本发明专利技术提供了一种可以抑制对象物的形状变化或保持形态的变动带来的影响，从而稳定地保持对象物的保持装置、传送装置以及旋转传动装置。本发明专利技术的传送装置具有机械手(4)及设置在机械手上的保持体(5)。保持体(5)包括具有与保持对象物紧贴的保持面并在保持面上可保持传送对象物的保持构件(7)，以及由与机械手(4)和保持构件(7)相互连接的粘弹性材料组成的粘弹性构件(6)。传送装置(1)通过粘弹性构件(6)的弹性变形，使保持构件(7)的整个面与对象物紧贴，从而能够将传送对象物保持在机械手(4)上。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种保持对象物使之能自由倾动的保持装置、传送装置以及旋转传动直O
技术介绍
在传送LSI (Large Scale Integration)用半导体基板、显示用玻璃基板等(以下统称为基板)的传送机构中，通过安装在机器人机械臂前端的机械手来保持基板，并通过操作机械臂来传送基板。通过机械臂保持基板时，由设置在机械手上的保持装置来进行。在传送基板时，由于对位置精度的要求高，因此保持装置需要确切地保持基板，保持装置具有多种形态。例如，专利文献1中公开了一种具有功能性粘附单元的保持装置。该保持装置是一种通过由设置在基板传送机器人的机械手上的功能性粘附单元组成的保持体来保持并传送作为传送对象物的基板。功能性粘附单元由于被施加电压而发生粘附能力的变化，因此能够确切地保持基板。现有技术文献专利文献专利文献1 日本公开2008-47700号公报(段落0013、图1)
技术实现思路
然而，专利文献1的保持装置形成为在机械手上固定了功能性粘附单元的结构。 因此，除了机械手与基板完全平行的情况以外，功能性粘附单元不能与基板的整个面紧贴， 故不能充分保持基板。机械手可能随着自重或移动而发生偏转，基板也可能有由于加热处理而产生变形(弯曲)。鉴于以上情况，本专利技术的目的在于提供一种可以抑制对象物的形状变化或保持形态的变动所带来的影响，从而稳定地保持对象物的保持装置、传送装置以及旋转传动装置。本专利技术的一个实施方式中的保持装置具有基体与保持体。所述保持体包括与保持对象物紧贴的保持面，以及由将所述保持面连接在所述基体上的粘弹性材料组成的连接层。本专利技术的一个实施方式中的传送装置在传送面上具有所述保持装置。本专利技术的一个实施方式中的旋转传动装置具有第一旋转盘与第二旋转盘。所述第一旋转盘包含具有旋转轴的基体，保持面，以及由将所述保持面连接在所述基体上的粘弹性材料组成的连接层；所述第二旋转盘紧贴在所述保持面上。本专利技术的一个实施方式中的传送装置具有固定子与可动子。所述可动子包含搭载传送对象物的基体，由电粘附材料组成且与所述固定子接触4的接触面，以及由将所述接触面连接在所述基体上的粘弹性材料组成的连接层，且所述可动子相对于所述固定子做相对移动。本专利技术的另一实施方式中的传送装置具有可动子与固定子。所述可动子搭载传送对象物。所述固定子包含基体，由电粘附材料组成且与所述可动子接触的接触面，以及由将所述连接面连接在所述基体上的粘弹性材料组成的连接层，且所述固定子相对于所述可动子做相对移动。附图说明图1为本专利技术的第一实施方式中的传送装置1的立体图2为机械手4的立体图3为保持体5的剖面图4为保持体5的详细模式图5为保持体5的动作剖面图6为保持体5的剖面图7为本专利技术的第二实施方式中的保持体21的剖面图8为保持体21的剖面图9为本专利技术的第三实施方式中的保持体31的剖面图10为本专利技术的第四实施方式中的保持体41的剖面图11为本专利技术的第五实施方式中的保持体51的剖面图12为本专利技术的第六实施方式中的旋转传动装置60的剖面图图13为保持构件67的动作的剖面图14为本专利技术的第七实施方式中的传送装置80的立体图15为可动部83以及固定部84的立体图；以及图16为传送装置80的动作的剖面图。具体实施例方式本专利技术的一种实施方式中的保持装置具有基体与保持体。所述保持体包含与保持对象物紧贴的保持面，以及由将所述保持面连接在所述基体上的粘弹性材料组成的连接层。根据该结构，通过连接层的弹性变形，使保持部的整个面紧贴在保持对象物上，从而能够将保持对象物保持在基体上。在此，“粘弹性材料”包含例如橡胶或热可塑性弹性体等弹性体材料。所述保持体还包括具有所述保持面的保持层，所述连接层也可以连接于所述保持层与所述基体之间。根据该结构，通过连接层的弹性变形，从而可以使保持层追随保持对象物。所述保持面也可以由可电性地发生粘附力变化的电粘附材料组成。根据该结构，可以降低从保持面上卸下保持对象物时的粘附力，提高对保持对象物进行保持时的粘附力。所述保持层还可具有向所述电粘附材料施加电场的电场施加单元。根据该结构，通过内置在保持层内的电场施加单元，可以改变电粘附材料的粘附力。所述电场施加单元也可以由形成于所述连接层上的绝缘体层，以及形成于所述绝缘体层上的电极层组成。根据该结构，通过向电极层施加电压从而向所述电粘附材料施加电场。绝缘体层使电极层与基体之间电绝缘。所述保持层也可以在所述连接层上在每个区域内被分割成多个。根据该结构，可以使得各个保持层独立地追随保持对象物。所述保持体也可以在由所述基体支撑的每个区域内分割成多个。 根据该结构，可以使得各个保持体独立地追随保持对象物。所述基体有多个凹部，所述保持体可以分别容纳在所述凹部内。根据该结构，可以调节从基体表面突出的保持体的高度。所述保持体由在表面上具有所述保持面的所述连接层的单层组成，所述连接层的粘弹性可以从所述保持面侧向所述基体侧逐渐减小。根据该结构，通过单层连接层，可以形成具有支撑保持对象物的粘弹性高的部分与容许弹性变形的粘弹性低的部分的保持体。本专利技术的一个实施方式中的传送装置在传送面上具有所述保持装置。根据该结构，可以通过保持装置稳定地保持传送对象物，并加以传送。本专利技术的一个实施方式中的旋转传动装置具有第一旋转盘与第二旋转盘。所述第一旋转盘包含具有旋转轴的基体，保持面，以及由将所述保持面连接在所述基体上的粘弹性材料组成的连接层。所述第二旋转盘紧贴在所述保持面上。根据该结构，即使在第一旋转盘与第二旋转盘的旋转轴不在同一条直线上的情况下，也能将一个旋转盘的旋转传送至另一个旋转盘。本专利技术的一个实施方式中的传送装置具有固定子与可动子。所述可动子包含搭载传送对象物的基体，由电粘附材料组成的且与所述固定子接触的接触面，以及由将所述接触面连接在所述基体上的粘弹性材料组成的连接层，且所述可动子相对于所述固定子做相对移动。根据该结构，通过连接层的弹性变形，可使接触面与固定子的接触均勻。本专利技术的另一实施方式中的传送装置具有可动子与固定子。所述可动子搭载传送对象物。所述固定子包含基体，由电粘附材料组成且与所述可动子接触的接触面，以及由将所述接触面连接在所述基体上的粘弹性材料组成的连接层。所述可动子相对于所述固定子做相对移动。根据该结构，通过连接层的弹性变形，可使接触面与可动子的接触均勻。所述传送装置还具有通过对所述电粘附材料施加的电场进行控制来控制所述电粘附材料的粘附力的控制单元，所述控制单元也可以通过对所述电粘附材料施加电场来禁止所述可动子的移动，通过解除对所述电粘附材料施加电场来容许所述可动子的移动。根据该结构，可以相对于固定子而固定可动子，或解除固定。以下，基于附图对本专利技术的实施方式进行说明。(第一实施方式)针对第一实施方式中的传送装置1进行说明。图1为传送装置1的立体图。本实施方式的传送装置1构成为在真空或大气中保持及传送基板的基板传送装置。如图所示，传送装置1具有驱动部2、机械臂3及机械手4。机械臂3的一端连接驱动部2，机械臂3的另一端连接机械手4。并且，机械手4上载置有作为传送对象物的基板W。驱动部2驱动机械臂3。驱动部2构成为内置电动马达等动力源及动力传送机构， 可驱动机械臂3。驱动部2的结构并不限定于此。机械臂3支撑机械手4。机械臂3构成为本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种保持装置，其特征在于，包括：基体；以及保持体，包含与保持对象物紧贴的保持面，以及由将该保持面连接在该基体上的粘弹性材料组成的连接层。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：武者和博，南展史，安齐秀伸，樱井宏治，青山藤词郎，柿沼康弘，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，藤仓化成株式会社，学校法人庆应义墪，
类型：发明
国别省市：JP
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