在用于使紫外线反应材料聚合(硬化)的光照射处理中尽可能抑制液晶面板在液晶层产生气泡。对于在两片透光性基板(玻璃基板)(3a)、(3b)间封入含有紫外线反应材料的液晶(3c)的液晶面板(3)，在施加电压的同时从光照射部(1)照射光。作为光照射部的光源(1a)，使用具有如下发光光谱的灯(例如稀有气体荧光灯)：在有助于液晶面板内的光反应性物质的反应的波长区域的光的照射量(a)与该光反应性物质的反应所需的能量(A)相等时，被层间绝缘膜吸收的波长区域的光的照射量(b)，小于在吸收该波长区域的光的层间绝缘膜内产生的气体的产生量成为向液晶层内浸透而达到在液晶层内产生气泡的量所需的能量(B)。可抑制在液晶层产生气泡。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及MVA(Multi-Domain Vertical Alignment，多区域垂直排列)方式的，特别地，涉及在两片玻璃基板之间预先封入混合有具有通过施加电压进行取向的取向性的液晶、和与紫外线反应而引起聚合的光反应性物质的材料，通过向该液晶面板照射紫外线而使紫外线反应材料聚合，从而在玻璃板上形成取向膜的。
技术介绍
图10表示液晶面板的构成例。液晶面板50是在两片透光性基板(第一玻璃基板 51、第二玻璃基板51)之间封入有液晶58的结构，在第一玻璃基板51上形成有多个有源元件(例如，薄膜晶体管TFT53)和液晶驱动用电极M(透明电极(ITO))，在其上形成取向膜 56。在第二玻璃基板52上，形成有滤色器57、取向膜56和透明电极(ITO) 55。而且，在两玻璃基板51、52的取向膜间封入液晶58，用密封剂59将周围密封。近年来，为了提高液晶面板的开口率，如专利文献5所示，有时在有源元件 (TFT53)和液晶驱动用电极M之间设置层间绝缘膜。图11示意性表示设置层间绝缘膜情况下的有源元件及其周边的构成例。作为有源元件的TFT53具有以下构成。在一个像素区域内形成的例如由Ta、Mo、Al等构成的栅电极531的上部，施加由例如SiNx膜构成的栅电极绝缘膜532。再有，在其上部重叠例如由非晶硅构成的半导体层 533。在该半导体层533的一部分设有例如由低电阻的Al系合金构成的源电极534、漏电极535。在如上述那样构成的TFT53的源电极534上，设有例如由低电阻的Al系合金层构成的源电极配线M1，在漏电极535上设有例如由低电阻的Al系合金层构成的漏电极配线536。此外，虽然省略了图示，但在栅电极531上设有栅电极配线。以覆盖这样的TFT53、源电极配线Ml、漏电极配线536、栅电极配线的上部的方式设有例如由丙烯酸类树脂构成的层间绝缘膜(有机绝缘膜)500。层间绝缘膜500的一部分通过光刻处理来除去，在漏电极配线536上形成触孔500a。在该层间绝缘膜500的整个表面上设有作为像素电极的液晶驱动用电极M(透明电极(ITO))。因此，液晶驱动用电极 54经触孔500a与漏电极配线536连接，并且也可经层间绝缘膜500而在源电极配线541上方、未图示的栅电极配线上方设置。即，可增大液晶驱动用电极M的有效面积(开口率)。这里，通过使层间绝缘膜500的膜厚形成得较厚(例如，几μ m)，可减小源电极配线Ml、栅电极配线相对于液晶驱动用电极M的寄生容量。此外，通过如上述那样设定层间绝缘膜500的膜厚，而使形成多个有源元件(TFT5;3)的第一玻璃基板51表面的凹凸平坦化，可抑制翻转倾斜区域等取向缺陷的产生。在这样的结构的液晶面板中，取向膜56用于在透明电极M、55间施加电压来控制使液晶取向的液晶取向的部件。以往，取向膜的控制通过研磨来进行，但是，近年来，正在尝试新的取向控制技术。该技术是，在设有TFT元件53的第一玻璃基板51和与该第一玻璃基板51相对的第二玻璃基板52之间，预先封入混合有具有通过施加电压而进行取向的取向性的液晶58、 和与紫外线反应而引起聚合的光反应性物质(紫外线反应材料)的材料，通过向该液晶面板照射紫外线而使紫外线反应材料聚合，将与玻璃基板51、52接触的液晶(即表层的大概一个分子层)的方向固定，由此对液晶施加预倾角(例如参照专利文献1)。根据该方法，不需要以往为了施加预倾角而具有所需的斜面的突起物，因此可简化液晶面板的制造工序。因此，具有可减少液晶面板的制造成本和制造时间，并且由于上述突起物所产生的阴影消失而改善了开口率，具有关联到背光的省电化的优点。在进行该新的取向控制的液晶面板的制造技术中，对于将液晶和紫外线反应材料混合的材料(以下有时也称为含有紫外线反应材料的液晶)照射紫外线的处理方法，提出了几个方案。在专利文献2记载的“液晶显示装置及其制造方法”中，提出了将第一条件的紫外线照射和聚合速度比第一条件的紫外线照射大的第二条件的紫外线照射以该顺序组合进行的液晶显示装置的制造方法(参照段落0012等的记载)的方案。具体而言，以放射照度和累计强度为第二条件比第一条件大的条件进行紫外线照射。这样的话，在第一条件的紫外线照射中，由于聚合比较缓慢，因此可抑制取向异常的产生，然后即使提高聚合速度也没有问题，可得到取向异常消除或得到抑制的液晶层。此外，记载有在第二条件的紫外线照射中，优选增加310nm附近的低波长成分的比例(参照段落0037的记载等)。在专利文献3记载的“液晶显示装置及其制造方法”中，公开了 “已知为了不使液晶劣化，而照射使用滤光器将不足310nm的段波长区域删除的紫外线较好”、“但是，在使波长320nm的强度完全为零时难以得到期望的液晶取向。因此，希望使用含有波长310nm的强度为0. 02 0. 05mff/cm2左右的光源”的内容(参照段落0019等的记载)。在专利文献4记载的“液晶显示装置及其制造方法”中，公开了短波长的紫外线在短时间内得到液晶的垂直取向性上有利，但是，易于促进液晶分子等的变质，相反，长波长的紫外线虽然难以促进液晶分子等的变质，但需要很长时间来得到液晶的垂直取向性(参照段落0031等的记载)，还公开了照射的紫外线的波长范围。但是，在专利文献4中，没有提及滤色器的温度上升。专利文献1 日本特开2003-177408号公报专利文献2 日本特开2005-181582号公报专利文献3 日本特开2005-338613号公报专利文献4 日本特开2006-58755号公报专利文献5 日本特开2000-2887号公报专利文献6 国际公开第2009/016951号手册如上所述，虽然提出了几个有关对混合有液晶和紫外线反应材料的材料照射从紫外线光源射出的紫外线的处理方法的方案，但是本专利技术的专利技术人进了各种实验，研究的结果，得到了以下的见解。在向使用了含有紫外线反应材料的液晶的液晶面板照射紫外线，使该紫外线反应材料聚合来进行取向控制的液晶面板的一部分中，清楚了发生在液晶中产生气泡的不良情况。特别地，知道了在向液晶面板施加在输送中产生的振动那样的冲击时气泡的产生变得显著。该气泡产生的机理可认为如下。图12中表示液晶面板中的气泡的机理。再有，图12是将上述图10所示的液晶面板的一部分放大表示的图，对与图10、图11相同的部分标注相同标记。在对液晶面板照射紫外线时，如图10所示，从形成多个在每个像素分别配置的有源元件(图10的TFT53)的第一玻璃基板51侧照射紫外线。因此，在从紫外线光源射出的光中含有属于层间绝缘膜(有机绝缘膜)吸收的波长区域所属的波长的光时，由于在层间绝缘膜(有机绝缘膜)残留的感光基或者有机绝缘膜自身的光分解而产生气体。在层间绝缘膜产生的气体在产生时刻没有形成气泡。但是，随着时间经过而扩散， 如图12(a)所示那样，通过取向膜56而向液晶层58浸透。如上述那样，向液晶层58浸透的气体在液晶层58内溶解。在液晶层58内溶解的气体的量，随着从紫外线光源射出的光的照射时间的经过而增大。这样若对在液晶层58内较大量地溶解了气体的状态的液晶面板施加冲击，则发生在液晶层58内溶解的气体的凝聚，如图12(b)所示，在液晶层58内成长为目视等级大小的气泡。这样，在液晶层5本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种液晶面板的制造装置，具备：工作台，保持液晶面板，所述液晶面板是在有源元件上具备层间绝缘膜且在内部封入了含有光反应性物质的液晶的ＭＶＡ方式的液晶面板；和光照射部，相对于保持在上述工作台的上述液晶面板照射来自灯的光，在该液晶面板的制造装置中，通过相对于保持在上述工作台的液晶面板照射来自上述光照射部的光，从而使上述液晶面板内的光反应性物质反应而在液晶面板的内部形成取向部，其特征在于，上述光照射部的灯是具有如下的发光光谱的灯：在有助于液晶面板内的光反应性物质的反应的波长区域的光的照射量（ａ）与该光反应性物质的反应所需要的能量（Ａ）相等时，被层间绝缘膜吸收的波长区域的光的照射量（ｂ），小于在吸收了该波长区域的光的层间绝缘膜内产生的气体的产生量成为向液晶层内浸透而达到在液晶层内产生气泡的量所需要的能量（Ｂ）。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：铃木信二，关匡平，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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