真空传输制程设备及方法技术

本发明专利技术公开了一种真空传输制程设备及方法，该真空传输制程设备包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有至少一加工装置，所述加工装置具有一加工区域；该真空制程腔的两端分别设有一个或两个进出件腔；每个进出件腔均对应有一传输平台，各传输平台的移动平面相同，并且分别相应于该真空制程腔两端的进出件腔的传输平台交替动作；各进出件腔与该真空制程腔的相对位置使得：各传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔以及从该真空制程腔移回相应进出件腔的移动方向与各传输平台在该真空制程腔中的移动方向垂直。本发明专利技术能够实现极高的生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空制程技术，特别是涉及一种真空传输制程设备以及相应的真空传输制程方法。
技术介绍
新能源是二十一世纪世界经济发展中最具决定力的五大
之一，太阳能便是一种清洁、高效、永不衰竭的新能源。在新世纪中，各国政府都将太阳能资源利用作为国家可持续发展战略的重要内容，光伏发电具有安全可靠、无噪声、无污染、制约少、故障率低、维护简便等诸多优点。近几年来，国际光伏发电产业迅猛发展，太阳能晶片供不应求，于是提高太阳能晶片的光电转化效率和太阳能晶片的生产能力已经成为一个重要的课题。由于太阳能晶片的许多制程都需要在真空条件下完成，所以如何减少太阳能晶片进出真空的时间，以及有效利用太阳能晶片在真空中的制程时间对提高太阳能晶片制造设备的生产效率而言至关重要。现有的许多太阳能晶片制造方法都具有较高的生产效率，例如美国专利20080038908所提到的方法，但是基于该方法的设计原理，其生产效率仍然会受到一些天然的限制，诸如，当不同批次的工件进出真空环境时，或是在真空环境中从已加工工件切换至下批次待加工工件时，对工件的加工制程都不得不发生中断，在该中断时间段内，整个设备完全处于无效运行状态，即浪费了加工资源，又浪费了加工时间。由此可以看出，该专利所公开的该生产设备自然不可能实现最佳的生产效率。而除了该专利所公开的该设备及方法以外，在现有的各种其它真空制程方法中也未见能够获得最佳生产效率的模式。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是为了克服现有技术中的真空制程方法生产效率较低的缺陷，提供一种生产效率极高并且加工质量较高、设备结构较为紧凑、机械设计难度较低、设备运行可靠性较高的真空传输制程设备以及相应的真空传输制程方法。本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的一种真空传输制程设备，其包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有至少一加工装置，所述加工装置具有一加工区域并用于对通过该加工区域的工件进行加工，其特点在于，该真空制程腔的两端分别设有一个或两个进出件腔，该些进出件腔可以在大气状态与真空状态之间切换，每个进出件腔均通过真空阀门与该真空制程腔相连并通过真空阀门隔断大气环境；每个进出件腔均对应有一传输平台，各传输平台的移动平面相同，并且分别相应于该真空制程腔两端的进出件腔的传输平台交替动作，每个传输平台均用于在相应进出件腔中装载工件，然后移入该真空制程腔，然后初次移动通过该加工区域完成对全部工件的半加工，然后反向再次移动通过该加工区域完成对全部工件的完全加工，然后移回相应进出件腔卸载工件；各进出件腔与该真空制程腔的相对位置使得各传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔以及从该真空制程腔移回相应进出件腔的移动方向与各传输平台在该真空制程腔中的移动方向垂直。较佳地，该真空制程腔两端分别设有一个所述的进出件腔。较佳地，在各传输平台初次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上一侧工件的完全加工，在各传输平台反向再次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上另一侧工件的完全加工。较佳地，在各传输平台初次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上全部工件的初步加工，在各传输平台反向再次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上全部工件的完全加工。较佳地，各传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔以及从该真空制程腔移回相应进出件腔的移动速度大于该传输平台在该真空制程腔中的移动速度。较佳地，所述工件为太阳能晶片，所述加工装置为离子束加工装置、等离子体加工装置、热处理装置或退火装置。本专利技术的另一技术方案为一种利用上述真空传输制程设备实现的真空传输制程方法，其特点在于，在该方法中，分别相应于该真空制程腔两端的进出件腔的传输平台交替动作，各传输平台的动作为在相应进出件腔中装载工件，然后移入该真空制程腔，然后初次移动通过该加工区域完成对全部工件的半加工，然后反向再次移动通过该加工区域完成对全部工件的完全加工，然后移回相应进出件腔卸载工件；在前一个传输平台从该真空制程腔移回相应进出件腔的同时，后一个传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔；在一个传输平台在该真空制程腔中移动的同时，其余所有进出件腔均处于充气至大气状态、取出已加工工件、放入待加工工件、抽气至真空状态的过程中或是过程结束后的等待状态。较佳地，每当一个移动于该真空制程腔中的传输平台上的全部工件完成完全加工时，其余所有进出件腔中总有至少一个已经处于充气至大气状态、取出已加工工件、放入待加工工件、抽气至真空状态的过程结束后的等待状态。较佳地，在各传输平台初次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上一侧工件的完全加工，在各传输平台反向再次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上另一侧工件的完全加工。较佳地，在各传输平台初次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上全部工件的初步加工，在各传输平台反向再次移动通过该加工区域的过程中，所述加工装置依次完成对该传输平台上全部工件的完全加工。较佳地，各传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔以及从该真空制程腔移回相应进出件腔的移动速度大于该传输平台在该真空制程腔中的移动速度。本专利技术的积极进步效果在于在本专利技术的该中，分别相应于真空制程腔两端的进出件腔的传输平台交替动作，较佳地相继动作的前后两个传输平台上的工件的加工制程相互连贯衔接，从而能够实现极高的生产效率。另外，在本专利技术中各传输平台的移动平面相同，这也就意味着各传输平台上的全部工件均将在同一个平面上接受加工装置的加工，由此将消除因各工件在不同的平面上接受加工而导致的不同工件之间加工强度不同以及加工均勻性较差的问题，从而获得较高的加工质量。另外，在本专利技术中对各进出件腔与真空制程腔的相对位置进行了改进设计，摈弃了以往传输平台在相应进出件腔与真空制程腔之间做路程较长的直线运动的移动模式，取而代之地使各传输平台从相应进出件腔移入真空制程腔以及从真空制程腔移回相应进出件腔的移动方向与该传输平台在真空制程腔中的移动方向相互垂直，由此使得整个设备的结构更加紧凑，占用空间更小。 另外，由于各传输平台无需再在相应进出件腔与真空制程腔之间做路程较长的直线往复运动，因此这也将使得整个设备的机械设计更加容易实现。进一步地，当进出件腔的设计数量多于两个时，便可以将各传输平台的移动速度设计得更慢，从而降低机械设计难度，并且使得机械设计方式更加灵活，此外，多于两个的进出件腔还将提高整个设备的运行可靠性和稳定性。附图说明图1为本专利技术的该真空传输制程设备的实施图2为本专利技术的该真空传输制程设备的实施图3为本专利技术的该真空传输制程设备的实施图4为本专利技术的该真空传输制程设备的实施图5为本专利技术的该真空传输制程设备的实施图6为本专利技术的该真空传输制程设备的实施图7为本专利技术的该真空传输制程设备的实施的侧视透视图。 的第一运行状态俯视图。 的第二运行状态俯视图。 的第三运行状态俯视图。 的第四运行状态俯视图。 的第五运行状态俯视图。 的俯视图。具体实施例方式下面结合附图给出本专利技术较佳实施例，以详细说明本专利技术的技术方案。参考图1、图2和图7，本专利技术的该真空传输制程设备首先包括有一真空制程腔1， 该真空制程本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈炯，钱锋，
申请(专利权)人：上海凯世通半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：