石英舟和夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英舟，包括舟体，所述舟体侧壁对称的设有两个空心棒。本实用新型专利技术还公开了一种夹具，包括把手和与所述把手连接的夹持部，所述夹持部为与石英舟的两根空心棒相适配的两根实心棒，所述两根实心棒可以插入到所述两根空心棒内。通过将夹具的实心棒插入到石英舟的舟体侧壁对称的设置的空心棒内，可以将石英舟整个拿起，实现倒舟做片。相对于传统的石英舟用夹片的方式取出装载在石英舟内的芯片，使用这种石英舟以及与该石英舟配合的夹具，不需要通过夹片的方式取出石英舟内的芯片，降低了芯片被损坏的概率。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

石英舟和夹具
本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种石英舟以及与该石英舟配合使用的夹具。
技术介绍
传统的石英舟装载芯片后只能通过夹片的方式将芯片取出。而夹片容易引起碎片、缺角、崩边，同时芯片被夹过的部分会出现表面擦伤。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种不需要通过夹片的方式取出石英舟内芯片的石英舟，以及一种与该石英舟配合使用的夹具。一种石英舟，包括舟体，所述舟体侧壁对称的设有两个空心棒。优选的，所述空心棒内径为7mm，外径为15mm。一种夹具，包括把手和与所述把手连接的夹持部，所述夹持部为与上述石英舟的两根空心棒相适配的两根实心棒，所述两根实心棒可以插入到所述两根空心棒内。优选的，所述实心棒直径为7mm。通过将夹具的实心棒插入到石英舟的舟体侧壁对称的设置的空心棒内，可以将石英舟整个拿起，实现倒舟做片。相对于传统的石英舟用夹片的方式取出装载在石英舟内的芯片，使用这种石英舟以及与该石英舟配合的夹具，不需要通过夹片的方式取出石英舟内的芯片，降低了芯片被损坏的概率。附图说明图1为一实施方式的石英舟的截面示意图；图2为一实施方式的夹具的示意图。具体实施方式以下结合附图和实施例对石英舟和夹具做进一步的解释说明。如图1所示的一实施方式的石英舟100，包括舟体110以及两个空心棒120。两个空心棒120对称的设在舟体110的侧壁上。空心棒120内部中空，设有孔洞 130。本实施方式中，空心棒120内径为7mm，外径为15mm。如图2所示的一实施方式的夹具200，包括把手210和与把手连接的夹持部220。夹持部220为与两根空心棒120相适配的两根实心棒222，两根实心棒222可以插入到两根空心棒120内。本实施方式中，实心棒222直径为7mm。通过将夹具200的实心棒222插入到石英舟100的舟体110侧壁对称的设置的空心棒120内，可以将石英舟100整个拿起，实现倒舟做片。相对于传统的石英舟用夹片的方式取出装载在石英舟内的芯片，使用这种石英舟100以及夹具200，不需要通过夹片的方式取出石英舟内的芯片，降低了芯片被损坏的概率。 以上所述实施例仅表达了本技术的一种或几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本技术专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。权利要求1.一种石英舟，包括舟体，其特征在于，所述舟体侧壁对称的设有两个空心棒。2.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述空心棒内径为7mm，外径为15mm。3.一种夹具，其特征在于，包括把手和与所述把手连接的夹持部，所述夹持部为与如权利要求1所述石英舟的两根空心棒相适配的两根实心棒，所述两根实心棒可以插入到所述两根空心棒内。4.如权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述实心棒直径为7mm。专利摘要本技术公开了一种石英舟，包括舟体，所述舟体侧壁对称的设有两个空心棒。本技术还公开了一种夹具，包括把手和与所述把手连接的夹持部，所述夹持部为与石英舟的两根空心棒相适配的两根实心棒，所述两根实心棒可以插入到所述两根空心棒内。通过将夹具的实心棒插入到石英舟的舟体侧壁对称的设置的空心棒内，可以将石英舟整个拿起，实现倒舟做片。相对于传统的石英舟用夹片的方式取出装载在石英舟内的芯片，使用这种石英舟以及与该石英舟配合的夹具，不需要通过夹片的方式取出石英舟内的芯片，降低了芯片被损坏的概率。文档编号H01L21/673GK202205726SQ20112032168公开日2012年4月25日 申请日期2011年8月30日 优先权日2011年8月30日专利技术者佘余华, 刘波, 张朝坤 申请人:深圳深爱半导体股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘波，张朝坤，佘余华，
申请(专利权)人：深圳深爱半导体股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：