本发明专利技术公开了一种门的安全开关装置，包括固定在所述门上的门锁主体，以及固定在与门配合的腔壁上并与所述门锁主体的活动锁扣部配合的锁块，安全开关装置还包括：具有活动部的锁定单元、驱动所述锁定单元的活动部运动的驱动单元、以及向所述驱动单元发送控制指令的控制模块，所述活动部在运动路径上具有限制所述活动锁扣部运动的锁定工作位置。本发明专利技术提供的门安全开关装置可以避免加工设备在工作过程中门被不小心打开时，造成人身安全问题或产品工艺质量降低并造成的巨大经济损失现象的发生。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及门的安全开关
，尤其涉及一种门的安全开关装置。
技术介绍
在半导体工艺设备进行半导体加工的过程中，对生产所处的微环境有特殊的要求，例如需要微环境具有较高的洁净度和较低的含氧量等，以保证生产出的硅晶片质量以及人身安全。因此对位于半导体工艺设备上、用于隔绝微环境与外界环境之间的门的打开与关闭进行控制是非常有必要的。在本领域中，传统微环境门的打开与关闭控制应用最多的是只安装门锁，并且该门锁在门的外侧手动可打开。采用这样的方法，不能保证门的开关绝对安全，例如若半导体工艺设备的微环境中正在进行加工工艺过程，开门后会导致整个工艺过程中断，会对产品工艺质量造成不良影响以及发生人身生命危险。
技术实现思路
(一 )要解决的技术问题本专利技术要解决的技术问题是提供一种门的安全开关装置，以避免加工设备在工作过程中设备腔室的门被不小心打开时，造成人身生命危险以及使得产品工艺质量降低并造成的巨大经济损失现象的发生。( 二 )技术方案为解决上述问题，本专利技术提供一种门的安全开关装置，包括固定在所述门上的门锁主体，以及固定在与门配合的腔壁上的锁块，所述门锁主体设有与所述锁块配合锁扣的活动锁扣部，安全开关装置还包括具有活动部的锁定单元、驱动所述锁定单元的活动部运动的驱动单元、以及向所述驱动单元发送控制指令的控制模块，所述活动部在运动路径上具有限制所述活动锁扣部运动的锁定工作位置。优选地，所述控制模块包括用于人工输入控制指令的人机交互单元。优选地，所述锁定单元为气缸组件，所述活动部包括所述气缸组件的活动气缸杆。优选地，所述活动部还包括与所述活动气缸杆固定的销钉。优选地，所述驱动装置包括与所述气缸组件的进气口通过气管连接的气源组件、 和设置在所述气管上的电磁阀。优选地，所述电磁阀与所述气源组件之间的气管上还设有调压阀。优选地，所述控制模块向所述电磁阀发送控制指令。优选地，所述活动锁扣部与所述门锁主体通过枢轴枢接，所述锁块上设有与所述活动锁扣部在锁闭位置配合的卡扣缺口。优选地，所述销钉的运动路径位于所述锁块的卡扣缺口一侧。(三)有益效果本专利技术通过控制模块发出控制命令来限制设备腔室的门(如微环境)的开关，避免加工设备在工作过程中设备腔室的门被不小心打开，保证了产品的工艺质量以及人身安全，并避免经济损失。附图说明图1为根据本专利技术实施例门的结构示意图；图2为根据本专利技术实施例安全开关装置的结构示意图；图3为根据本专利技术实施例安全开关装置图2中A-A方向的结构示意图；其中1 锁块；2 门锁主体；3 门；4 腔壁；5 气缸组件；6 气源组件；7 气管； 8 电磁阀；9 调压阀；10 密封件；11 卡扣缺口 ；21 活动锁扣部；22 枢轴；51 活动气缸杆；52 销钉；53 进气口。具体实施例方式下面结合附图及实施例对本专利技术进行详细说明如下。如图1至图3所示，本专利技术的安全开关装置可以被应用在任何合适的加工设备腔室的门上，本实施例中以半导体加工设备具有供加工半导体用的微环境腔为例对本专利技术进行详细说明。所述微环境腔壁上设有门开口，该门开口上设有隔绝微环境腔与外界环境的微环境门3，微环境门3的门边朝向与门配合的腔壁4的一侧设有密封件10。本实施例的门的安全开关装置，包括固定在所述微环境门3上的门锁主体2，以及固定在与门配合的微环境腔壁4上并与所述门锁主体2的活动锁扣部21配合的锁块1，本实施例中，所述活动锁扣部21为与所述门锁主体2通过枢轴22枢接的锁舌，所述锁块1上设有与所述锁舌在锁闭位置配合的卡扣缺口 11。通过旋转用于开关锁的钥匙或把手，使得锁舌绕所述枢轴22 转动在卡扣缺口 11或离开卡扣缺口 11，实现锁舌与锁块1的锁扣和解锁。安全开关装置还包括具有活动部的锁定单元、驱动所述锁定单元的活动部运动的驱动单元、以及向所述驱动单元发送控制指令的控制模块，所述活动部在运动路径上具有限制所述锁舌运动的锁定工作位置。所述控制模块包括用于人工输入控制指令的人机交互单元。当需要开关门时，人工通过所述人机交互单元，向所述控制模块的程序输入打开或关闭控制指令。所述锁定单元为气缸组件5，所述活动部包括所述气缸组件5的活动气缸杆51。所述活动部还包括与所述活动气缸杆51固定的销钉52。所述销钉52的运动路径位于所述锁块1的卡扣缺口 11 一侧。所述驱动装置包括与所述气缸组件5的进气口 53通过气管7连接的气源组件6、 和设置在所述气管7上的电磁阀8。所述电磁阀8与所述气源组件6之间的气管7上还设有调压阀9。所述控制模块向所述电磁阀8发送控制指令。人工通过控制模块向所述电磁阀8发送打开或关闭控制指令，控制电磁阀8的开闭，来控制气源组件6与气缸组件5之间气管7的畅通和关闭，进而使得气缸组件5的活动汽缸杆51带动所述销钉52做前后运动。当销钉52运动至锁定工作位置时，所述锁舌无法转动，门3的打开和关闭被禁止；当所述销钉52运动至离开所述锁定工作位置时，所述锁舌可以自由转动，实现门3的打开和关闭。具体的，上述微环境门的安全开关装置的使用过程为a)需要微环境门保持关闭时闭合所述微环境门并将所述门锁主体2的锁舌与所述锁块1锁扣配合；控制模块发送关闭控制指令到驱动单元；在本实施例中，操作者通过人机交互单元向所述电磁阀8发送指令；驱动单元收到所述关闭控制指令后驱动所述锁定单元的活动部运动；在本实施例中，电磁阀8收到关闭控制指令后关闭，使得气缸组件5的活动汽缸杆51带动销钉52伸出；所述锁定单元的活动部运动至锁定工作位置使得微环境门保持关闭；在本实施例中，销钉52伸出到卡扣缺口 11的一侧，限制锁舌的转动，使得微环境门保持关闭，在不输入新的指令时无法打开；b)需要打开微环境门时；控制模块发送打开控制指令到驱动单元；在本实施例中，操作者通过人机交互单元输入打开控制指令到电磁阀8 ；所述驱动单元收到所述打开控制指令后驱动所述锁定单元的活动部运动；在本实施例中，电磁阀8接收到所述打开控制指令后打开，使得气源组件6到气缸组件5之间的气管7畅通，进而使得活动汽缸杆51带动销钉51缩回；所述锁定单元的活动部运动至离开锁定工作位置；即销钉51缩回至离开锁定工作位置；解除所述门锁主体2的锁舌与所述锁块1之间的锁扣状态并打开所述微环境门， 本实施例中旋转锁舌使得锁舌离开所述卡扣缺口 11。本专利技术通过控制模块发出控制命令来限制微环境门的开关，避免加工设备在工作过程中微环境门被不小心打开，保证了产品的工艺质量以及人身安全，并避免经济损失。以上实施方式仅用于说明本专利技术，而并非对本专利技术的限制，有关
的普通技术人员，在不脱离本专利技术的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本专利技术的范畴，本专利技术的专利保护范围应由权利要求限定。权利要求1.一种门的安全开关装置，包括固定在所述门(3)上的门锁主体O)，以及固定在与门配合的腔壁(4)上的锁块(1)，所述门锁主体( 设有与所述锁块(1)配合锁扣的活动锁扣部(21)，其特征在于，安全开关装置还包括具有活动部的锁定单元、驱动所述锁定单元的活动部运动的驱动单元、以及向所述驱动单元发送控制指令的控制模块，所述活动部在运动路径上具有限制所述活动锁扣部运动的锁定工作位置。2.如权利要求1所述的安全开关装置，其特征在于，所述控制本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王丽荣，董金卫，白鹏，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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