阵列测试装置和阵列测试方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种用于测试基板是否有缺陷的阵列测试装置。所述阵列测试装置包括：探针组件、摄像单元和测试模块。探针组件包括探针头和设置在探针头上的探针棒。在探针棒上形成有对准标记。摄像单元拍摄对准标记和在基板上形成的电极的图像。本发明专利技术通过参照摄像单元所拍摄的图像而为将探针引脚对准相应的电极的操作提供便利。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
我们信息社会的发展增强了对显示器的需求并且对显示器的需求多样化了。为了满足这些需求，近来已经研发出诸如液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)、电致发光显示器(ELD)、真空荧光显示器(VFD)等的各种平板显示器。因半导体技术的快速发展使LCD具备了增强的性能，并且其正在替代现有的阴极射线管(CRT)。由于LCD具有显示质量佳和尺寸小以及质量轻和功耗低的特点，因此已广泛地使用。因此，作为平板显示器中的一种的LCD不仅广泛应用于诸如便携式移动电话、 PDA (个人数字助理)和PMP (便携式多媒体播放器)等的小尺寸便携式设备，也应用于诸如接收广播信号并显示图像的TV(电视机)、计算机的显示器等等。IXD是这样的图像显示器其以向排列为矩阵形状的液晶单元逐个地提供基于图像信息的数据信号并以此来控制液晶单元的透光性的方式来显示预期图像。LCD包括液晶层，所述液晶层设置在形成多个像素图案的薄膜晶体管(下文中称作“TFT”)基板与形成彩色滤光层的彩色滤光片基板之间。液晶层基于所施加的电信号来决定是否允许光透过。在一种制造这样的IXD的方法中，在TFT基板上形成多个栅极线、多个数据线、多个像素电极和多个TFT。沿一个方向布置栅极线。沿垂直于栅极线的方向布置数据线。在由栅极线与数据线间的相交处限定的各个像素区上形成像素电极。TFT是由栅极线的信号来开关的，并且其将数据线的信号传输至对应的像素电极。此外，在彩色滤光片基板上形成黑色矩阵、RGB彩色滤光层和共用电极。黑色矩阵阻挡光穿过非像素区的区域。RGB彩色滤光层表现出颜色。共用电极用来实现图像。之后，将配向膜分别涂布至TFT基板和彩色滤光片基板。随后摩擦配向膜以便为将在TFT基板和彩色滤光片基板之间形成的液晶层中的液晶分子提供预倾角和排列方向。此后，通过将密封胶涂布至基板中的至少一个来形成密封胶图案，以保持基板间的间隙、防止液晶泄露、并密封基板间的间隙。随后，在基板之间形成液晶层，从而完成液晶面板。在上述过程中，测试TFT基板是否有缺陷的操作是通过例如检测栅极线或数据线的断线和打开、或者检测TFT基板上的电路是否有缺陷来实现的。阵列测试装置用于测试基板。阵列测试装置包括配备有调制器的测试模块以及配备有多个探针引脚的探针组件。在阵列测试装置中，探针引脚与布置在待测基板上的电极连接。在此状态下，通过向电极施加电信号而使调制器与基板之间形成电场。基板的缺陷是通过参照电场的幅度来确定的。之后，将测试模块移至基板的另一部分，并重复上述测试。通过反复地执行这些过程来测试基板的整个区域是否有缺陷。同时，根据基板的类型，布置在基板上的电极的位置和方向可以是多样化的。为了利用单个阵列测试装置来测试各种类型的基板，必须执行将探针引脚对准相应电极的操作，以使电极的位置和方向与那些探针引脚相对应。在现有技术中，当执行对准操作时，由于没有单独的用于检查探针引脚是否正确地对准了基板的电极从而使电极的位置和方向与那些探针引脚相对应的装置，因此工作人员必须用肉眼来检查每个探针引脚是否对准了相应的电极。因此，对准过程的效率降低了，并且工作人员可能易于感到疲劳。此外，由于根据工作人员的观察方向的不同而使探针引脚和电极的位置可能不准确，因此降低了对准操作的精确度和可靠性。
技术实现思路
因此，针对以上在现有技术中所产生的问题提出本专利技术，并且本专利技术的目的是提供一种阵列测试装置和一种能够为将探针引脚对准相应的电极的操作提供便利的阵列测试方法。为了实现以上目的，本专利技术在一个方面提供一种测试基板是否有缺陷的阵列测试装置，包括探针组件，其包括探针头和设置在探针头上的探针棒，探针棒具有在其上形成的对准标记；摄像单元，其拍摄对准标记和在基板上形成的电极的图像；以及测试模块，其测试基板是否有缺陷。此外，在探针棒上可以布置有多个探针引脚，而且对准标记可以包括探针引脚中的至少一个。替代地，在探针棒上可以布置有多个探针引脚，而且对准标记可以包括在探针棒的上表面上与探针引脚相对应的位置处形成的至少一个对准标记。作为进一步的替代，可以在探针棒的上表面上与邻近探针棒的各相对端部设置的两个探针引脚中的至少一个相对应的位置处形成对准标记。摄像单元可以包括设置在测试模块上方的光学摄像单元。替代地，摄像单元可以包括对准标记摄像单元，所述对准标记摄像单元拍摄在基板上形成的用于基板对准的对准标记的图像。阵列测试装置可以包括控制单元，所述控制单元自动地将对准标记对准在基板上形成的相应的电极。本专利技术的另一方面提供一种利用阵列测试装置的阵列测试方法，所述阵列测试装置包括探针组件，其具有探针头和设置在探针头上的探针棒，探针棒具有多个布置在探针棒上的探针引脚；和摄像单元，所述阵列测试方法包括(a)获得关于在基板上形成的电极的坐标的信息；(b)移动探针头从而使探针引脚接近电极；(c)拍摄在探针棒上形成的对准标记以及电极的图像；并且(d)参照图像而将对准标记设置到电极中相应的至少一个电极的坐标处，从而使探针弓I脚对准相应的电极。对准标记可以包括探针引脚中的至少一个，并且(d)设置对准标记可以包括将探针引脚中的至少一个设置到与探针引脚中的所述至少一个相对应的电极的坐标处。替代地，对准标记可以包括在探针棒的上表面上与从探针引脚中选择的探针引脚相对应的位置处形成的一个或多个对准标记，并且(d)设置对准标记可以包括将对准标记设置到与所选探针引脚相对应的电极的坐标处。作为进一步的替代，可以在探针棒的上表面上与邻近探针棒的各个相对端部设置的两个探针引脚中的至少一个相对应的位置处形成对准标记，并且(d)设置对准标记可以包括将对准标记设置到与邻近探针棒的各个相对端部设置的两个探针引脚中的至少一个相对应的电极的坐标处。本专利技术的另一方面提供一种利用阵列测试装置的阵列测试方法，所述阵列测试装置包括探针组件，其具有探针头和设置在探针头上的探针棒，探针棒具有多个布置在探针棒上的探针引脚；和摄像单元，所述阵列测试方法包括移动探针头从而使探针引脚接近在阵列基板上形成的电极；拍摄探针引脚和电极的图像；参照所拍摄的图像而使探针引脚邻近电极，从而使将探针引脚彼此连接的虚线与将电极彼此连接的虚线平行；以及通过移动探针棒而使连接探针引脚的虚线与连接电极的虚线相符并重叠，使得探针引脚对准相应的电极。在根据本专利技术的中，工作人员可以参照摄像单元所拍摄的图像而容易地执行将探针引脚对准相应电极的操作。因此，可以提高操作的效率。而且，减少了工作人员的疲劳程度。此外，由于将探针引脚对准相应的电极的操作是参照摄像单元所拍摄的图像来执行的，因此可以显著地提高操作的可靠性。附图说明结合附图，由以下对本专利技术的具体描述，可以更加清楚本专利技术前述的和其他的目的、特征、方面和优点，其中图1是根据本专利技术第一个实施例的阵列测试装置的立体图；图2是图1的阵列测试装置的探针组件的立体图；图3A至图3C是示出根据本专利技术第一个实施例的阵列测试装置的探针棒的实例的立体图；图4和图6是图示将图3的探针棒的探针引脚对准基板中各个电极的过程的立体图；图5和图7分别示出在图4和图6的状态下摄像单元所拍摄的图像；图8是根据本专利技术第二个实施例的阵列测试装置的探针棒的立体图；图9和图11是图示将图8的探针棒的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2010.08.05 KR 10-2010-00756911.一种测试基板是否有缺陷的阵列测试装置，包括探针组件，所述探针组件包括探针头和设置在所述探针头上的探针棒，所述探针棒具有在其上形成的对准标记；摄像单元，所述摄像单元拍摄所述对准标记和在基板上形成的电极的图像；和测试模块，所述测试模块测试所述基板是否有缺陷。2.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，在所述探针棒上布置有多个探针引脚， 并且所述对准标记包括所述探针引脚中的至少一个。3.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，在所述探针棒上布置有多个探针引脚， 并且所述对准标记包括在所述探针棒的上表面上与所述探针引脚相对应的位置处形成的至少一个对准标记。4.根据权利要求3所述的阵列测试装置，其中，在探针棒的上表面上与邻近所述探针棒的各个相对端部设置的两个探针引脚中的至少一个相对应的位置处形成有所述对准标记。5.根据权利要求1至4之一所述的阵列测试装置，其中，所述摄像单元包括设置在所述测试模块上方的光学摄像单元。6.根据权利要求1至4之一所述的阵列测试装置，其中，所述摄像单元包括对准标记摄像单元，所述对准标记摄像单元拍摄在所述基板上形成的用于所述基板的对准的对准标记的图像。7.根据权利要求1所述的阵列测试装置，还包括控制单元，所述控制单元自动将所述对准标记对准在所述基板上形成的相应的电极。8.一种利用阵列测试装置的阵列测试方法，所述阵列测试装置包括探针组件，所述探针组件具有探针头和设置在所述探针头上的探针棒，所述探针棒上布置有多个探针引脚；和摄像单元，所述阵列测试方法包括(a)获得关于在所述基板上形成的电极的坐标的信息；(b)移动所述探针...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘俊浩，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：发明
国别省市：