一种三棱镜双面镀膜夹具及其工艺方法技术

本发明专利技术涉及一种三棱镜双面镀膜夹具及其工艺方法。该镀膜夹具包括夹具基板和与其相配合的棱镜压板、锁紧螺丝三个部分组成。使用该夹具的镀膜工艺方法是将三棱镜研磨加工完品装入镀膜夹具后放入通用洗净栏框内进行超声波清洗，洗净后将零件连同夹具一同放入镀膜伞形架内；将伞形架在镀膜机内放置好后关门抽真空，待真空度到达3.0*E?3Pa～2.5*E?3Pa，温度到350-310℃后开始成膜，成膜后待真空室冷却至220-250℃后对真空室充气，真空室开门后取出零件放入超净工作台冷却；待零件冷却至室温后将零件从专用套环中取出用分光光度计进行光谱检查，二平面均达到图面设计值要求。该镀膜工艺方法具有二个加工面同时镀膜，做到零膜欠，提高作业效率，提高产量，改善生产品质，减少夹具的投入等特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种镀膜夹具及其工艺方法，尤其是。
技术介绍
光学三棱镜镀膜加工过程，通常采用的是每个面单独加工，即棱镜研磨加工完毕后将零件装入专用清洗栏框内进行超声波清洗，洗净后检查确认待加工面是否清洁并放入专用套环内，再放在镀膜机伞形架上等待镀膜，待镀膜机伞形架全部装满零件后将镀膜机真空室门打开，将伞架放在其固定架上。检查确认所有镜片均放平稳，并将镀膜材料放入镀膜机电子枪坩埚后关闭镀膜机真空室门，对真空室进行抽真空并加热，待真空室加热后进行蒸发成膜，成膜完毕后待真空室内温度降至一定值后对真空室充气。真空室开门后取出零件放入超净工作台冷却，待零件冷却至室温后将零件从专用套环中取出装入再次装入专用清洗栏框内进行二次清洗。清洗完毕后再次进行检查重复上述过程对第二面进行镀膜。可见由此工艺加工出的棱镜在其加工面的边缘不可避免地会出现无法蒸镀到的亮边。本专利技术就是解决这一问题，并将二次加工流程缩减为一次。
技术实现思路
本专利技术的目的是开发一种三棱镜双面镀膜夹具并提供使用其夹具的镀膜工艺方法。该镀膜工艺方法具有二个加工面同时镀膜，做到零膜欠，提高作业效率，提高产量，改善生产品质，减少夹具的投入等特点。本专利技术是通过下列技术方案来解决的该三棱镜双面镀膜夹具，包括夹具基板和与其相配合的棱镜压板、锁紧螺丝三个部分组成，。夹具基板上设有一个大方孔和螺丝孔， 方孔两端对称的设有平行排列的V型槽，棱镜压板设有通孔与夹具基板的螺丝孔对应配合，并通过锁紧螺丝将棱镜压板固定在夹具基板上。使用上述夹具的镀膜工艺方法，它依次包括下列步骤a将三棱镜研磨加工完品装入镀膜夹具后放入通用洗净栏框内进行超声波清洗， 洗净后将零件连同夹具，同放入镀膜伞形架内，此时必需将棱镜的棱线与伞形架的半径方向保持一致；b将伞形架在镀膜机内放置好后关门抽真空，待真空度到达2. 5*E 3 3.0 3Pa，温度到达340-350°C后开始成膜，由于是将二平面同时成膜，而平面又是相互垂直的， 因此在膜厚控制上相比单一平面要厚，其系数为原厚度的0. 5-0. 75倍；c成膜结束后待真空室冷却至250-220°C后对真空室充气，真空室开门后取出零件放入超净工作台冷却；d待零件冷却至室温后将零件从专用套环中取出用分光光度计进行光谱检查，二平面均达到图面设计值要求。附图说明图1为本专利技术实施例整体结构示意图。图2为本专利技术实施例棱镜放置示意图。具体实施例方式如图所示，本专利技术实施例主要由夹具基板1、棱镜压板2、锁紧螺丝3三个部分组成。在夹具基板1上按所加工的棱镜4规格要求设有一个大方孔，在方孔两端对称的设有三个平行的V型槽5，V型槽5与所加工的棱镜4相配合，在夹具基板1上还设计有4个螺丝孔分别与两块棱镜压板2上设有的两个通孔对应配合。使用时，将棱镜4的两个直角面朝向V型槽5，放入V型槽5内，再将2块棱镜压板 2放在棱镜4的两端的上方，棱镜压板2的两个通孔分别与夹具基板1上的螺丝孔对齐，再用四个锁紧螺丝3将两块棱镜压板2锁紧在夹具基板1上，完成组装。在进行镀膜生产时， 棱镜4的两个直角面同时朝向镀膜加工方向，一次即可完成两个直角面的镀膜加工。实施例1棱镜二直角面单层MgF2膜同时成膜将三棱镜研磨加工完品装入上述镀膜夹具后放入通用洗净栏框内进行超声波清洗，洗净后将零件连同夹具一同放入镀膜伞形架内，此时必需将棱镜的棱线与伞形架的半径方向保持一致，将伞形架在镀膜机内放置好后关门抽真空，待真空度到达3. 0*E 3Pa，温度到达340°C后开始成膜，由于是将二平面同时成膜，而二平面又是相互垂直的，因此在膜厚控制上相比单一平面要厚，其系数为原厚度的0. 7倍，成膜结束后待真空室冷却至230°C 以下后对真空室充气，真空室开门后取出零件放入超净工作台冷却，待零件冷却至室温后将零件从专用套环中取出用分光光度计进行光谱检查，二平面均达到图面设计值要求。实施例2将三棱镜研磨加工完品装入上述镀膜夹具后放入通用洗净栏框内进行超声波清洗，洗净后将零件连同夹具一同放入镀膜伞形架内，此时必需将棱镜的棱线与伞形架的半径方向保持一致，将伞形架在镀膜机内放置好后关门抽真空，待真空度到达2. 6*E 3Pa, 温度到达315°C后开始成膜，由于是将二平面同时成膜，而二平面又是相互垂直的，因此在膜厚控制上相比单一平面要厚，其系数为原厚度的0. 55倍，成膜结束后待真空室冷却至 210°C以下后对真空室充气，真空室开门后取出零件放入超净工作台冷却，待零件冷却至室温后将零件从专用套环中取出用分光光度计进行光谱检查，二平面均达到图面设计值要求。实施例3对于三棱镜双面多层镀膜结构是由二种镀膜材料交替镀膜面成，对于其中高折射率材料钛酸镧由于其成膜基体角度发生变化不但其成膜厚度发生0. 7倍系数变化且其生长晶格也发生变异，导致其折射率也发生变化，经过多次试验测量发现其光学折射率由平面时的2. 2(550nm)左右下降至2. 0左右，将这些参数测定后对各膜层厚度进行优化，计算出一个最优参数输入镀膜机，再按实施例1的工艺流程将零件放入镀膜机，待零件镀出后用分光光度计进行光谱测量可完全达到单面镀膜的分光效果，符合图面要求。权利要求1.一种三棱镜双面镀膜夹具，包括夹具基板和与其相配合的棱镜压板、锁紧螺丝三个部分组成，其特征在于夹具基板上设有一个大方孔和螺丝孔，方孔两端对称的设有平行排列的V型槽，棱镜压板设有通孔与夹具基板的螺丝孔对应配合，并通过锁紧螺丝将棱镜压板固定在夹具基板上。2.一种使用权利要求1所述夹具的镀膜工艺方法，其特征在于它依次包括下列步骤 a将三棱镜研磨加工完品装入镀膜夹具后放入通用洗净栏框内进行超声波清洗，洗净后将零件连同夹具一同放入镀膜伞形架内，此时必需将棱镜的棱线与伞形架的半径方向保持一致；b将伞形架在镀膜机内放置好后关门抽真空，待真空度到达2. 5*E 3 3.0*E 3Pa, 温度到达310-350°C后开始成膜，由于是将二平面同时成膜，而平面又是相互垂直的，因此在膜厚控制上相比单一平面要厚，其系数为原厚度的0. 5-0. 75倍；c成膜结束后待真空室冷却至250-220°C以下后对真空室充气，真空室开门后取出零件放入超净工作台冷却；d待零件冷却至室温后将零件从专用套环中取出用分光光度计进行光谱检查，二平面均达到图面设计值要求。全文摘要本专利技术涉及。该镀膜夹具包括夹具基板和与其相配合的棱镜压板、锁紧螺丝三个部分组成。使用该夹具的镀膜工艺方法是将三棱镜研磨加工完品装入镀膜夹具后放入通用洗净栏框内进行超声波清洗，洗净后将零件连同夹具一同放入镀膜伞形架内；将伞形架在镀膜机内放置好后关门抽真空，待真空度到达3.0*E 3Pa～2.5*E 3Pa，温度到350-310℃后开始成膜，成膜后待真空室冷却至220-250℃后对真空室充气，真空室开门后取出零件放入超净工作台冷却；待零件冷却至室温后将零件从专用套环中取出用分光光度计进行光谱检查，二平面均达到图面设计值要求。该镀膜工艺方法具有二个加工面同时镀膜，做到零膜欠，提高作业效率，提高产量，改善生产品质，减少夹具的投入等特点。文档编号C23C14/22GK102433534SQ20101050303公开日2012年5月2日 申请日期2010年9月29日 优先权日2010本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曹建宁，
申请(专利权)人：江西凤凰富士胶片光学有限公司，
类型：发明
国别省市：