整体导轨结构扫描工作台制造技术

本实用新型专利技术提供一种整体导轨结构扫描工作台，包括机台，其中，一中溜板，固定在所述机台上，所述中溜板上设置有第一向丝杠；第一向扫描台，位于所述中溜板上方，所述第一向扫描台底部螺纹连接所述第一向丝杠，所述第一向扫描台上表面设置有一第二向丝杠，所述第二向丝杠与所述第一向丝杠垂直；第一向电机，固定在所述中溜板边缘对应所述第一向丝杠的位置，所述第一向电机的轴端连接所述第一向丝杠；第二向扫描台，位于所述第一向扫描台上方，所述第二向扫描台底部螺纹连接所述第二向丝杠；第二向电机，固定在所述第一向扫描台边缘对应所述第二向丝杠的位置，所述第二向电机的轴端连接所述第二向丝杠。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及扫描平台，尤其涉及整体导轨结构扫描工作台。
技术介绍
在半导体集成电路制造行业，特别设计LED生产和太阳能电池芯片的生产过程中，对基片的平整度，翘曲度这些指标有很高的要求，因此经常需要检测基片的平整度与厚度。由于基片检测环境的要求，对扫描工作平台也就提出了严格的要求，不仅要保证基片处于无污染工作状态，还需要基片能够在二维上任意调节位置，对于检测位移的准确度要求较高，而这是人工所无法代替的。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种可以用于基片扫描的平台，通过设置可以在两个垂直方向上移动的扫描台，实现基片在二维平面上的移动，以准确定位基片的位置。本技术提供一种整体导轨结构扫描工作台，包括机台，其中中溜板，固定在所述机台上，所述中溜板上设置有第一向丝杠；第一向扫描台，位于所述中溜板上方，所述第一向扫描台底部螺纹连接所述第一向丝杠，所述第一向扫描台上表面设置有一第二向丝杠，所述第二向丝杠与所述第一向丝杠垂直；第一向电机，固定在所述中溜板边缘对应所述第一向丝杠的位置，所述第一向电机的轴端连接所述第一向丝杠；第二向扫描台，位于所述第一向扫描台上方，所述第二向扫描台底部螺纹连接所述第二向丝杠；第二向电机，固定在所述第一向扫描台边缘对应所述第二向丝杠的位置，所述第二向电机的轴端连接所述第二向丝杠。上述的扫描工作台，其中，所述第二向扫描台上表面设置有竖直的接片柱。上述的扫描工作台，其中，所述机台为方形，所述机台的的第一向尺寸大于所述固定有第一向电机的中溜板的第一向尺寸。上述的扫描工作台，其中，所述机台的第二向尺寸大于所述固定有第二向电机的第一向扫描台的第二向尺寸。上述的扫描工作台，其中，所述接片柱的数量为三根。上述的扫描工作台，其中，所述第二向扫描台的面积尺寸小于所述第一向扫描台的面积尺寸。本技术通过两丝杠实现扫描台在二维平面上的移动，使得基片能够根据要求移动到目标位置，本技术的扫描台，移动速度快，具有结构简单制造成本低的优点。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术及其特征、外形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本技术的主旨。在附图中，为清楚明了，放大了部分部件。图1示出了根据本技术的，一种整体导轨结构扫描工作台的整体结构示意图。具体实施方式以下结合附图及具体实施方式对本技术进行进一步详细说明。此处所描述的具体实施方式仅用于解释本技术，并不用于限定本技术的保护范围。参考图1所示的一种整体导轨结构扫描工作台的整体结构示意图。所述整体导轨结构扫描工作台包括机台1 ；一中溜板11，固定在所述机台上1，所述中溜板上设置有第一向丝杠5 ；第一向扫描台12，位于所述中溜板11上方，所述第一向扫描台12底部螺纹连接所述第一向丝杠5，从而第一向扫描台12可沿第一向方向平移，所述第一向扫描台12上表面设置有一第二向丝杠3，所述第二向丝杠3与所述第一向丝杠5垂直；第一向电机4，固定在所述中溜板11边缘对应所述第一向丝杠5的位置，所述第一向电机4的轴端连接所述第一向丝杠5，所述第一向扫描台12在第一向方向上的平移由第一向电机4驱动；第二向扫描台22，位于所述第一向扫描台12上方，所述第二向扫描台22底部螺纹连接所述第二向丝杠3 ；第二向电机2，固定在所述第一向扫描台12边缘对应所述第二向丝杠3的位置，所述第二向电机2的轴端连接所述第二向丝杠3，所述第二向扫描台22在第二向方向上的平移由第二向电机2驱动。在一个优选例中，所述第二向扫描台22上表面设置有竖直的接片柱6。如图1所示，接片柱6上放置有基片7。在一个具体实施例中，所述机台1为大理石。如图1所示的扫描工作台的二维平面俯视图，上述的第一向可以根据需要设置， 第二向只需要在水平面上保持和第一向垂直即可。在一个优选例中，为方便计算基片7 的移动坐标，可以将第一向定义为Y向，第二向定义为X向，此时，基片7的位置就可以用 (X，Y)来表示，方便定位。在又一个优选例中，所述机台1为方形，所述机台1的的第一向尺寸大于所述固定有第一向电机4的中溜板11的第一向尺寸，这样的设计使得中溜板11在第一向上比机台1窄。进一步地，所述机台1的第二向尺寸大于所述固定有第二向电机2的第一向扫描台12的第二向尺寸，这样的设计使得中溜板11在第二向上比机台1窄，这样，就可以在机台1上罩一个透明的防护罩，盖住所述机台1上的各个零部件，这样，基片7就可以在一个与外界隔离的状态下被扫描，防止了发生污染的可能性。在又一个优选例，所述接片柱6的数量为三根。本领域技术人员理解，接片柱6的数量也可以大于三根，从节省成本的角度看，设置三根接片柱6就可以达到基片7放置的目的。更进一步地，所述第二向扫描台的面积尺寸小于所述第一向扫描台的面积尺寸， 这样的设计便于后期维护设备。本领域技术人员应该理解，本领域技术人员结合现有技术以及上述实施例可以实现所述变化例，在此不予赘述。这样的变化例并不影响本技术的实质内容，在此不予赘述。以上对本技术的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本技术并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和
技术实现思路
对本技术技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本技术的实质内容。因此，凡是未脱离本技术技术方案的内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本技术技术方案保护的范围内。权利要求1.一种整体导轨结构扫描工作台，包括机台，其特征在于中溜板，固定在所述机台上，所述中溜板上设置有第一向丝杠；第一向扫描台，位于所述中溜板上方，所述第一向扫描台底部螺纹连接所述第一向丝杠，所述第一向扫描台上表面设置有一第二向丝杠，所述第二向丝杠与所述第一向丝杠垂直；第一向电机，固定在所述中溜板边缘对应所述第一向丝杠的位置，所述第一向电机的轴端连接所述第一向丝杠；第二向扫描台，位于所述第一向扫描台上方，所述第二向扫描台底部螺纹连接所述第二向丝杠；第二向电机，固定在所述第一向扫描台边缘对应所述第二向丝杠的位置，所述第二向电机的轴端连接所述第二向丝杠。2.根据权利要求1所述的扫描工作台，其特征在于，所述第二向扫描台上表面设置有竖直的接片柱。3.根据权利要求1或2所述的扫描工作台，其特征在于，所述机台为方形，所述机台的的第一向尺寸大于所述固定有第一向电机的中溜板的第一向尺寸。4.根据权利要求3所述的扫描工作台，其特征在于，所述机台的第二向尺寸大于所述固定有第二向电机的第一向扫描台的第二向尺寸。5.根据权利要求2所述的扫描工作台，其特征在于，所述接片柱的数量为三根。6.根据权利要求4或5所述的扫描工作台，其特征在于，所述第二向扫描台的面积尺寸小于所述第一向扫描台的面积尺寸。专利摘要本技术提供一种整体导轨结构扫描工作台，包括机台，其中，一中溜板，固定在所述机台上，所述中溜板上设置有第一向丝杠；第一向扫描台，位于所述中溜板上方，所述第一向扫描台底部螺纹连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李正贤，丁天祥，
申请(专利权)人：上海卓晶半导体科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：