【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空获得设备
,特别是。
技术介绍
分子泵是一种真空泵,它是利用高速旋转的转子叶轮把动量传递给气体分子,使之获得定向速度,从而使气体被压缩、并被驱向至排气口、再被前级泵抽走。磁悬浮分子泵是一种采用磁轴承(又称主动磁悬浮轴承)作为分子泵转子支承的分子泵,它利用磁轴承将转子稳定地悬浮在空中,使转子在高速工作过程中与定子之间没有机械接触,具有无机械磨损、能耗低、允许转速高、噪声低、寿命长、无需润滑等优点,目前磁悬浮分子泵广泛地应用于高真空度、高洁净度真空环境的获得等领域中。磁悬浮分子泵的内部结构如图1所示,所述磁悬浮分子泵的转子包括转子轴7和与所述转子轴7固定连接的叶轮1。所述叶轮1固定安装在所述转子轴7的上部;所述转子轴7上依此间隔地套设有第一径向磁轴承6、电机8和第二径向磁轴承9等装置,上述装置共同构成了所述磁悬浮分子泵的转子轴系。在磁悬浮分子泵装配完成后,由于转子各零件加工精度差异等问题,会造成转子上存在不平衡质量(不平衡质量,是指位于转子特定半径处的质量,该质量与向心加速度的乘积等于不平衡离心力。),当不平衡质量远大于10毫克时,该不平衡质量将使转子的重心与轴心产生一个明显偏心矩,在转子旋转升速过程中,转子不平衡质量引起的离心惯性力会造成转子的横向机械振动(通常为径向振动),影响系统正常工作。另外,磁悬浮分子泵转子的正常工作速度处于超过转子刚性临界转速的高速区,上述不平衡质量还会导致转子转速无法直接升高到其工作转速,不能正常工作。其中,转子刚性临界转速是指转子转动频率与转子轴承系统的刚性共振频率相等时所对应的转速;而超过刚性临界转 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1. 一种磁悬浮分子泵动平衡方法,其特征在于包括①启动所述磁悬浮分子泵的电机(8)开始升速,开启磁悬浮分子泵控制器O)中的力控制不平衡振动控制模块,由所述磁悬浮分子泵控制器( 控制位移检测装置(18)采集所述磁悬浮分子泵转子的径向位移信号,检测所述转子的径向振幅,如果在所述力控制不平衡振动控制模块的控制下,所述转子上的不平衡质量使所述转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2,那么所述力控制不平衡振动控制模块能够抑制所述转子的同频振动,使转子转速超过其刚性临界转速,顺序执行步骤②;如果转子最大径向振幅超过保护间隙的1/2,则采用传统动平衡方法,首先进行低速动平衡,以保证在转子转速超过刚性临界转速过程中,转子径向振动始终不超过保护间隙的1/2 ;然后转子转速超过其刚性临界转速后,顺序执行步骤②。②所述电机(8)继续加速,由所述位移检测装置(18)检测所述转子的径向振动情况, 当所述转子的径向振动幅值超过预设非额定转速振动阈值时,停止所述电机(8)加速,使转子转速稳定在该转速= 0,1,2-)处;由所述磁悬浮分子泵控制器( 控制转速检测装置(19)检测此时的转速Qi ;判断转速Coi是否小于转子额定转速ωΕ,如果Coi小于 ω Ε则按顺序执行步骤③,否则执行步骤⑤;③在所述力控制不平衡振动控制模块的控制下,进行转子转速为非额定转速的动平衡操作,采用影响系数法进行动平衡,在所述转速Qi下进行动平衡的具体步骤如下3a)所述转子上预先设置有两个平衡面,所述转子达到Qi后,所述磁悬浮分子泵控制器( 根据此时所述转子的径向振幅和转速,调用动平衡模块,记录此时第一径向传感器和第二径向传感器测得的初始不平衡矢量Vtl ;3b)关闭磁悬浮分子泵电机,将所述转子转速降速到0,在第一平衡面上加上试重Hi1,然后按照上述过程重新启动磁悬浮分子泵达到转速Qi,记录此时第一径向传感器和第二径向传感器测得的不平衡矢量为V1 ;3c)再次将所述转子转速降到0,移除添加的试重叫,在第二平衡面上加上试重m2,然后按照上述过程重新启动磁悬浮分子泵达到转速Qi,记录此时第一径向传感器和第二径向传感器测得的不平衡矢量为\;ScDM1和M2为对应所述两个不平衡面的初始不平衡质量,根据影响系数法计算影响系数矩阵T,即V0 = TtM1 M2]τ V1 = TD^m1 M2]τ V2 = TtM1 M2+m2]T根据上述矩阵方程组获得影响系数矩阵T,代入第一个矩阵方程,获得初始不平衡质量矩阵[Ml Μ2]τ = Τ、。;3e)将所述转子转速降到0,在所述两个不平衡面上分别根据步骤3d)中计算所得的相应初始不平衡质量进行加重或去重的动平衡操作;3f)再次重新启动所述磁悬浮分子泵,当所述转子转速达到Qi时,检测转子的振动量是否小于预设非额定转速振动阈值,如果小于所述预设非额定转速振动阈值,则该转速下动平衡完成,进行下一步;否则,重复步骤3a)_3f)直至转子转速达到Oi时,检测到的转子的振动量小于预设非额定转速阈值,然后按顺序执行步骤④;④令i= i+Ι,重复步骤②;⑤在所述力控制不平衡振动控制模块的控制下,进行转子转速为额定转速动平衡操作,使转子转速从零升至ωΕ过程中,所述转子的径向振动幅值都小于预设非额定...
【专利技术属性】
技术研发人员:张剀,武涵,李奇志,张小章,邹蒙,
申请(专利权)人:北京中科科仪技术发展有限责任公司,清华大学,
类型:发明
国别省市:
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