复刀口风刀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种复刀口风刀装置，包括有至少二刀体与至少一隔板，每一刀体具有连通的一进气口、一气室、一整流区与一出气口，该隔板设于两该刀体之间，该隔板与刀体之间构成气流通道，该刀体与隔板利用可调整的固定单元予以固定，并可藉由调整固定单元以调整每一气流通道与每一出气口的大小，以控制由每一出气口排出的风量。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

复刀口风刀装置
本技术涉及可应用于大面积基板吹拂干燥制程的风刀装置。技术背景清洗平板显示组件用基板的制程主要以向基板表面喷射(供给)清洗液(例如去离子水)的方式来进行，所述制程是在具备如流体喷射用喷嘴的清洗单元的清洗装置内进行，且所述清洗置为气室形状。如此，用所述清洗装置对基板进行清洗时，重要的是去除基板上的残留清洗液的同时要对基板进行干燥处理。例如在进行清洗制程后，若基板上存在残留清洗液，则其表面会产生水斑(water spot)，这有可能成为降低清洗质量的因素。因此，进行基板清洗制程同时，需要进行干燥制程，这种干燥制程大部分通过风刀吹出干燥空气，从而吹去基板上的残留清洗液来进行的，这方式是所属
中已被广泛知晓的技术。现有技术的风刀具有单一出气口，其对基板表面进行吹干程序时，是以倾斜一角度的状态使气体吹向板件表面以将所残留的水份彻底排除；由于吹出的气流速度极快，以致于会在出气口的锐角侧产生真空效应，进而将基板吸起和风刀刀体接触，可能因而对基板造成刮伤。中国专利CN101639316号则提供一种气刀装置，该气刀装置在一主体设置有空气流入口、第一气室与第二气室，空气流入口供给空气进入第一气室与第二气室，再从第一吐出口与第二吐出口喷出高压空气，基板被输送的过程中，依序被第一吐出口与第二吐出口所喷出的高压空气吹拂；即，中国专利CN101639316号提供一种具有双出气口的风刀，企图解决前述现有技术单一出气口可能产生真空效果而吸起基板的问题。可是，中国专利CN101639316号虽然可以调整吹出的风速大小，但因为受到结构本身的限制，却无法单独针对各别出气口的风速进行调整，以致于两个出气口均仅能同时吹出相同的风速；此外，其两个出气口均由同一进气口供给空气，以致于在特别需要时，无法在两个出气口分别供应不同温度的高压空气。
技术实现思路
本技术的目的，在于解决现有技术具有两个出气口的风刀装置，无法单独针对各别出气口的风速进行调整，仅能同时吹出相同风速，且无法在两个出气口分别供应不同温度的高压空气的问题。本技术的特征，是在风刀装置设置至少二个独立的刀体，每一个刀体各自具有独立的进气口与出气口，且每一刀体可以被单独调整出气量与出气速度，藉此，可以依实际需要而调整不同出气口的吹气速度，以及在不同的出气口吹出不同温度的气体。基于此，本技术提供的复刀口风刀装置，包括有至少二刀体与至少一隔板，每一刀体具有连通的一进气口、一气室、一整流区与一出气口，该隔板设于两该刀体之间，该隔板与刀体之间构成气流通道，该刀体与隔板利用可调整的固定单元予以固定，并可藉由调整固定单元以调整每一气流通道与该每一出气口的尺寸大小，以控制由该每一出气口排出的风量而可调整吹出的气体速度及控制由该每一出气口排出的风量。更进一步的，本技术在刀体与隔板分别设有至少一对应的贯穿孔与螺孔，该固定单元则为一个螺丝，藉由螺丝穿过刀体的贯穿孔后再锁入隔板的螺孔而使刀体和隔板固定，并藉由旋转螺丝以调整刀体和隔板之间的气流通道与出气口的尺寸大小。本技术的多个刀体配合隔板组合后，多个出气口依对待吹物品的距离依序由近至远排列。和现有技术具有两个出气口的风刀装置相较之下，本技术除了同样可以消除单一出气口在锐角侧产生的真空效应外，还可以依实际的需要分别调整各别出气口的气体吹出速度，以及能分别供应及吹出不同温度的高压气体。附图说明图1为显示本技术风刀装置的前视平面示意图；图2为图1的A-A剖面示意图；图3为图2的组件组合关系平面分解图。具体实施方式以下配合附图对本技术的实施方式做更详细的说明，以使熟悉本领域技术人员在阅读本说明书后能据以实施。图1至图3以本技术包含有二个出气口的实施例做说明，当然，在相同的原理与技术手段条件下，也可以设为三个刀体，三个出气口或更多刀体与出气口。如图1至图3 所示，本技术提供的复刀口风刀装置，包括有一第一刀体1A、一第二刀体IB与一隔板 2，第一刀体IA与第二刀体IB分别具有一第一进气口 IAl与一第二进气口 1B1、一第一气室1A2与一第二气室1B2、一第一气流通道1A3与一第二气流通道1B3、一第一整流区1A4 与一第二整流区1B4、一第一出气口 1A5与一第二出气口 1B5 ；第一气室1A2、第一气流通道 1A3、第一整流区1A4与第一出气口 1A5均为不同程度地低于第一刀体IA —侧表面的适当空间；第二气室1B2、第二气流通道1B3、第二整流区1B4与第二出气口 1B5均为不同程度地低于第二刀体IB —侧表面的适当空间。第一刀体IA与第二刀体IB的侧壁还分别设有贯穿孔11。所述隔板2为相对两面呈平滑面的板体，使由1A1，1B1所供给的气体(在此为空气)撞击到隔板2时获得平顺的导流效果，避免产生扰流而影响出气的稳定性，该隔板2的相对两侧面分别设有对应前述第一刀体IA与第二刀体IB的贯穿孔11的螺孔21。如图3所示，本技术的组件组合方式，是将第一刀体IA与第二刀体IB呈对称设置，并将隔板2设于第一刀体IA与第二刀体IB之间，再将固定单元3穿过第一刀体IA与第二刀体IB的贯穿孔11后锁入隔板2的螺孔21 ；当固定单元3被锁得愈紧时，第一气流通道1A3及第一出气口 1A5与隔板2的一侧面之间愈接近，或第二气流通道1B3及第二出气口 1B5与隔板2的另一侧面之间愈接近，也就是气流通道与出气口的尺寸愈小，亦即间隙愈小。当固定单元3被锁得愈松时，则第一气流通道1A3及第一出气口 1A5与隔板2的一侧面之间愈离开，或第二气流通道1B3及第二出气口 1B5与隔板2的另一侧面之间愈离开，也就是气流通道与出气口的尺寸愈大，即间隙愈大。由于固定单元3是沿着刀体的长度方向4分布设置多个，因此，藉由转动固定组件3来调整气流信道与出气口尺寸大小的操作方式， 是各别转动固定组件3进行调整，亦可配合专用治具或量具来控制固定单元3的转动量，以获得预期的气流通道与出气口尺寸大小。在此，固定单元3可为一螺丝，亦可为二个各自独立的螺丝，用以分别调整该螺丝的松紧度以调整所对应的该气流通道与该出气口的大小。因此，当第一进气口 IAl与第二进气口 IBl分别连接气源并供应高压空气后，高压空气即进入第一气室1A2与第二气室1B2储存，高压空气再经由第一气流通道1A3与第二气流通道1B3分别进入第一整流区1A4与第二整流区1B4后，再分别从第一出气口 1A5与第二出气口 1B5喷出高压空气。当第一进气口 IAl与第二进气口 IBl分别连接不同温度的气源时，则可以从第一出气口与第二出气口喷出不同温度的高压空气。在本技术的较佳实施例，所述第一刀体IA与第二刀体IB具有不同高度，因此，当第一刀体1A、第二刀体IB与隔板2组合后，所述第一出气口 1A5与第二出气口 1B5可以依对待吹物品(在此为一基板)的距离依序由近至远排列。藉此使不同的出气口以不同角度吹出高压空气；在此第一出气口 1A5，是指相对接近待吹气的基板表面的出气口，第二出气口 1B5，是指相对远离待吹气的基板表面的出气口。由于第一出气口 1A5较第二出气口 1B5接近基板表面，因此第一出气口 1A5吹出的气流较第二出气口 1B5吹出的气流更集中，而第二出气口 本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：陈传宜，李玟澄，陈俊杰，龚棉英，
申请(专利权)人：亚智科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：