端分别插设在高压夹板和接地夹板的开口内。8.如权利要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张小奇，张斌，李学敏，张军辉，盛丽娜，何源，马力祯，宋明涛，
申请(专利权)人：中国科学院近代物理研究所，
类型：发明
国别省市：