【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池的生产设备，特别涉及一种内连接PECVD腔体。
技术介绍
PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)的不同腔体承担了不同的功能用途。从功能区分上主要分为进片室、工艺室(镀膜室)和出片室。其中工艺室的主要功能为镀膜， 可根据要求设计成各种不同的功能区域。现有技术PECVD腔体间的连接方式为采用外连接方式连接，即在各腔体的端部安装法兰，两个腔体连接时，在法兰口外侧使用螺丝固定，在法兰之间使用密封圈密封。这种连接方式外形不美观，要占用较大空间，并且设备的成本较尚ο
技术实现思路
本专利技术的目的，就是为了解决现有技术存在的上述问题，提供一种内连接PECVD 腔体。为了达到上述目的，本专利技术采用了以下技术方案一种内连接PECVD腔体，包括顺序相连的多个腔体，所述的顺序相连的多个腔体之间采用内连接方式连接，所述的内连接方式是，在腔体的连接端设置一个向内翻边的内连接环，两个腔体的内侧通过两个内连接环用螺栓连接，两个腔体的连接面之间用密封圈密封。本专利技术的内连接PECVD腔体具有以下的优点和特点1、简化了设计，无需额外的法兰连接，使得腔体间的连接更为简单，美观。2、节约了成本，在简化设计的同时也降低了设备的成本，与外连接相比，内连接在材料的消耗与加工的难度方面有所下降，减少了成本方面的支出。附图说明图1是本专利技术内连接PECVD腔体的连接方式结构示意图。 具体实施例方式图1为本专利技术的一个最佳实施例，本专利技术不限于本实施例。参见图1，本专利技术的内连接PECVD腔体，包括顺序相连的多个腔体，多个腔体之间采用内连接方式连接。内连接方式如图1...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1. 一种内连接PECVD腔体，包括顺序相连的多个腔体，其特征在于所述的顺序相连的多个腔体之间采用内连接方式连接，所述的内连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐健敏，夏世伟，
申请(专利权)人：上海太阳能科技有限公司，上海欣邦电气有限公司，
类型：发明
国别省市：
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