【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种三瓣坩埚。
技术介绍
目前,在单晶直拉的生产过程中,单晶炉内具有的三瓣坩埚在高温下经常会裂开后变形,碰破内侧石英埚,产生漏硅,或是碰到外部的加热器后使之短路,影响了安全生产。
技术实现思路
本技术的目的是提供在裂开情况下保持不变形的一种三瓣坩埚。本技术采取的技术方案是一种三瓣坩埚,包括三瓣的埚体,其特征在于每瓣的埚体通过位于埚体的外部的连接件连接紧固在一起;或是通过位于埚体的内部且不能突出埚体的内圆周部的连接件连接紧固在一起。采用本技术,如果其中的某瓣埚体在高温下裂开,因与其它瓣的埚体连接紧固在一起,就不会发生变形,不会碰破内侧石英埚,或是碰到外部的加热器,能防止石英埚漏硅或是加热器短路现象发生。附图说明图1是本技术的连接件位于埚体外部的俯视示意图。图2是本技术的连接件位于埚体内部的俯视示意图。图中序号表示埚体1和连接件2。具体实施方式下面对本技术作进一步说明。参照图1,该三瓣坩埚包括三瓣的埚体1,每瓣的埚体1通过位于埚体1外部的连接件2连接紧固在一起。参照图2,该三瓣坩埚包括三瓣的埚体1,每瓣的埚体1通过位于埚体1的内部的连接件2连接紧固在一起,且连接件2不能突出埚体1的内圆周部。使用时,如果某瓣的埚体1在高温下裂开,因与其它瓣的埚体1连接紧固在一起, 就不会发生变形,不会碰破内侧石英埚或是碰到外部的加热器,能防止石英埚漏硅或是加热器短路现象发生。权利要求1. 一种三瓣坩埚,包括三瓣的埚体,其特征在于每瓣的埚体通过位于埚体的外部的连接件连接紧固在一起;或是通过位于埚体的内部且不能突出埚体的内圆周部的连接件连接紧固在一起。专利摘要本技术涉及一 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:方中期,黄傲,汪国锋,
申请(专利权)人:开化县同欣硅业有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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