一种湿度调节系统，适用于无尘室中。此湿度调节系统包括外气空调装置、多个喷雾装置以及多个温度/湿度感测器。外气空调装置包括入风单元、送风单元以及温度调节单元。流入外气空调装置的外界气体会依序通过入风单元、温度调节单元以及送风单元，再供应至无尘室的各主机台工作区内。喷雾装置配置于无尘室的外围区而邻近各主机台工作区的气体出口通道，用以提供水雾，以对自主机台工作区流向外围区的气体进行降温及加湿。温度/湿度感测器则是设置于外围区，用以感测自喷雾装置加湿后供应主机台工作区流出的气体的温度/湿度状态。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种湿度调节系统，特别是一种适用于无尘室中的湿度调节系统。
技术介绍
在高科技产业中，由于对产品的精密程度要求极高，因此必须在无尘、无污染且恒温恒湿的无尘室环境中进行产品制造及加工等作业，以确保产品的品质。图1为现有技术的一种无尘室的温湿度调节系统的配置示意图。请参照图1，现有技术的无尘室100是利用外气空调装置102来控制进入无尘室100内的气体的温度及湿度。详细来说，外气空调装置102具有入风单元101以及出风单元103，并包括滤网110、温度调节单元120、加湿单元130、温度调节单元140、送风单元150以及滤网160。当外界气体由入风单元101进入外气空调装置102内后，会先经由滤网110初步过滤杂质，并通过温度调节单元120将通过过滤单元110的气体预冷却或预加热，再利用加湿单元130所喷洒出的水雾提高气体的湿度。由于在加湿过程中气体的温度会微幅降低，因此在进行加湿后需再通过温度调节单元140对气体进行加热，以使气体达到目标温度，然后再通过送风单元150将此气体g往出风单元103送，使气体g在通过滤网160后，可经由出风单元103输送至无尘室100内。由上述可知，现有技术需利用外气空调装置102对欲输送无尘室内的气体进行二次加热，以使气体达预定的温度及湿度。然而，此种做法的耗能需求量大，不但增加工艺成本，亦难以符合现今节能环保的趋势。而且，无尘室100内各个不同主机台工作区104的环境温度及湿度均是通过外气空调装置102来控制，并无法针对具有特殊需求的主机台工作区104进行特定的温/湿度调整。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种湿度调节系统，以节省维护无尘室的耗能费用，并提高其使用弹性。为了实现上述目的，本专利技术提供了一种湿度调节系统，适用于无尘室中，此无尘室包括多个主机台工作区与大体环绕这些主机台工作区的外围区。各主机台工作区分别通过其气体入口与气体出口通道连通至外围区。此湿度调节系统包括外气空调装置、多个喷雾装置以及多个第一温度/湿度感测器，其中外气空调装置包括入风单元、送风单元以及温度调节单元。温度调节单元是配置于入风单元与送风单元之间而与其相邻。流入外气空调装置的外界气体是依序通过入风单元、温度调节单元以及送风单元，以通过送风单元将其供应至各主机台工作区内。喷雾装置配置于无尘室的外围区而邻近各主机台工作区的气体出口通道，用以提供水雾，以对自主机台工作区流向外围区的气体进行降温及加湿。这些第一温度/湿度感测器则是分别设置于外围区且邻近气体入口。上述的湿度调节系统还包括多个冷却装置，配置于外围区而相对喷雾装置邻近各主机台工作区的气体出口通道，用以降温自主机台工作区流向外围区的气体。上述的湿度调节系统，外气空调装置配置于无尘室外，并通过气体通道连接至外 围区。上述的湿度调节系统，外气空调装置配置于外围区内。上述的湿度调节系统，还包括多个第二温/湿度感测器，分别设置于无尘室的各 主机台工作区内且邻近各气体入口。上述的湿度调节系统，喷雾装置的工作压力介于7bar至IOObar。上述的湿度调节系统，水雾的颗粒粒径介于40微米至50微米。上述的湿度调节系统，送风单元包括风车及滤网，其中上述外界气体在通过送风 单元时，依序通过风车与滤网。上述湿度调节系统，这些第一温度/湿度感测器分别设置于外界气体通过送风单 元后且未进入主机台工作区之前的路径上。上述的湿度调节系统，入风单元包括至少一个滤网。本专利技术的技术效果在于本专利技术是在无尘室的外围区内设置喷雾装置，以对机台 在工作中所产生的高温气体进行等焓加湿，因而无须耗费额外的能量来对气体进行加湿前 的加热。而且由于各个主机台工作区旁的回风道均有配置对应的喷雾装置及温度/湿度感 测器，因此可针对各主机台工作区的环境需求来调整自回风道流入主机台工作区的气体的 湿度，进而提升无尘室内的工艺弹性。以下结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述，但不作为对本专利技术的限定。 附图说明图1为现有技术一种无尘室的温湿度调节系统的配置示意图；图2为本专利技术一实施例的一种湿度调节系统的配置示意图；图3为本专利技术另一实施例的一种湿度调节系统的配置示意图。其中，附图标记100、300 无尘室102、250外气空调装置150、255 送风单元110、160、251、256 滤网130加湿单元210喷雾装置230第一温/湿度感测器254风车314气体出口通道322回风道324过滤室402气体通道101、251 入风单元103出风单元104、310 主机台工作区120、140、253 温度调节单元200湿度调节系统220冷却装置240第二温/湿度感测器312气体入口320外围区323风车滤网组326回风收集室A、g、O气体I外界气体具体实施例方式下面结合附图对本专利技术的结构原理和工作原理作具体的描述图2是本专利技术一实施例的一种湿度调节系统的配置示意图。请参照图2，湿度调节系统200适用于无尘室300中，且无尘室300包括多个主机台工作区310与外围区320，其中外围区320环绕这些主机台工作区310，而各主机台工作区310分别具有风车滤网组323 所供应无尘室300的气体入口 312与气体出口通道314，并通过气体入口 312与气体出口通道314连通至外围区320。具体来说，主机台工作区310为工艺机台所放置的区域，相关人员也是在主机台工作区310内操作机台以进行工作。外围区320则是包括回风道322、过滤室324以及回风收集室326。过滤室3 位于主机台工作区310上方，并通过气体入口 312连通至主机台工作区310。过滤室324内可设有多个风车滤网组323，其中各风车滤网组323分别对应至一个气体入口 312，用以过滤外界气体I并将其引入主机台工作区310内。承上述，回风收集室3 位于主机台工作区310下方，并通过气体出口通道314连通至主机台工作区310，气体出口通道314举例可为一个或多个，在此并不局限。回风道322 则位在主机台工作区310的侧边，并连通于过滤室3M与回风收集室3 之间。据此，在主机台工作区310内的气体A可将污染物从气体出口通道314携带至回风收集室326，再经由回风道322回流至过滤室324，以通过风车滤网组323将污染物滤除，进而维持主机台工作区310内的洁净度。湿度调节系统200包括喷雾装置210、第一温/湿度感测器230以及外气空调装置 250，其中外气空调装置250包括入风单元251、温度调节单元253以及送风单元255。在本实施例中，外气空调装置250是配置于无尘室300的外围区320的过滤室324内。在另一实施例中，如图3所示，外气空调装置250也可以配置于无尘室300外，并通过气体通道402连通至外围区320的过滤室324。请参照图2及图3，温度调节单元253是与入风单元251及送风单元255相邻并位于两者之间，因此当外界气体I经由入风单元251进入后，外气空调装置250是先通过温度调节单元253将外界气体I的温度调整至与无尘室300中所需的环境温度相同或相近，之后再通过送风单元255将具有适当温度的外界气体I送至无尘室300内，以使其经由气体入口 312流入各主机台工作区310内。具体来说，本实施例的入风单元251例如本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭育廷，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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