一种微细电铸层填充程度在线监测装置及监测方法制造方法及图纸

技术编号:7263678 阅读:246 留言:0更新日期:2012-04-14 13:25
本发明专利技术公开了一种微细电铸层填充程度在线监测装置,包括放置于电铸槽内阳极与阴极芯模之间的检测滚筒,检测滚筒连接监测电源的正极,电铸槽的阴极基板与电流表串联后连接监测电源的负极,通过检测滚筒所处位置的电流大小,在线判断阴极芯模相应位置处电铸层的填充程度,不需中止电铸过程就可以实时检测微细电铸的填充程度,提高了电铸效率与电铸质量,操作简便,经济实用,可以广泛应用于基于平面阴极芯模的微细电铸场合。?

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:明平美李松昭王全才王书卿李广商静瑜吕文星田二芳
申请(专利权)人:河南理工大学
类型:发明
国别省市:

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