试验玻片更换系统技术方案

本发明专利技术涉及用于在真空涂覆设备（３）的涂覆室（１）内选择性涂覆和光学检测试验玻片（２４，２４″）的试验玻片更换系统（１０）。在该涂覆室内，借助活动的转台（２）使基片（７）位于涂覆材料流所经过的路径上。该试验玻片更换系统（１０）具有试验玻片保持座（８，８″），该试验玻片保持座包括用于接纳试验玻片（２４，２４″）的玻璃试板（２６）和用于选择性覆盖玻璃试板（２６）的盖子（２８，２８″）。试验玻片更换系统（１０）还具有用于使玻璃试板（２６）绕近似平行于转台（２）的转动轴线（５）取向的轴线（５１）转动的转动装置（３４）。试验玻片保持座（８，８″）能作为一个单元定位在转台（２）上并能从该涂覆室（１）被取出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】试验玻片更换系统本专利技术涉及用于在真空涂覆设备内选择性涂覆和光学检测试验玻片的试验玻片更换系统，就像例如在DE3604624A1中所述类型的系统。光学多层膜系(也被称为干涉层膜)的制造例如在光学产品如带通滤波器、锐截止滤波器、冷光反射镜、分束器和抗反射膜中扮演重要角色。这种涂层的目的是，在预定的波长范围内在多层膜系上获得尽量完整的透射或反射，但在其外的波长范围内尽量无过渡地实现可忽略不计的透射或反射。满足这样的要求的前提是要有大量的独立层膜，其中例如将高折射层和低折射层交替涂覆到基片上，也可以两个高折射或两个低折射层膜直接相接。在制造这种复合层系时，尤其当制造具有特殊功能性的多层时，定期测量或检查涂覆到基片上的功能层是必需的，以保证期望的层膜厚度和层膜性能。为此，采用了多个测试玻片，每个测试玻片上淀积有单个层并且对此检查。对于复杂的滤光器，为了达到滤光器规范而必须多次更换试验玻片。为获得所需要的精度，必须在基片位置上设置试验玻片并且基本获得与基片一样的涂层。而且，应该尽量使在独立的涂覆次序之间的试验玻片更换自动化进行，就是说，不用操作人员手动更换测试玻片。由DE3604624A1公开一种试验玻片更换装置，它允许在封闭的涂覆室内完成试验玻片更换。基片借助于转台布置在至少一股涂覆材料流穿过的路径上，在该转台上支承有一个用于接纳多个测试玻片的支架。该支架随转台运动并且可相对转台转动地支承。沿该转台路径设置的步进选择器每次将一个试验玻片接入相对转台固定不动的位置中，在此位置上，它和基片一起在转台的预定圈数下被引导交替经过测量装置的光路和涂覆材料流。 支架通过盖子被盖住，盖子固定不动地安置在转台上并且总是只开放唯一一个试验玻片在其涂覆测量位置上。支架的转动通过一个活动的、设置在涂覆室内的、伸入转台循环运动路径中的且与支架上的凸起配合的开关指来实现。当开关指接合支架凸起时，使试验玻片从与测量窗重合的重合位置上转出，后面的试验玻片来到其位置。DE3604624A1的试验玻片更换装置因此允许在封闭的涂覆室内进行试验玻片更换。可是，试验玻片更换装置的装载十分麻烦，因为必须使若干测试玻片穿过基片闸门并进入试验玻片更换装置的支架中。而且，DE3604624A1所示的试验玻片更换装置可能只能接纳较少数目(四个)的测试玻片，因而在制造多层膜系时，需要(至少)一次手动更换测试玻片。因而，本专利技术基于以下任务，如此改进已知的现有技术，即，能提供更多的测试玻片，它们无需人工干预就可以在涂覆室内被更换。此外，将测试玻片送入涂覆室将以尽量简单的方式来完成。该任务将通过权利要求1的特征来完成。有利的实施方式是从属权利要求的主题。据此，该试验玻片更换系统包括试验玻片保持座，它具有用于接纳一个或多个测试玻片的玻璃试板以及遮盖玻璃试板并保护位于其中的测试玻片免受涂覆的盖子。盖子开设有测量窗，该测量窗只露出该玻璃试板的一小部分用于涂覆。也可以设置多个测量窗和/ 或基准窗。借助构成试验玻片更换系统的一部分的转动装置，可以使玻璃试板相对盖子转动，由此使安置在玻璃试板上的不同测试玻片移动到测量窗区域中，其在该区域被涂覆和测量。本专利技术的试验玻片更换系统与DE3604624A1所述类型系统的区别在于，试验玻片保持座(连同玻璃试板和盖子)构成封闭的单元，其与待涂覆的基片一样经过基片闸门被送入涂覆室并且能定位在转台上。这允许特别简单省时的转台装载，代替了在DE3604624A1 中所需要的给(永久固定到转台的)试验玻片更换系统配装测试玻片，其中该测试玻片必须单独通过基片闸门并且被定位在玻璃试板上。当使用本专利技术的试验玻片更换系统时，可在时间上与基片更换无关地在涂覆室外执行试验玻片保持座的装载或准备工作。这在经济方面是有利的并且节省了时间。而且，可以在试验玻片保持座上安置比较多的测试玻片。如此设计试验玻片保持座的盖子，它可相对玻璃试板转动和升起。在涂覆室内的试验玻片更换按照以下方式完成，试验玻片保持座的盖子被顶起，玻璃试板相对盖子转动一个预定角度，并且盖子随后又落下。用于使玻璃试板转动的转动装置最好以升降/转动装置的形式构成，借此能实现围绕平行于转台转动轴线的轴线的转动和沿该轴线方向的升降运动。于是，试验玻片更换按照以下方式进行，玻璃试板在轴向上从转台(或者设立在转台上的试验玻片保持座主体)上升起并且使该盖子在该轴向上从玻璃试板上升起。这两个升起运动能够同时或是错时地完成。随后，使玻璃试板转动，由此换掉位于盖子测量窗下方的玻璃试板区域并且玻璃试板的一个新区域位于盖子测量窗下方。在此新的相对角度位置上，玻璃试板和盖子被搁下。如果现在要使试验玻片保持座在转台上移动经过涂覆室的涂覆站，则刚好转动到测量窗下的玻璃试板区域被涂覆。为了在圆形或圆柱形玻璃试板上进行试验玻片更换，升降/转动装置适当地具有两个同心的环形体，两者(有利的是共同)可做升降调整，两个环形体之一可以受控制地转动。可转动的环形体用于升起和转动玻璃试板，而另一个环形体用于升起盖子。升降/转动装置可以位置固定地安置在处理室内并且例如在涂覆站区域中定位。 在此情况下，只能在转台的一个规定转动位置上进行试验玻片更换，即当试验玻片保持座准确位于升降/转动装置上方时。或者，试验玻片转动装置可被安置在转台(或与转台同步转动的回转平台)上。这有以下优点，试验玻片更换可无需改变转台速度且在涂覆室内的任何一个位置上(例如在测量站和涂覆站之间输送试验玻片保持座时)进行。在本专利技术的第一实施方式中，玻璃试板是圆盘形的监视器玻璃。在此实施方式中， 整个玻璃试板或者任何被选中的玻璃试板区域可以作为试验玻片。监视器玻璃有利地配设有一个中心开口，基准光线能在光学测量过程中被引导经过该中心开口，以控制测量光的漂移。在本专利技术的第二实施方式中，玻璃试板配设有多个用于接纳独立的测试玻片的容纳区。在这里，在试验玻片更换时使玻璃试板相对盖子转动一个预定角度，以便该试验玻片准确位于盖子的测量窗下方。以下将结合附图所示的实施例来详细说明本专利技术，其中图Ia和Ib是带有转台的涂覆设备的截面图；图2是图Ia和Ib的转台的俯视示意图；图3示出带有试验玻片保持座和升降/转动装置的本专利技术试验玻片更换系统的第一实施方式；图3a是试验玻片保持座的俯视图北是试验玻片保持座的截面图；图3c是对应的升降/转动装置的截面图；图4示出带有试验玻片保持座和升降/转动装置的本专利技术试验玻片更换系统的另一个实施方式；图如是试验玻片保持座的俯视图；图4b是试验玻片保持座的截面图；图如是对应的升降/转动装置的截面图。图Ia和Ib示意表示涂覆室1的截面图，该涂覆室是真空涂覆设备3的一部分。 在涂覆室1内有转台2，转台能借助可控的或可调的转动装置4被驱动绕转动轴线5转动。 图2示出了转台2的俯视图。在转台2上设有多个凹槽6，它们安置在以轴线5为中心的一个共同的大圆23上。这些凹槽6能可选地配装有圆盘形基片7或者试验玻片保持座8。 在涂覆室1内并在残余气体下，在该基片7和试验玻片保持座8上淀积氧化层。该试验玻片保持座8与试验玻片转动装置9 一起构成试验玻片更换系统10的一部分。给转台2配装基片7和试验玻片保持座8是通过在涂覆室1侧壁内的基片闸门20 进行的。为了取出基片7或试验玻片保持座本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于在真空涂覆设备（３）的涂覆室（１）内选择性涂覆和光学检测试验玻片（２４，２４″）的试验玻片更换系统（１０，１０″），在该涂覆室内设有用于引导至少一个基片（７）布置在涂覆材料流所穿过的路径上的转台（２），其中该试验玻片更换系统（１０，１０″）具有试验玻片保持座（８，８″），该试验玻片保持座包括用于接纳试验玻片（２４，２４″）的玻璃试板（２６）和用于选择性覆盖该玻璃试板（２６）的盖子（２８，２８″），该试验玻片更换系统（１０）具有用于使该玻璃试板（２６）绕近似平行于该转台（２）的转动轴线（５）取向的轴线（５′）转动的转动装置（９），其中，该试验玻片保持座（８，８″）作为一个单元能定位在该转台（２）上并且能从该涂覆室（１）被取出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·谢勒，
申请(专利权)人：莱博德光学有限责任公司，
类型：发明
国别省市：DE