【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
１．一种利用具有第一层（２）的晶片（１）制造微机械麦克风和加速度计的方法，所述方法包括步骤：将所述第一层（２）分为麦克风层（５）和加速度计层（６），用连续的第二层（７）覆盖麦克风层（５）的前侧和加速度计层（６）的前侧，用第三层（８）覆盖第二层（７），在第三层（８）中形成多个沟槽（９），去除麦克风层（５）背部一侧下面的晶片（１）的一部分（１０），在加速度计层（６）背部一侧下面的晶片（１）中形成至少两个晶片沟槽（１１），以及通过在第三层（８）中形成的多个沟槽去除第二层（７）的一部分（１２，１３）。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：特温·范利庞，海尔特·伦格瑞斯，马特吉·戈森斯，
申请(专利权)人：NXP股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。