压电振动片及其制造方法技术

本发明专利技术提供压电振动片及其制造方法。作为课题，提供具有缝隙的反向台面型的小型且残渣少的压电振动片及其制造方法。石英振动片(10)具有包含振动部的薄壁部(16)以及与薄壁部(16)的周围相邻的厚壁部(14)，在夹在薄壁部(16)与厚壁部(14)之间的区域中设置有在厚度方向上贯穿压电振动片的缝隙部(40)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压电振子及其制造方法，特别涉及形成有缝隙部的反向台面 (inverted-mesa)型的。
技术介绍
以往，在压电振动片的装配形式中，存在涂布导电性粘接剂而固定到封装上的形式。当这样地利用导电性粘接剂支承压电振动片时，存在如下问题在使该导电性粘接剂硬化的回流焊工序中，由于压电振动片、封装、导电性粘接剂各自的线膨胀系数之间的差异而引起的变形会残留在固定部分处，来自固定部分的对振动部的应力会给振动造成不良影响。为了避免该问题，在涂布导电性粘接剂的部位与振动部之间设置了缝隙(例如参照专利文献1、2)。并且，为了确保强度等，在压电振动片的中央部形成了凹陷而成为反向台面型 (例如参照专利文献1、2)。近年来，对该反向台面型的压电振动片的小型化的要求与日俱增。在反向台面型的压电振动片的形状形成时，多采用量产性高的湿蚀刻。但是，在压电振动片由石英形成的情况下，基于湿蚀刻的石英加工受到石英的晶体取向的影响。即，其蚀刻速率随显现在蚀刻面上的晶面而不同，在夹在形成了反向台面的薄壁部与其周围的厚壁部之间的区域中，出现了被称为残渣的倾斜面(晶面)。例如，在从+Y”轴主面侧对AT切石英母板进行湿蚀刻的情况下，在石英晶轴的靠-ζ’方向和靠+X方向的所述区域中会产生较大的残渣。因而存在该残渣影响振动特性的问题。在专利文献3中，对石英振动片的切角和振动区域进行了优化设计，利用蚀刻去除产生残渣的部分。专利文献1日本特开2009-158999号公报专利文献2日本特开2002-246869号公报专利文献3日本特开2009-164824号公报在为了防止从将石英振动片固定到封装上的部分向振动部传递应力、而在反向台面型的石英振动片的固定部分与振动部之间设置缝隙的情况下，需要在该石英振动片的外形形成时，确保形成缝隙部的区域和形成应去除的残渣的区域。该应去除的残渣的区域成为较大的无用区域。因此，无法实现石英振动片的小型化，存在无法充分确保由一块晶片制造的石英振动片的数量的问题。并且，为了消除残渣的影响，需要去除残渣的步骤，成为导致生产性降低的要因。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而完成的，其目的在于，提供具有缝隙的反向台面型的、小型且残渣少的。并且，本专利技术的目的在于，提供生产性高的上述压电振动片的制造方法。本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，可作为以下应用例来实现。一种压电振动片，其是对压电母板进行湿蚀刻而得到的，其特征在于，该压电振动片具有包含振动部的薄壁部；比该薄壁部厚的厚壁部；以及在厚度方向上贯穿所述压电振动片的缝隙部，所述缝隙部被配置于夹在所述薄壁部与所述厚壁部之间的区域中。根据本应用例，通过在夹在薄壁部与厚壁部之间的区域中设置缝隙部，由此，能够使以往分别设置的、产生残渣的区域与设置缝隙部的区域成为同一区域，所以，能够实现压电振动片的小型化。并且，由于产生残渣的区域成为缝隙部，所以，能够减少残渣而提高频率特性。在应用例1所述的压电振动片中，其特征在于，在所述厚壁部的至少一部分上设有与设置在封装上的电极连接的连接电极，在所述薄壁部上设有与所述连接电极导通的激励电极，所述缝隙部被设置于夹在所述薄壁部与所述厚壁部之间、且夹在所述连接电极与所述激励电极之间的区域中。根据本应用例，能够防止来自设有与设置在封装上的电极连接的连接电极的厚壁部的应力传递到设有激励电极的薄壁部。在应用例2所述的压电振动片中，其特征在于，在与所述薄壁部的两侧相邻的厚壁部上分别设有所述连接电极，在夹在设有所述连接电极的厚壁部各自与所述薄壁部之间的区域中，分别设有所述缝隙部。根据本应用例，在与压电振动片的薄壁部的两侧相邻的厚壁部上设有连接电极， 所以，能够将压电振动片的两端固定到封装上，能够提高压电振动片的耐冲击性。并且，在夹在设有所述连接电极的厚壁部各自与所述薄壁部之间的区域中分别设置缝隙部，所以， 能够防止来自设有与封装连接的连接电极的厚壁部的应力传递到设有激励电极的薄壁部。在应用例1或2所述的压电振动片中，其特征在于，所述压电母板是 AT切母板，所述压电母板具有与Z”轴和V轴分别平行的缘边，该Z”轴是使所述压电母板的Z’轴绕Y’轴旋转而得到的，该X’轴与Z”轴垂直相交，所述缝隙部被设于Z”轴方向的一个端部侧。根据本应用例，能够在夹在出现较大残渣的Z”轴方向的一个端部侧之间的区域中设置缝隙部，所以，能够减少压电振动片的残渣。在应用例1 3中的任一例所述的压电振动片中，其特征在于，所述压电母板是AT切母板，所述压电母板具有与Z”轴和V轴分别平行的缘边，该Z”轴是使所述压电母板的Z’轴绕Y’轴旋转而得到的，该X’轴与Z”轴垂直相交，沿着Z”轴设置有多个所述缝隙部。根据本应用例，能够在封装上固定多个与各缝隙部相邻的厚壁部，能够提高耐冲击性。在应用例1 5中的任一项所述的压电振动片中，其特征在于，所述压电母板是AT切母板，所述压电母板具有与Z”轴和V轴分别平行的缘边，该Z”轴是使所述压电母板的V轴绕Y’轴旋转而得到的，该V轴与Z”轴垂直相交，所述缝隙部被设置为与 Z ”轴平行。根据本应用例，在夹在平行于Z”轴的厚壁部与薄壁部之间的区域中设置缝隙部， 由此，能够进一步减少在夹在厚壁部与薄壁部之间的区域中出现的残渣。在应用例1 6中的任一例所述的压电振动片中，其特征在于，设使所述压电母板的+Z’轴绕Y’轴向+X轴方向旋转为正旋转角，所述压电母板具有与Z”轴和X’ 轴分别平行的缘边，该Z”轴是使Z’轴绕Y’轴在-120° +60°的范围内旋转而得到的， 该X’轴与Z”轴垂直相交，所述薄壁部是通过从+Y’轴侧主面或-Y’轴侧主面中的任意一方进行湿蚀刻而形成的，在从+Y’轴侧主面进行湿蚀刻的情况下，至少在靠-ζ”方向的所述区域中设有缝隙部，在从-Y’轴侧主面进行湿蚀刻的情况下，至少在靠+Z”方向的所述区域中设有缝隙部。根据本应用例，至少能够在残渣最大的区域中设置贯穿缝隙，能够减少残渣。在应用例7所述的压电振动片中，其特征在于，设所述Z’轴的旋转角度的范围为-60° -25°，在从+Y’轴侧主面进行湿蚀刻的情况下，至少在靠-Z”方向和靠-X’方向的所述区域中设有缝隙部，在从-Y’轴侧主面进行湿蚀刻的情况下，至少在靠 +Z”方向和靠+X’方向的所述区域中设有缝隙部。根据本应用例，能够在出现较大残渣的区域中设置缝隙部，能够减少残渣。在应用例1 8中的任一例所述的压电振动片中，其特征在于，所述缝隙部是切挖侧面而形成的。根据本应用例，连接厚壁部与薄壁部的部分减少，所以，能够使来自厚壁部的应力不容易传递到薄壁部。—种压电振动片的制造方法，该压电振动片具有包含振动部的薄壁部；比该薄壁部厚的厚壁部；以及在厚度方向上贯穿所述压电振动片的缝隙部，其特征在于，该制造方法具有以下步骤反向台面形成步骤，通过针对压电母板的一个主面的湿蚀刻而形成所述薄壁部和所述厚壁部；以及缝隙形成步骤，在夹在所述薄壁部与所述厚壁部之间的区域中形成所述缝隙部。根据本应用例，在夹在薄壁部与厚壁部之间的区域中形成缝隙部，由此，能够减少残渣，能够提高频率特性。并且，使产生残渣的区域与设置缝隙部的区域成为同一区域，由此，在外形形成时，不需要确保形成缝隙部的区域与应去除的残渣的区域这双方，所以，能够实现压电振动本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种压电振动片，其是对压电母板进行湿蚀刻而得到的，其特征在于，该压电振动片具有：包含振动部的薄壁部；比该薄壁部厚的厚壁部；以及在厚度方向上贯穿所述压电振动片的缝隙部，所述缝隙部被配置于夹在所述薄壁部与所述厚壁部之间的区域中。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安池亮一，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP