一种玻璃基微流控芯片的超声波加工方法技术

一种玻璃基微流控芯片的超声波加工方法，先加工探头，然后在玻璃基板上表面粘贴胶带下表面贴一块玻璃片，再进行超声波加工，化学腐蚀抛光，最后清洗完成芯片制作，本发明专利技术可广泛应用于玻璃基微流控芯片和其它硬质材料生物芯片的制作，具有操作简便，精度高，加工效率高，降低加工成本的特点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵玉龙，柳克银，李磊，杨青，彭年才，蒋庄德，陶晓明，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：