一种太阳能硅片真空夹持吸盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种太阳能硅片真空夹持吸盘，包括吸盘、箱体座、电机、管路和电磁阀，在所述吸盘的中部设有曲面槽，电机输出端与吸盘的夹持端连接，电机为步进电机，在曲面槽的中心位置设有轴向盲孔，在吸盘的夹持端中部径向设有一水平倾斜的通孔，通孔与盲孔相互贯通，在通孔内装有真空发生器，真空发生器的真空口与盲孔连通，真空发生器的供气口与外部的压缩空气源相连通，真空发生器的排气口与外界空气连通。该太阳能硅片真空夹持吸盘的上述结构中，当太阳能硅片装于所述吸盘上后，真空发生器工作，吸入压缩空气，使得盲孔内成为真空，导致太阳能硅片牢固吸持于吸盘上，其底部转动的电机为步进电机，具有结构简单，且设备成本低等特点。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能硅片加工装置，具体涉及一种太阳能硅片真空夹持吸盘。
技术介绍
现有的太阳能硅片的真空夹持吸盘，见图1，其包括真空设备1、吸盘2、箱体应3、 中空轴电机4、旋转接头5、电磁阀6、紧定螺钉7、真空管道8，真空设备1产生真空，通常压力为-60 -lOOKPa，经由真空管道8输送至旋转接头5，电磁阀6在数控系统的控制下开启/关闭真空管道8的真空回路，旋转接头5连接在具有中空转轴的中空轴电机4转动轴的下端，紧定螺钉7将吸盘2固定在中空轴电机4转动轴的上端，半导体晶片9在真空作用下被牢固地吸附在吸盘2上，中空轴电机4带动半导体晶片9高速旋转。此结构中必须采用中空轴电机4作为电机，其设备成本高，且该结构复杂。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供了一种太阳能硅片真空夹持吸盘，其结构简单，且设备成本低。为实现上述目的，本技术的技术方案是提供了一种太阳能硅片真空夹持吸盘，包括吸盘、箱体座、电机、管路和电磁阀，在所述吸盘的中部设有曲面槽，所述电机输出端与所述吸盘的夹持端连接，其特征在于，所述电机为步进电机，在所述曲面槽的中心位置设有轴向盲孔，在所述吸盘的夹持端中部径向设有一水平倾斜的通孔，所述通孔与所述盲孔相互贯通，在所述通孔内装有真空发生器，所述真空发生器的真空口与所述盲孔连通，所述真空发生器的供气口与外部的压缩空气源相连通，所述真空发生器的排气口与外界空气连通。作为优选的技术方案，在所述箱体座上部装有接头，在所述箱体座内壁设有一环形槽，所述接头与所述环形槽连通。进行一步优选的技术方案，所述环形槽与所述真空发生器的供气口连通，所述压缩空气通过管路与所述接头连接。进行一步优选的技术方案，所述真空发生器的排气口连通所述箱体座、吸盘的夹持端所形成的空腔。本技术的优点和有益效果在于该太阳能硅片真空夹持吸盘的上述结构中， 当太阳能硅片装于所述吸盘上后，所述真空发生器工作，吸入压缩空气，使得所述盲孔内成为真空，导致太阳能硅片牢固吸持于所述吸盘上，空气然后再从所述真空发生器的排气口排出进入外界空气，此时底部转动的电机为步进电机，其结构简单，且设备成本低。附图说明图1为现有太阳能硅片真空夹持吸盘的主视图结构示意图；图2本技术太阳能硅片真空夹持吸盘主视图的结构示意图；图3为本技术太阳能硅片真空夹持吸盘的安装结构示意图。图中1、吸盘；2、箱体座；3、电机；4、管路；5、电磁阀；6、曲面槽；7、夹持端；8、盲孔；9、太阳能硅片；10、通孔；11、真空发生器；12、真空口 ；13、供气口 ；14、排气口 ；15、接头；16、环形槽；17、空腔。具体实施方式以下结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。如图2、图3所示，本技术是一种太阳能硅片真空夹持吸盘，包括吸盘1、箱体座2、电机3、管路4、电磁阀5，吸盘1的中部开有曲面槽6，电机3输出端连接吸盘1的夹持端7，电机3为步进电机，曲面槽6的中心位置开有轴向盲孔8，吸盘1的夹持端7中部的径向开有一水平倾斜通孔10，通孔10与盲孔8相贯通，通孔10内装有真空发生器11，真空发生器11的真空口 12连通盲孔8，真空发生器11的供气口 13连通外部的压缩空气相连通， 真空发生器11的排气口 14连通外界空气。箱体座2上部装有接头15，箱体座2内壁开有一环形槽16，接头15连通环形槽16，环形槽16连通真空发生器11的供气口 13，压缩空气通过管路4连接接头15，真空发生器11的排气口 14连通箱体座2、吸盘1的夹持端7所形成的空腔17。图中9为太阳能硅片。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。权利要求1.一种太阳能硅片真空夹持吸盘，包括吸盘、箱体座、电机、管路和电磁阀，在所述吸盘的中部设有曲面槽，所述电机输出端与所述吸盘的夹持端连接，其特征在于，所述电机为步进电机，在所述曲面槽的中心位置设有轴向盲孔，在所述吸盘的夹持端中部径向设有一水平倾斜的通孔，所述通孔与所述盲孔相互贯通，在所述通孔内装有真空发生器，所述真空发生器的真空口与所述盲孔连通，所述真空发生器的供气口与外部的压缩空气源相连通，所述真空发生器的排气口与外界空气连通。2.如权利要求1所述太阳能硅片真空夹持吸盘，其特征在于，在所述箱体座上部装有接头，在所述箱体座内壁设有一环形槽，所述接头与所述环形槽连通。3.如权利要求2所述太阳能硅片真空夹持吸盘，其特征在于，所述环形槽与所述真空发生器的供气口连通，所述压缩空气通过管路与所述接头连接。4.如权利要求3所述太阳能硅片真空夹持吸盘，其特征在于，所述真空发生器的排气口连通所述箱体座、吸盘的夹持端所形成的空腔。专利摘要本技术公开了一种太阳能硅片真空夹持吸盘，包括吸盘、箱体座、电机、管路和电磁阀，在所述吸盘的中部设有曲面槽，电机输出端与吸盘的夹持端连接，电机为步进电机，在曲面槽的中心位置设有轴向盲孔，在吸盘的夹持端中部径向设有一水平倾斜的通孔，通孔与盲孔相互贯通，在通孔内装有真空发生器，真空发生器的真空口与盲孔连通，真空发生器的供气口与外部的压缩空气源相连通，真空发生器的排气口与外界空气连通。该太阳能硅片真空夹持吸盘的上述结构中，当太阳能硅片装于所述吸盘上后，真空发生器工作，吸入压缩空气，使得盲孔内成为真空，导致太阳能硅片牢固吸持于吸盘上，其底部转动的电机为步进电机，具有结构简单，且设备成本低等特点。文档编号H01L31/18GK202189820SQ201120262080公开日2012年4月11日 申请日期2011年7月22日 优先权日2011年7月22日专利技术者李向清, 沈彪, 胡德良 申请人:江阴市爱多光伏科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：沈彪，李向清，胡德良，
申请(专利权)人：江阴市爱多光伏科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：