本实用新型专利技术公开一种用于板式PECVD设备的特气管道，包括第一横管、第二横管和第三横管，所述第二横管的两端分别通过第一竖管和第二竖管与所述第一横管两端之间的管体连通，所述第三横管的一端通过第三竖管与所述第二横管两端之间的管体连通，在所述第一横管临近所述第一竖管的一端与所述第一竖管之间的所述第一横管管体上至少设置有4个气孔，在所述第一横管临近所述第二竖管的一端与所述第二竖管之间的所述第一横管管体上也至少设置有4个所述气孔，在所述第一竖管与所述第二竖管之间的所述第一横管管体上设置有1～9个所述气孔。本实用新型专利技术的特气管道用于板式PECVD设备可以通过功率和占空比来补偿，从而实现了可以单独调节，能够有效降低膜厚极差。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池镀膜中的特气管道，特别涉及一种用于板式PECVD设备能够改善板式PECVD镀膜均勻性的特气管道。
技术介绍
在现有技术中，板式PECVD设备的SiH4特气管道和NH3特气管道均包括较长的第一横管1以及较短的第二横管2和第三横管3，第二横管2的两端分别通过第一竖管4和第二竖管5与第一横管1两端之间的管体连通，第三横管3的一端通过第三竖管6与第二横管2两端之间的管体连通。图1为SiH4特气管道气孔7分布图在第一横管1临近第一竖管4的一端与第一竖管4之间的第一横管1管体上有三个气孔7 ；在第一横管1临近第二竖管5的一端与第二竖管5之间的第一横管1管体上有三个气孔7。图2为NH3特气管道气孔7分布图在第一横管1临近第一竖管4的一端与第一竖管4之间的第一横管1管体上有四个气孔7 ；在第一横管1临近第二竖管5的一端与第二竖管5之间的第一横管1管体上有四个气孔7。由于当前所用的R&R(型号XXL)板式PECVD设备自身的缺陷，膜厚两边低，中间高。目前使用的第八根特气管道非全通(SH4特气管道左右各三个气孔7，NH3特气管道左右各四个气孔7，分别如图1和图2所示)，通过两边的气孔7起补偿作用，但是由于在使用过程中，SiH4特气管道壁、NH3特气管道壁和气孔7容易堵塞，造成膜厚极差大，且无法调节。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足，本技术的目的在于提供一种能够有效降低膜厚极差的用于板式PECVD设备的特气管道。本技术的技术方案是这样实现的用于板式PECVD设备的特气管道，包括第一横管、第二横管和第三横管，所述第二横管的两端分别通过第一竖管和第二竖管与所述第一横管两端之间的管体连通，所述第三横管的一端通过第三竖管与所述第二横管两端之间的管体连通，在所述第一横管临近所述第一竖管的一端与所述第一竖管之间的所述第一横管管体上至少设置有4个气孔，在所述第一横管临近所述第二竖管的一端与所述第二竖管之间的所述第一横管管体上也至少设置有4个所述气孔，在所述第一竖管与所述第二竖管之间的所述第一横管管体上设置有1 9个所述气孔。上述用于板式PECVD设备的特气管道，在所述第一横管管体上设置有22个所述气孔，且相邻所述气孔之间的间距相等。本技术的有益效果是将板式PECVD设备中的第八根特气管道换为本技术的特气管道，可以通过调节峰值功率和占空比来改善极差；解决了以前只是通过特气来补偿，过程中不能单独调节；因而，将板式PECVD设备中的第八根特气管道换为本技术的特气管道后可以通过功率和占空比来补偿，从而实现了可以单独调节；对膜厚极差大的3问题有很好的改善效果。附图说明图1为现有技术中SiH4特气管道的结构示意图；图2为现有技术中NH3特气管道的结构示意图；图3为本技术特气管道的结构示意图。图中1-第一横管，2-第二横管，3-第三横管，4-第一竖管，5-第二竖管，6-第三竖管，7-气孔。具体实施方式结合附图对本技术做进一步的说明实施例1(上镀膜)本实施例用于板式PECVD设备的特气管道，包括第一横管1、第二横管2和第三横管3，所述第二横管2的两端分别通过第一竖管4和第二竖管5与所述第一横管1两端之间的管体连通，所述第三横管3的一端通过第三竖管6与所述第二横管2两端之间的管体连通，在所述第一横管1管体上设置有22个所述气孔7，且相邻所述气孔7之间的间距相等。1.将板式PECVD设备中的第八根特气管道换为本实施例的特气管道前各参数设置以及镀膜控制情况表1将板式PECVD设备中的第八根特气管道换为本实施例的特气管道前参数设置第1-7根管I I第1-7根管II第8报管I I第8根管I占空占空占空左边功率右边功率左边功率右边功率占空比比比比(W)(W)(W)(W)33008/1833008/1733008/1733008/1833008/1833008/1733008/1733008/1833008/1833008/1733008/1733008/1833008/1833008/1733008/1733008/1833008/1833008/1733008/1733008/1833008/1833008/1733008/1733008/1833008/1833008/1733008/1733008/1833008/1833008/1733008/1733008/1833008/1833008/1733008/1733008/18表2将板式PECVD设备中的第八根特气管道换为本实施例的特气管道前镀膜控制情况权利要求1.用于板式PECVD设备的特气管道，包括第一横管(1)、第二横管( 和第三横管(3)， 所述第二横管O)的两端分别通过第一竖管(4)和第二竖管( 与所述第一横管(1)两端之间的管体连通，所述第三横管(3)的一端通过第三竖管(6)与所述第二横管( 两端之间的管体连通，其特征在于，在所述第一横管(1)临近所述第一竖管(4)的一端与所述第一竖管(4)之间的所述第一横管(1)管体上至少设置有4个气孔(7)，在所述第一横管(1)临近所述第二竖管( 的一端与所述第二竖管( 之间的所述第一横管(1)管体上也至少设置有4个所述气孔(7)，在所述第一竖管(4)与所述第二竖管( 之间的所述第一横管(1) 管体上设置有1 9个所述气孔(7)。2.根据权利要求1所述的用于板式PECVD设备的特气管道，其特征在于，在所述第一横管(1)管体上设置有22个所述气孔(7)，且相邻所述气孔(7)之间的间距相等。专利摘要本技术公开一种用于板式PECVD设备的特气管道，包括第一横管、第二横管和第三横管，所述第二横管的两端分别通过第一竖管和第二竖管与所述第一横管两端之间的管体连通，所述第三横管的一端通过第三竖管与所述第二横管两端之间的管体连通，在所述第一横管临近所述第一竖管的一端与所述第一竖管之间的所述第一横管管体上至少设置有4个气孔，在所述第一横管临近所述第二竖管的一端与所述第二竖管之间的所述第一横管管体上也至少设置有4个所述气孔，在所述第一竖管与所述第二竖管之间的所述第一横管管体上设置有1～9个所述气孔。本技术的特气管道用于板式PECVD设备可以通过功率和占空比来补偿，从而实现了可以单独调节，能够有效降低膜厚极差。文档编号C23C16/455GK202226916SQ20112021435公开日2012年5月23日 申请日期2011年6月23日 优先权日2011年6月23日专利技术者梅金丽 申请人:光为绿色新能源股份有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：梅金丽，
申请(专利权)人：光为绿色新能源股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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