甩版清洗机及光刻版的清洗方法技术

本发明专利技术涉及一种甩版清洗机，包括甩版清洗机控制电路、驱动装置、光刻版夹持装置、出水阀、喷水头、出气阀、喷气头、加热装置以及管线；甩版清洗机控制电路与驱动装置、出水阀、出气阀以及加热装置电连接，用于控制驱动装置驱动光刻版夹持装置绕转轴旋转，还用于控制出水阀、出气阀的开关以及控制加热装置加热；出水阀通过水管连接喷水头将去离子水喷射在光刻版上；出气阀通过气管顺次与加热装置和喷气头连接，喷气头将加热后的气体喷向光刻版。本发明专利技术还涉及一种光刻版的清洗方法。本发明专利技术光刻版表面在清洗时边甩边烘干，洗版效率比传统技术高很多，且不再出现光刻版表面有水印的情况。清洗完毕后光刻版直接放入版盒里面，不会带来二次玷污。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
１．一种甩版清洗机，其特征在于，包括甩版清洗机控制电路、驱动装置、光刻版夹持装置、出水阀、喷水头、出气阀、喷气头、加热装置以及管线；所述驱动装置通过转轴与所述光刻版夹持装置连接，所述甩版清洗机控制电路与所述驱动装置、出水阀、出气阀以及加热装置电连接，用于控制所述驱动装置驱动光刻版夹持装置绕所述转轴旋转，还用于控制所述出水阀、出气阀的开关以及控制加热装置加热；所述管线包括水管和气管，所述出水阀通过水管与喷水头连接，所述喷水头用于将清洗用液体喷射在光刻版夹持装置夹持的光刻版上；所述出气阀通过气管顺次与加热装置和喷气头连接，所述喷气头用于将被加热装置加热后的气体喷向所述光刻版。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王友旺，裴新，林盛浩，胡华，
申请(专利权)人：深圳深爱半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94