一种晶圆环锁紧装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆环锁紧装置，包括晶圆盘，还包括沿晶圆盘边缘设置的紧固条，所述紧固条的一端与所述晶圆盘连接，所述紧固条的另一端与一拉环钩连接，所述拉环钩扣接一固定在所述晶圆盘上的工具扣。由于采用了工具扣将整个晶圆环锁紧装置进行锁紧，其操作方法简单便捷，晶圆环锁紧快速稳定，不需要操作者花太大的力气去完成，也不会扭伤操作者的手。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶圆加工设备，更具体的说，涉及的是一种LED产业链封装工序用的晶圆环锁紧装置。
技术介绍
在LED生产过程中，要想精确捡起晶圆，快速、准确将晶圆放置指定位置，则晶圆环必须得牢牢的被一种装置锁紧，通常这种装置就叫晶圆盘。衡量该操作步骤是否符合要求，主要看其操作是否方便、简捷，是否能够快速有效的牢牢锁紧晶圆环。如图1、图2及图3所示，现有技术中，通常在晶圆盘上设置有多个晶圆环200，同时对每一晶圆环设置有一用于紧固的螺钉300，其紧固方式是靠单手旋合螺钉300通过压迫作用压紧晶圆环200。采取这种方式时，如果每个子母环外形尺寸做得刚刚好的话是比较可靠的，但是因为子母环的材质是塑胶，而塑胶的一个很大的缺陷就是容易变形，受外界环境影响很大，所以加工起来很难保证尺寸的准确性。因此当子母环的实际尺寸小于理论值时，靠用手旋合螺钉300通过压迫锁紧晶圆环200的方式就会存在很大问题首先是晶圆环200与晶圆盘100之间会产生很大间隙，因此螺钉300与晶圆环200也会有很大一段的距离，这就需要消耗操作员比较长的时间去旋合螺钉300来锁紧晶圆环200 ；其次就是当螺钉300与晶圆环200接触后，由于用手去扭螺钉300是比较费力的，因此，可能会由于用力过猛导致晶圆环的进一步变形，而有时又即使用力很大也锁不紧晶圆环200。因此，现有技术尚有待改进和发展。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆环锁紧装置，防止锁紧晶圆环花费时间过长或者锁不紧晶圆环。本技术的技术方案如下—种晶圆环锁紧装置，包括晶圆盘，其中，还包括沿晶圆盘边缘设置的紧固条，所述紧固条的一端与所述晶圆盘连接，所述紧固条的另一端与一拉环钩连接，所述拉环钩扣接一固定在所述晶圆盘上的工具扣。所述的晶圆环锁紧装置，其中，所述晶圆盘上设置有四个晶圆环，对应每一晶圆环设置有一紧固条、工具扣及其拉环钩。所述的晶圆环锁紧装置，其中，所述紧固条非连接工具扣的一端通过一压板固定， 并通过一可调节螺栓与一调节块连接，所述调节块固定在所述晶圆盘上。所述的晶圆环锁紧装置，其中，所述压板靠近紧固条一侧横向为中空结构，所述紧固条的连接端嵌入该中空结构，并通过螺栓连接。所述的晶圆环锁紧装置，其中，所述拉环钩一体设置有一底板，与一压块配合固定所述紧固条的一端。本技术所提供的一种晶圆环锁紧装置，由于采用了工具扣将整个晶圆环锁紧装置进行锁紧，其操作方法简单便捷，晶圆环锁紧快速稳定，不需要操作者花太大的力气去完成，也不会扭伤操作者的手。附图说明图1是现有技术晶圆环锁紧装置的结构示意图。图2是现有技术晶圆环锁紧装置的动作示意图。图3是图2中A部局部放大示意图。图4是本技术晶圆环锁紧装置的立体结构示意图。图5是图4中B部局部放大示意图。图6a、图6b是本技术晶圆环锁紧装置的正、反立体示意图。图7是本技术晶圆环锁紧装置的平面示意图。图8是图7中C部局部放大示意图。图9是图7中D部局部放大示意图。具体实施方式以下将结合附图，对本技术的具体实施方式加以详细说明，所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并非用于限定本技术的具体实施方式。本技术一种晶圆环锁紧装置，包括晶圆盘，还包括沿晶圆盘边缘设置的紧固条，所述紧固条的一端与所述晶圆盘连接，所述紧固条的另一端与一拉环钩连接，所述拉环钩扣接一固定在所述晶圆盘上的工具扣。优选的，所述晶圆盘上设置有四个晶圆环，对应每一晶圆环设置有一紧固条、工具扣及其拉环钩。所述紧固条非连接工具扣的一端通过一压板固定，并通过一可调节螺栓与一调节块连接，所述调节块固定在所述晶圆盘上。所述压板靠近紧固条一侧横向为中空结构，所述紧固条的连接端嵌入该中空结构，并通过螺栓连接。 所述拉环钩一体设置有一底板，所述底板与一压块配合固定所述紧固条的一端。本技术的具体实施方式如图4、图6a、图6b及图7所示，所述晶圆环锁紧装置包括晶圆盘101、压块201、压板301、拉环钩401、调节块501、工具扣601、紧固条701、晶圆环801，所述调节块501与所述工具扣601固定在所述晶圆盘101上，所述紧固条701的一端通过所述压板301固定，并通过一可调节螺栓与所述调节块501连接，所述可调节螺栓除了具有连接作用外，还可以调节整个晶圆环锁紧装置的松紧程度，当扣下所述工具扣601 后，所述紧固条701太紧或者太松时，此时可以通过调节所述螺钉进行放松或者收紧。所述紧固条701的另一端与一拉环钩401连接，如图5、图8所示，所述拉环钩401 扣接一固定在所述晶圆盘101上的工具扣601。如图9所示，所述压板301靠近所述紧固条 701—侧横向为中空结构，所述紧固条701的连接端嵌入该中空结构，并通过螺栓连接。所述拉环钩401 —体设置有一底板402，所述底板402与一压块201配合固定所述紧固条701 的一端。优选的，所述晶圆盘101上设置有四个晶圆环801，对应每一晶圆环801设置有一压块201、压板301、拉环钩401、调节块501、工具扣601、紧固条701。操作的时候，用手掰开所述工具扣601，使所述紧固条701张开，把所述晶圆环801 放入所述晶圆盘101中，调节好所述晶圆环801的位置，使所述晶圆环801的底部完全贴紧所述晶圆盘101的一侧，然后把所述工具扣601扣紧，所述紧固条701就被固定在所述晶圆盘101上，当扣下所述工具扣601后所述紧固条701太紧或者太松时，此时可以通过调节所述调节块501上的可调节螺栓进行放松或者收紧，使所述紧固条701牢牢固定在所述晶圆盘101上，其操作方法简单便捷，所述晶圆环801锁紧快速稳定，不需要操作者花太大的力气去完成，也不会扭伤操作者的手。 应当理解的是，以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不足以限制本技术的技术方案，对本领域普通技术人员来说，在本技术的精神和原则之内，可以根据上述说明加以增减、替换、变换或改进。例如将所述拉环钩与所述工具扣变换位置，将所述工具扣与所述紧固条连接，将所述拉环钩固定在所述晶圆盘上，而所有这些增减、替换、 变换或改进后的技术方案，都应属于本技术所附权利要求的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆环锁紧装置，包括晶圆盘，其特征在于，还包括沿晶圆盘边缘设置的紧固条，所述紧固条的一端与所述晶圆盘连接，所述紧固条的另一端与一拉环钩连接，所述拉环钩扣接一固定在所述晶圆盘上的工具扣。2.根据权利要求1所述的晶圆环锁紧装置，其特征在于，所述晶圆盘上设置有四个晶圆环，对应每一晶圆环设置有一紧固条、工具扣及其拉环钩。3.根据权利要求1所述的晶圆环锁紧装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：李蔚然，
申请(专利权)人：深圳翠涛自动化设备股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：