本实用新型专利技术公开一种带有液氮热沉的大口径低温泵，包括低温泵真空泵壳、GM制冷机冷头、低温吸附盘阵列、百叶窗式低温挡板、热沉径向支撑块、液氮热沉、热沉轴向支撑柱和一级屏蔽板，其中，液氮进出口弹性节穿过拱顶圆封盖并与直筒体内部的液氮热沉相连通，直筒体内部底端与GM制冷机冷头同轴设置有百叶窗式低温挡板以避免外界热辐射，低温吸附圆盘阵列的吸附盘上设置有活性炭。本实用新型专利技术的低温泵带有液氮热沉，解决了制冷机一级制冷量不足，不能满足大口径低温泵的冷量要求，同时采用二级制冷量较大的制冷机，提高了二级吸附阵的吸附质量，从而提高低温泵的耐冲击能力及抽气容量。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：徐敏，
申请(专利权)人：徐敏，
类型：实用新型
国别省市：
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