电阻值控制系统技术方案

本发明专利技术涉及一种电阻值控制系统，其应用于一液体与一气体进行混合的过程中，该系统包括：一气体管路，其用以输送气体；一抗压装置，其一侧与该气体管路连接，该抗压装置具有透气性；以及一气液混合管路，其具有一开口，该开口与该抗压装置的另一侧连接，且能输入通过该抗压装置的气体，且该气液混合管路的一侧用以将液体输入到该气液混合管路中，使得该液体能与该气体在该气液混合管路中进行混合，之后从该气液混合管路的另一侧输出；其中该抗压装置的内部为多孔隙结构，使得该气体或该液体在通过时得以产生压降，从而能将适当压力的该气体入射至该气液混合管路中，因而可控制该混合后所得的气液的电阻值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电阻值控制系统，其可应用于半导体、液晶面板等电子产业的清洗作业，且能将适量的气体与液体进行混合，并能准确地控制静电所产生的影响，该电阻值控制系统为一十分精准有效的电阻值控制系统。
技术介绍
在半导体、液晶面板等电子产业中，利用二氧化碳气体(CO2)与未经处理的超纯水(电阻值系数通常≥16MΩ·cm)的混合，使得混合之后的混合液的电阻值系数控制在特定范围之内，以避免由于超纯水本身电阻值系数过高所产生的静电效应而造成的相关产品的破坏或粒体的吸附，从而提高相关产品的合格率。在实现上述技术的方法中，已有如下技术公开，例如日本专利实开昭57-86623号、特公平5-21841号、特开平7-60082号，其利用多孔空心纤维作为隔膜的方法或装置，来达到超纯水与二氧化碳作气液混合的目的，然而这些方法或装置会产生如下的问题，例如在流量发生变化时较难对电阻值系数进行控制；控制方法或装置过于复杂；超纯水渗漏；处理过的超纯水中的二氧化碳气体呈气泡出现、混合不均匀；用水流量超出一定范围，且在非稳定流状态时，电阻值系数会超出所需的范围内等。再如在中国台湾专利00458947号中，其通过支流的空心纤维透气薄膜系统混合出小量的二氧化碳饱和混合水，再与适量的超纯水混合来达到控制电阻值的目的。虽然其方法与装置在超纯水用量变化范围不大时，可以将电阻值控制在一定水准，但其在滴定完二氧化碳饱和混合水后，还需要相当长的管路系统来增加其混合效果，且其二氧化碳气体压力(0.15～1.5kgf/cm2·G)恒定小于超纯水压力(3.0～4.5kgf/cm2·G)，因此，气体加入水路的方式属于被动的设计。由于利用上述的超纯水管路系统作为气液混合系统属于自然混合，因此很难确保混合的效果，且在水流量波动变化超过某一特定范围后或是供水端产生非稳定流时，常发生电阻值超出设定范围很长一段时间的现象。这样，将产生制程合格率极不稳定的现象。由于超纯水管路系统相关装置是设置在寸土寸金的无尘室内，为充分利用空间且考虑生产成本，目前此相关装置的下游设备已由单台增加为数台，并且还有连接数目愈来愈多的趋势，这样，所使用的超纯水流量的波动范围就会变得更加扩大；例如，下游设备可为湿洗清洗器，或切割、研磨设备等，其从最初的一对一，进而一对三，增加到目前业界的一对五的配置方式，这使得超纯水的水流量波动范围也从5～10公升/分钟变化至2～50公升/分钟；而超纯水的水流量波动范围愈大，其管路间的压差也随之增加。另一方面，目前业界对电阻值系数的控制范围的要求也从以前的0.1～2.0MΩ·cm提高至目前的0.1～1.0MΩ·cm，甚至是0.1～0.5MΩ·cm。由于每台清洗器或切割设备在每一瞬间的总和需求水流量不同，因此造成超纯水的水流量波动非常剧烈，例如当从低流量变化至高流量时，会因为二氧化碳气体量不足而使得电阻值通常会偏高很长一段时间，而当从高流量变化至低流量时，由于非稳定流时水压变化十分激烈，常会发生二氧化碳气体无法加入到超纯水管路中的现象，若在此时强行加大二氧化碳气体的压力或流量，则会发生二氧化碳气体过量、电阻值偏低、且处理后的超纯水水质过酸等问题。同时，当下游设备的用水量产生大幅变化时，超纯水管路内部的压力也会瞬间产生非常剧烈的变化，并且需要一定的时间才能达到稳定流，内部的水压方能回复至较稳定的状态。这种在超纯水管路间产生非稳定流状态的现象会影响超纯水中的电阻值系数，因而无法将其控制在上述的要求范围内，因而直接造成制程合格率的降低。因此，为能适应超纯水的流量的波动变化，以及能与适量的二氧化碳气体进行混合，目前仍需要十分精密、复杂、且昂贵的装置方能适应此水压的瞬间落差，以便实时将适量的二氧化碳气体打入到超纯水管路中，此外，其间还有控制系统本身的信号输出、输入时与相关装置所产生的时间差等无法克服的问题，即，在此短暂的信号反应时间中，仍会使电阻值系数无法控制在所需的特定范围内。因此，为了能快速适应大幅度的水流量波动变化，本专利技术采用将二氧化碳气体直接加入超纯水管路通路中，并提出了一种能与超纯水直接进行混合的快速而有效的方式。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术中存在的缺陷，提供一种电阻值控制系统。为此，根据本专利技术的电阻值控制系统包括有一气体管路，其用以输送气体；一抗压装置，其一侧与该气体管路连接，该抗压装置具有透气性；以及一气液混合管路，其具有一开口，该开口与该抗压装置的另一侧连接，能输入通过该抗压装置的气体，且该气液混合管路的一侧用以将液体输入到该气液混合管路中，以使得该液体能与该气体在该气液混合管路中进行混合，之后从该气液混合管路的另一侧输出；其中该抗压装置的内部为多孔隙结构，使得该气体或该液体在通过时得以产生压降，从而能将适当压力的该气体入射至该气液混合管路中，因此能控制该混合后所得气液的电阻值。附图说明通过参考下列附图及说明，可更加深入地了解本专利技术图1(a)为本专利技术第一实施例的电阻值控制系统的示意图。图1(b)为抗压装置的内部结构示意图。图1(c)为静态混合器的侧面、平面、单一或多个组件的示意图。图2为本专利技术第二实施例的电阻值控制系统的示意图。图3为本专利技术第三实施例的电阻值控制系统的示意图。其中，附图标记说明如下电阻值控制系统100、200、300 导流装置10、20超纯水管路11 进口111、211、311出口112、212、312混合装置12静态混合器121开口13、23、33二氧化碳气体管路14、24、34 抗压装置15、25、35压力调节阀16 疏导装置27微化装置28 端盖291、292、391、392导流混合装置30 静态混合器模块32 压力计P1、P2 流量计F具体实施方式请参阅图1(a)，其为本专利技术第一实施例的一电阻值控制系统100的示意图。由此图所示，该电阻值控制系统100的构成为由一导流装置10与一超纯水管路11连通以连接成一种气液混合管路，且在该导流装置10的下游再连接一混合装置12。在该导流装置10的上游、且在该超纯水管路11上设有一进口111，从而可输入未处理的超纯水，而在该混合装置12的下游、且在该超纯水管路11上设有一出口112，以输出已处理的超纯水。在该导流装置10上设置有一开口13，用以作为二氧化碳气体的喷射入口，该开口13与一二氧化碳气体管路14相接，并在该开口13与该二氧化碳气体管路14之间设置有一抗压装置15，而该二氧化碳气体管路14的中间还设置有一压力调节阀16。另外，一压力计P1设置在该进口111与该导流装置10之间，一压力计P2设置在该开口13与该压力调节阀16之间，且一流量计F1设置在该混合装置12与该出口112之间。在此实施例中，所使用的未处理的超纯水是在23℃时电阻系数为18.3MΩ·cm的超纯水。且超纯水的流量在2～50公升/分钟的范围内波动，其波动的方式为维持流量1分钟后，再转换成另一流量；超纯水的供应压力为3.5～3.8kgf/cm2·G，而直接喷射到该开口13的二氧化碳气体的供应压力则为4.5～6.0kgf/cm2·G。在此实施例中，该导流装置10与该超纯水管路11采用连通连接的设计，未添加二氧化碳气体的超纯水与该导流装置10一侧的开口直接相通，该导流装置10的另一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电阻值控制系统，其应用于一液体与一气体进行混合的过程中，该电阻值控制系统包括有：一气体管路，其用以输送该气体；一抗压装置，其一侧与该气体管路连接，该抗压装置具有透气性；以及一气液混合管路，其具有一开口，该开口与该 抗压装置的另一侧连接，能输入通过该抗压装置的该气体，且该气液混合管路的一侧用以将液体输入到该气液混合管路中，以使得该液体能与该气体在该气液混合管路中进行混合，之后从该气液混合管路的另一侧进行输出；其中，该抗压装置的内部为多孔隙结构， 使得该气体或该液体在通过时得以产生压降，而能将适当压力的该气体入射至该气液混合管路中，以控制混合后所得气液的电阻值。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈金圣，
申请(专利权)人：廖笠燊，叶熠玲，王晓佩，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]